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本实用新型提供了一种亚微米多自由度超高真空样品台。包括旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接，所述旋转平台位于所述亚微米三维平移台下...该专利属于费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。