一种扫描电镜冷冻样品台制造技术

本发明专利技术公开了一种扫描电镜冷冻样品台，包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。本发明专利技术的扫描电镜冷冻样品台，利用半导体制冷片的制冷作用，通过合理的结构设计，使之小型化，使得所述冷冻样品台能被放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，且能提供低于‑60℃的低温，以满足样品的低温要求及简化实验操作。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜冷冻样品台
本专利技术涉及扫描电镜领域，尤其涉及一种扫描电镜冷冻样品台。
技术介绍
在扫描电镜领域，扫描电镜冷冻样品台通常采用高压冷冻的方法和液氮泥快速冷冻方法，将样品插入冷冻剂，通常是液氮，然后在真空下转移至冷冻扫描电镜制备系统样品制备室的冷台上，而实现这实验操作繁琐，结构复杂，价格昂贵。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷，本专利技术的目的是提供一种扫描电镜冷冻样品台，可放置于扫描电镜下方，对样品提供直接冷冻，以简化实验操作。为实现上述目的，本专利技术提供了一种扫描电镜冷冻样品台，包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。进一步的，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面之间设置有温度传感器，所述温度传感器和所述样品载台的底面贴合。进一步的，所述半导体制冷片为多层结构，所述半导体制冷片和所述水冷台贴面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：包括水冷台、半导体制冷片和样品载台，所述半导体制冷片设置于所述水冷台上，所述半导体制冷片的散热面和所述水冷台表面贴合；所述样品载台设置于所述半导体制冷片上，所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面贴合。


2.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述样品载台的底面和所述半导体制冷片的致冷面之间设置有温度传感器，所述温度传感器和所述样品载台的底面贴合。


3.如权利要求1所述的扫描电镜冷冻样品台，其特征在于：所述半导体制冷片为多层结构，所述半导体制冷片和所述水冷台贴合的底层面积最大，然后向上逐级减小，所述半导体制冷片的顶层和所述样品载台的尺寸相当；所述半导体制冷片的层间，下一层的致冷面和...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖洪钢，兰李根，
申请(专利权)人：厦门超新芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35