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本实用新型公开了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测...
该专利属于安徽诺益科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽诺益科技有限公司授权不得商用。

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