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本公开涉及一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法。该技术的核心工艺是采用氧化物浆料对已经烧结好的小尺寸氧化物陶瓷靶材进行粘结，随后压紧烘干，进行二次高温烧结，可根据需求制备出大尺寸平面和超长环形靶材。该技术的优势在于不仅解决了...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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