【技术实现步骤摘要】
一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法
本申请涉及一种大尺寸氧化物靶材的制备方法，具体的说是一种高质量氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法。
技术介绍
以ITO靶材为例：当今社会，ITO薄膜在全世界拥有广大的市场，被大量应用在如液晶显示器、有机发光二极管、等离子显示器、电子纸等各种显示器制造行业，此外由于其优异性能还被用于太阳能电池、微波与射频屏蔽装置、敏感器件、抗静电镀膜等产业。众所周知，商业应用的ITO薄膜大部分都是采用磁控溅射技术沉积的，所以依据起源问题要想得到优异性能的透明导电ITO薄膜首先我们需要优先考虑如何构筑大尺寸高质量的ITO靶材。在溅射技术中，我们一般需要大块的高品质靶材进行溅射沉积薄膜，这样沉积的薄膜具有好的均一性，其拼缝较少，商业应用价值高。而在靶材的尺寸大小这一关键问题中，国内的氧化物靶材制造企业也在不断努力进取，但是关键技术问题难以攻克，导致如今新兴的面板企业在制造过程一直要依靠大量的进口靶材。国内大部分靶材制造企业制备的靶材尺寸不够大，质量不达标等问题都在制约着后...
【技术保护点】
1.一种浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于，对较小尺寸的氧化物靶材进行氧化物浆料粘结，压紧烘干，二次烧结，制备出大尺寸靶材。/n
【技术特征摘要】
1.一种浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于，对较小尺寸的氧化物靶材进行氧化物浆料粘结，压紧烘干，二次烧结，制备出大尺寸靶材。
2.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于，包括下面步骤：
1)高质量氧化物浆料的制备；
2)依据需求设计不同形状靶材不同拼接方案进行小块靶材拼接，然后进行氧化物浆料的粘结；
3)对靶材粘结处压紧固定烘干；
4)对粘结的整块大尺寸氧化物靶材进行进一步的烧结；
5)经过工艺打磨加工后，得到整块大尺寸氧化物靶材。
3.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于：氧化物粉末的纳米级为30-90nm，纳米级别氧化物粉的纯度在99.99wt％以上；向其中加入分散剂聚乙二醇，其比例为按纳米级氧化物粉末重量的0.5-3％；球磨...
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