一种亚微米多自由度超高真空样品台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种亚微米多自由度超高真空样品台。包括旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接，所述旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。其中本实用新型专利技术的有益效果是：解决了现有技术中样品杆不在旋转轴上时，旋转时，测量微区移动，没法盯着一点测量旋转时，总长更长、相对轴线做旋转运动时偏摆幅度大的技术问题。本实用结构简单，便于使用，精度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种亚微米多自由度超高真空样品台
本技术涉及超高真空领域，特别涉及一种亚微米多自由度超高真空样品台。
技术介绍
样品台是属于超高真空，表面科学，航天航空研究，半导体等领域用以同步辐射，自由电子激光，微聚焦深紫外激光，技术发展，微区样品测试需要的装置，现有样品台方案，三维平移台在下，旋转平移台在上。样品杆不在旋转轴上时，旋转时，测量微区移动，没法盯着一点测量。旋转时，总长更长，相对轴线做旋转运动时，偏摆幅度大。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术中披露了一种亚微米多自由度超高真空样品，本技术的技术方案是这样实施的：一种亚微米多自由度超高真空样品台，其特征在于：包括高精度旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接；所述高精度旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。优选地，所述样品杆通过CF法兰与所述亚微米三维平移台连接。优选地，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种亚微米多自由度超高真空样品台，其特征在于：包括高精度旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，/n所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接；/n所述高精度旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种亚微米多自由度超高真空样品台，其特征在于：包括高精度旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，
所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接；
所述高精度旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。


2.根据权利要求1所述的一种亚微米多自由度超高真空样品台，其特征在于：所述样品杆通过CF法兰与所述亚微...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵嘉峰，池彬，谢斌平，欧宏炜，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32