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提供一种喷嘴及基板清洗装置，以提高将包含微小气泡的液体向基板喷洒时的均匀性。喷嘴具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于该壳体内，并将所述中空划分为多个空间，在该壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被该板材划...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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