【技术实现步骤摘要】
一种粉尘环境的水洗喷淋装置
本技术属于喷淋装置
,尤其涉及一种粉尘环境的水洗喷淋装置。
技术介绍
在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排,也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中,造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞,缩短设备的维护周期,影响工厂的产能,所以人们设计了水洗喷淋装置。但是现有的水洗喷淋装置还存在着在使用的过程中容易气体过轻容易影响喷淋效果,不方便去除废水中的有害杂质以及不方便循环使用节约能源的问题。因此,专利技术一种粉尘环境的水洗喷淋装置显得非常必要。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种粉尘环境的水洗喷淋装置,以解决现有的水洗喷淋装置存在着在使用的过程中容易气体过轻容易影响喷淋效果,不方便去除废水中的有害杂质以及不方便循环使用节约能源的问题。一种粉尘环境的水洗喷淋装置,包括第一反应腔,第二反应腔,第一连接管,第二连接管,水洗装置,可连接导送喷淋箱结构,可插接清理 ...
【技术保护点】
1.一种粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于,该粉尘环境的水洗喷淋装置,包括第一反应腔(1),第二反应腔(2),第一连接管(3),第二连接管(4),水洗装置(5),可连接导送喷淋箱结构(6),可插接清理箱结构(7),可观察循环收集箱结构(8),进气管(9),第一导液管(10),第二导液管(11),冷却塔(12),排气管(13)和冷却板(14),所述的第一连接管(3)的下端右侧螺栓连接在第一反应腔(1)的上端中间位置;所述的第二连接管(4)的上端左侧螺栓螺栓连接在第一反应腔(1)的下端中间;所述的第二连接管(4)的下端右侧螺栓连接在第二反应腔(2)的上端右侧中间位置;所述的第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于,该粉尘环境的水洗喷淋装置,包括第一反应腔(1),第二反应腔(2),第一连接管(3),第二连接管(4),水洗装置(5),可连接导送喷淋箱结构(6),可插接清理箱结构(7),可观察循环收集箱结构(8),进气管(9),第一导液管(10),第二导液管(11),冷却塔(12),排气管(13)和冷却板(14),所述的第一连接管(3)的下端右侧螺栓连接在第一反应腔(1)的上端中间位置;所述的第二连接管(4)的上端左侧螺栓螺栓连接在第一反应腔(1)的下端中间;所述的第二连接管(4)的下端右侧螺栓连接在第二反应腔(2)的上端右侧中间位置;所述的第二连接管(4)的下端螺栓连接在水洗装置(5)的上端左侧中间位置;所述的可连接导送喷淋箱结构(6)安装在第一连接管(3)的下端左侧;所述的可插接清理箱结构(7)分别安装在第一导液管(10)和第二导液管(11)的下端;所述的可观察循环收集箱结构(8)安装在可插接清理箱结构(7)的下端;所述的进气管(9)的下端安装在可连接导送喷淋箱结构(6)的上端左侧;所述的第一导液管(10)的上端螺栓连接在可连接导送喷淋箱结构(6)的下端中间位置;所述的第二导液管(11)螺栓连接在水洗装置(5)的下端中间位置;所述的冷却塔(12)的下端螺栓连接在水洗装置(5)的上端右侧中间位置;所述的排气管(13)螺栓连接在冷却塔(12)的上端中间位置;所述的冷却板(14)从上到下依次螺栓连接在冷却塔(12)的内壁;所述的可连接导送喷淋箱结构(6)包括喷淋箱(61),第一喷淋盒(62),第三连接管(63),第二喷淋盒(64),第三喷淋盒(65)和出料管(66),所述的第一喷淋盒(62)螺栓连接在喷淋箱(61)的左侧内壁上部;所述的第二喷淋盒(64)螺栓连接在喷淋箱(61)的右侧内壁中间位置;所述的第三喷淋盒(65)螺栓连接在喷淋箱(61)的左侧内壁下部;所述的出料管(66)螺栓连接在第三喷淋盒(65)的右侧下部;所述的第一喷淋盒(62)和第二喷淋盒(64)以及第三喷淋盒(65)分别通过第三连接管(63)连通设置。
2.如权利要求1所述的粉尘环境的水洗喷淋装置,其特征在于,所述的可插接清理箱结构(7)包括导送吸附箱(71),吸附架(72),固定盖(73),不锈钢网(74)和圆柱形活性炭吸附层(75),所述的吸附架(72)的左侧螺栓连接在固定盖(73)的右侧中间位置;所述的吸附架(72)插接在导送吸附箱(...
【专利技术属性】
技术研发人员:王坤,
申请(专利权)人:中泰互通天津科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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