喷嘴及基板清洗装置制造方法及图纸

提供一种喷嘴及基板清洗装置，以提高将包含微小气泡的液体向基板喷洒时的均匀性。喷嘴具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于该壳体内，并将所述中空划分为多个空间，在该壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被该板材划分出的空间中的最上方的空间连通，在各该板材设置有多个贯通孔，在该壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴及基板清洗装置与关联申请的相互参照本申请主张2019年10月4日申请的日本专利申请第2019-183439号及2020年8月20日申请的日本国专利申请第2020-139153号的优先权，并通过参照编入其全部内容。
本技术涉及一种喷嘴及基板清洗装置。
技术介绍
生成微小气泡(例如，微气泡)的喷嘴被使用于基板处理工序。例如，在国际公开WO2011/052111中，对于四边形状的基板，在头主体配置多个圆筒形状的喷射喷嘴，并将该喷射喷嘴相对于基板的移动方向垂直地配置，从而从喷射喷嘴向基板喷洒臭氧微气泡水。专利技术所要解决的技术问题但是，由于喷射喷嘴等间隔配置，因此存在在喷射喷嘴间产生空白区域，从而无法实现将包含微小气泡(例如，微气泡)的液体均匀地喷洒到喷洒对象物(例如基板)上这样的问题。
技术实现思路
本技术是鉴于上述问题而做出的，希望提供一种能够提高将包含微小气泡的液体向喷洒对象物(例如基板)喷洒时的均匀性的喷嘴及基板清洗装置。一实施方式的喷嘴生成微小气泡，具备：中空的壳体；以及多个板材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴，生成微小气泡，该喷嘴的特征在于，具备：/n中空的壳体；以及/n多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，/n在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，/n在各所述板材设置有多个贯通孔，/n在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。/n

【技术特征摘要】
20191004 JP 2019-183439;20200820 JP 2020-1391531.一种喷嘴，生成微小气泡，该喷嘴的特征在于，具备：
中空的壳体；以及
多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，
在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，
在各所述板材设置有多个贯通孔，
在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。


2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，
所述板材是多个，
在多个板材中的与第一板材相比设置于下方的第二板材中，贯通孔的数量比第一板材的贯通孔的数量多，及/或贯通孔的大小小于等于第一板材的贯通孔的大小。


3.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其特征在于，
具备加热单元，该加热单元对所述壳体或所述气体溶解液进行加热。


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【专利技术属性】
技术研发人员：中川洋一，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP