下载一种晶圆探针测试装置的技术资料

文档序号:28038578

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本实用新型公开了一种晶圆探针测试装置,包括:机台,机台设有一冲压支撑部;机台上表面转动设有一工作盘,机台下表面固定连接有一电机,电机的输出轴穿过机台延伸至上表面,电机输出轴与工作盘固定连接;工作盘上表面设有两组工位,工位均设有多个物料台;其...
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