一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位并行运行不同检测步骤。本实用新型专利技术通过设置的多个检测工位，多工位并行，一个工位检测，其余工位可同时进行上料、预抽、破空、下料等其余操作，充分提高了氦质谱检漏仪的利用率，使生产效率得到大大提升；并且通过对检测工位上的工装结构进行更换，可实现批检加分检的组合模式；还通过单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大、抽速快，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统
本技术涉及氦质谱检漏仪应用
，具体涉及一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。
技术介绍
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。氦质谱检漏仪的检漏的工作过程包括上料、抽空、清本底、检漏、破空、下料等几个必不可少的检测步骤，在这几个检测步骤中，只有清本底和检漏两个检测步骤是氦质谱检漏仪必须参与的，其他检测步骤氦质谱检漏仪要么处于等待状态(比如上料和下料)，要么可以采用替代方案而不用参与(比如抽空和破空)，这样造成氦质谱检漏仪的实际利用效率并不是很高，为此，提出一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：如何有效地提高氦质谱检漏仪的利用率，使氦质谱检漏仪能够不间断连续工作，提高生产效率，提供了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本技术包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：包括预抽真空组件、清扫气源、一个氦质谱检漏仪、多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位同时运行检测流程的不同检测步骤。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：包括预抽真空组件、清扫气源、一个氦质谱检漏仪、多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位同时运行检测流程的不同检测步骤。


2.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构完全相同。


3.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构不相同。


4.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路、预抽通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述预抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱操胜，
申请(专利权)人：安徽诺益科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34