基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台制造技术

本发明专利技术涉及纳米位移和定位技术领域，具体公开了基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台，包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链机构和固定平台；固定平台通过并联铰链机构与运动平台相连；驱动系统包括运动机构和施力机构，运动机构包括杠杆、推杆、第一连接铰链、第二连接铰链、第三连接铰链，施力机构包括顶丝螺纹副、预紧弹簧；固定平台通过第一连接铰链与杠杆相连，所述顶丝螺纹副包括螺钉和带螺纹孔的固定部，杠杆一端夹设于顶丝螺纹副的螺钉和预紧弹簧之间，顶丝螺纹副的固定部和预紧弹簧一端均固定设置于固定平台上，杠杆另一端通过第二连接铰链与推杆相连；推杆通过第三连接铰链与运动平台相连。

【技术实现步骤摘要】
基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台
本专利技术纳米位移和定位
，具体公开了基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台。
技术介绍
随着原子能、航天技术、微电子学、及生物工程等新兴科学技术的发展，超精检测设备、精密光学系统、航天航空等对精密运动定位技术提出了越来越高的要求。先进的半导体芯片制造技术和大规模存储器（硬盘）制造技术的发展更是将纳米位移和定位技术不断推上新的极限。然而精密系统在研发过程中由于受到零件加工质量、实验环境等因素的影响，不可避免会存在安装定位偏心误差，对于高精度的运动定位系统来说，安装偏心误差不能忽视，因此需要设计一种方便且适用于精密系统高精度微位移调节的手动调节平台，手动调整定位误差完成精准定位。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台。本专利技术采用如下方案实现：基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台，包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链和固定平台；所述固定平台通过并联铰链本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台，其特征在于：包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链机构和固定平台；/n所述固定平台通过并联铰链机构与所述运动平台相连；/n驱动系统包括运动机构和施力机构，运动机构包括杠杆、推杆、第一连接铰链、第二连接铰链、第三连接铰链，施力机构包括顶丝螺纹副、预紧弹簧，每一所述驱动系统的施力机构轴线与推杆轴线平行设置，两个驱动系统的推杆分别沿X轴和Y轴设置，两个驱动系统的施力机构分别沿X轴和Y轴设置；所述固定平台通过第一连接铰链与杠杆相连，所述顶丝螺纹副包括螺钉和设有螺纹孔的固定部，杠杆一端夹设于顶丝螺纹副的螺钉和预紧弹簧之间，所述顶丝...

【技术特征摘要】
1.基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台，其特征在于：包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链机构和固定平台；
所述固定平台通过并联铰链机构与所述运动平台相连；
驱动系统包括运动机构和施力机构，运动机构包括杠杆、推杆、第一连接铰链、第二连接铰链、第三连接铰链，施力机构包括顶丝螺纹副、预紧弹簧，每一所述驱动系统的施力机构轴线与推杆轴线平行设置，两个驱动系统的推杆分别沿X轴和Y轴设置，两个驱动系统的施力机构分别沿X轴和Y轴设置；所述固定平台通过第一连接铰链与杠杆相连，所述顶丝螺纹副包括螺钉和设有螺纹孔的固定部，杠杆一端夹设于顶丝螺纹副的螺钉和预紧弹簧之间，所述顶丝螺纹副的固定部和所述预紧弹簧一端均固定设置于固定平台上，杠杆另一端通过第二连接铰链与推杆相连；所述推杆通过第三连接铰链与运动平台相连。


2.根据权利要求1所述的基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台，其特征在于：所述杠杆包括长臂和短臂，长臂沿X轴或Y轴方向延伸，长臂远离施力机构的端面连接有短臂，长臂远离施力机构的一端的侧面通过第一连接铰链与固定平台相连，短臂通过推杆与运动平台相连，第二连接铰链设置于长臂与短臂连接的端面远离施力机构的一侧。


3.根据权利要求1所述的基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平...

【专利技术属性】
技术研发人员：石锦洋，须颖，王辉春，安冬，刘浩，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东;44