一种多工位多机氦质谱检漏系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。本实用新型专利技术通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位多机氦质谱检漏系统
本技术涉及氦质谱检漏仪应用
，具体涉及一种多工位多机氦质谱检漏系统。
技术介绍
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。在进行大规模生产时，自动化程度和可靠性对生产效率有着重要的作用。检测工位作为整个自动化生产流水线的一部分，整个检漏系统的节拍和可靠工作显的尤为重要。采用单机多工位的方式工作，每个工位要轮流检测，受制于氦质谱检漏仪本身性能瓶颈的限制，节拍提升有限，并且控制逻辑较为复杂，对检漏系统的可靠性是一个考验，为此，提出一种多工位多机氦质谱检漏系统。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：如何有效地提高多工位多机氦质谱检漏系统的测量精度，提供了一种多工位多机氦质谱检漏系统。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本技术包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。


2.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。


3.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫通路、所述检测通路、所述破空通路上均设置有控制阀。


4.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位的各所述清扫通路同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路同时运行，各所述检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱操胜，
申请(专利权)人：安徽诺益科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34