下载基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台的技术资料

文档序号:27970698

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本发明涉及纳米位移和定位技术领域,具体公开了基于柔性铰链机构的并联两自由度微位移手动调节平台,包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链机构和固定平台;固定平台通过并联铰链机构与运动平台相连;驱动系统包括运动机构和施力机构,...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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