【技术实现步骤摘要】
一种长条加热器生产工装
本技术涉及一种长条加热器生产工装,属于化学气相沉积
技术介绍
目前,为保证容器可以批量的进行加热,加热器通常会做的很长。加热器通常是石墨材质,为保证加热器的使用安全,通常会在加热器的表面涂覆一层热解氮化硼(PBN)涂层,用以保护石墨的长条加热器。因石墨长条加热器长度较长,易发生变形,普通静止方式涂覆的长条加热器一方面变形严重,易损伤,另一方面涂层的均匀性较差,涂层薄的地方有漏电的风险,影响石墨长条加热器的安全使用,故亟需寻求一种长条加热器生产工装,可以降低长条加热器在涂覆PBN的过程中变形风险,同时保证长条加热器整体的涂层均匀性。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供一种长条加热器生产工装。本技术提供的长条加热器生产工装能够保证加热器PBN涂层的均匀性,有效避免加热器在涂覆PBN涂层产生的变形问题。本技术的技术方案为:一种长条加热器生产工装,包括吊具、支撑杆和U形挂件,吊具和支撑杆相连接,且所述支撑杆设置在吊具的下部,所述吊具上开设有第一通 ...
【技术保护点】
1.一种长条加热器生产工装,其特征在于,包括吊具、支撑杆和U形挂件,吊具和支撑杆相连接,且所述支撑杆设置在吊具的下部,/n所述吊具上开设有第一通孔,反应炉旋转杆贯穿第一通孔,将长条加热器生产工装固定在反应炉中;/n所述支撑杆上设置有第二通孔,所述U形挂件的U形开口朝下,所述U形挂件的U形底部开设有第三通孔,连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔,并且连接螺杆的两端均设置有螺母,从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧;/n待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上。/n
【技术特征摘要】
1.一种长条加热器生产工装,其特征在于,包括吊具、支撑杆和U形挂件,吊具和支撑杆相连接,且所述支撑杆设置在吊具的下部,
所述吊具上开设有第一通孔,反应炉旋转杆贯穿第一通孔,将长条加热器生产工装固定在反应炉中;
所述支撑杆上设置有第二通孔,所述U形挂件的U形开口朝下,所述U形挂件的U形底部开设有第三通孔,连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔,并且连接螺杆的两端均设置有螺母,从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧;
待涂覆PBN涂层的长条...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘汝强,王殿春,孙蕾,吴思华,
申请(专利权)人:山东国晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。