【技术实现步骤摘要】
一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统
本技术涉及氦质谱检漏仪应用
,具体涉及一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。
技术介绍
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器,由于其可检漏率小,检测速度快,检测过程简单方便,在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。氦质谱检漏仪作为标准的通用检漏仪器,其本身的抽空能力是有限的。当有大容积的工件需要采用负压法抽空检漏,或者采用真空箱法检漏时,由于工件容积或者真空箱内容积比较大,检漏仪本省的抽空能力就不够了,要么要抽很长时间才能抽下来,缩短了检漏仪的有效使用寿命,要么根本就抽不下来,没有办法实现检漏操作,为此,提出一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于:如何有效地提高氦质谱检漏系统的抽空能力,以弥补氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足,提供了一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的,本技术包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路,所述辅助抽空 ...
【技术保护点】
1.一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路,所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联,所述公共管路与待检测件连接。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路,所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联,所述公共管路与待检测件连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:所述辅助抽空通路包括真空泵组件、第一控制阀,所述真空泵组件通过所述第一控制阀与所述公共管路连接。
3.根据权利要求2所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:所述真空泵组件为单个真空泵或真空泵组。
4.根据权利要求3所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:所述氦质谱检漏通路包括氦质谱检漏仪、第二控制阀,所述氦质谱检漏仪通过所述第二控制阀与所述公共管路连接。
5.根据权利要求4所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统,其特征在于:所述破空通路包括空气进口、第三控制阀,所述空气进口通过所述第三控制阀与所述公共管路连接。
技术研发人员:朱操胜,
申请(专利权)人:安徽诺益科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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