下载一种多工位多机氦质谱检漏系统的技术资料

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本实用新型公开了一种多工位多机氦质谱检漏系统,包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位,所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接,多个待检测件分别与各所述检测工位连接,各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。本实用新型通过采用一机...
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