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本实用新型公开了一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。本实用新型...
该专利属于安徽诺益科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽诺益科技有限公司授权不得商用。

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