一种双面抛光机压布装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种双面抛光机压布装置，所属双面研磨抛光机技术领域，包括下转盘，所述的下转盘上设有与下转盘相螺栓连接固定的上压盘，所述的上压盘与下转盘间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件，所述的压布滚轮组件与下转盘间设有与下转盘相轴承式嵌套的压布定盘。所述的压布滚轮组件包括碾辊，所述的碾辊两端设有与碾辊相插嵌式限位套接的限位件。具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种双面抛光机压布装置
本技术涉及双面研磨抛光机
，具体涉及一种双面抛光机压布装置。
技术介绍
目前，双抛机更换完PAD后，设备运行程序压布后，要进行人工压布。程序压布的粘接，易出现粘接不牢，空鼓等。无法达到加工生产要求，现状是只能采用人工进行压布，手持压布滚轮进行压布，达到使用效果，但是增加人力成本，增加压布时长。
技术实现思路
本技术主要解决现有技术中存在稳定性差、受力均匀度差和费时费力的不足，提供了一种双面抛光机压布装置，其具有结构简单、稳定性好、受力均匀度好和省时省力的特点。解决了压布过程中出现粘接不牢和空鼓的问题。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种双面抛光机压布装置，包括下转盘，所述的下转盘上设有与下转盘相螺栓连接固定的上压盘，所述的上压盘与下转盘间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件，所述的压布滚轮组件与下转盘间设有与下转盘相轴承式嵌套的压布定盘。所述的压布滚轮组件包括碾辊，所述的碾辊两端设有与碾辊相插嵌式限位套接的限位件。作为优选，所述的限位件包括限位块，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面抛光机压布装置，其特征在于：包括下转盘（1），所述的下转盘（1）上设有与下转盘（1）相螺栓连接固定的上压盘（4），所述的上压盘（4）与下转盘（1）间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件（3），所述的压布滚轮组件（3）与下转盘（1）间设有与下转盘（1）相轴承式嵌套的压布定盘（2）；所述的压布滚轮组件（3）包括碾辊（6），所述的碾辊（6）两端设有与碾辊（6）相插嵌式限位套接的限位件（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种双面抛光机压布装置，其特征在于：包括下转盘（1），所述的下转盘（1）上设有与下转盘（1）相螺栓连接固定的上压盘（4），所述的上压盘（4）与下转盘（1）间设有若干呈等间距环形分布的压布滚轮组件（3），所述的压布滚轮组件（3）与下转盘（1）间设有与下转盘（1）相轴承式嵌套的压布定盘（2）；所述的压布滚轮组件（3）包括碾辊（6），所述的碾辊（6）两端设有与碾辊（6）相插嵌式限位套接的限位件（5）。


2.根据权利要求1所述的一种双面抛光机压布装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏鹏辉，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33