一种六氟化钨加工用纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体，所述钢丝网支撑框滑接穿入吸附塔本体的内部，所述钢丝网支撑框的内部设有细网纱布袋，所述细网纱布袋的端部设有袋口，所述袋口贯穿至钢丝网支撑框的侧壁上。该装置推动第一挡块实现对钢丝网支撑框的依次推动，直至把吸附填料置入吸附塔本体的内部，再把第一挡块拧紧至进料口上，使得吸附填料安装快捷方便；拆卸时，拧动第二挡块脱离出料口，再手握打结的袋口并拉动，即可带动钢丝网支撑框脱离吸附塔本体，继而实现吸附填料的拆卸，操作快捷，省时省力，有效节约了工作时间，从而有利于提高纯化工作效率以及保证吸附填料的使用效率，即有利于保证纯化质量。

【技术实现步骤摘要】
一种六氟化钨加工用纯化装置
本技术属于化工设备
，具体涉及一种六氟化钨加工用纯化装置。
技术介绍
在钨的氟化物中，WF6是唯一稳定并被工业化生产的品种，它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料，WF6还有许多非电子方面的应用。由于钨粉和三氟化氮都含有杂质，上述反应制得的六氟化钨中通常含有一些杂质，主要包括氮、氧、一氧化碳、二氧化碳、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氟化氢等挥发性杂质和金属氟化物等非挥发性杂质，这些杂质的存在会严重影响六氟化钨在超大规模集成电路中的使用性能，因此必须去除。为此，公开号为CN100486900C公开了一种六氟化钨气体的纯化方法，首先将粗品储罐内的不纯的六氟化钨气体通入内部装填有多孔球状的氟化钠或氟化钾填料的吸附塔的底部，在10℃～80℃下除去其中的绝大部分氟化氢杂质，再经管道进入精馏塔中液化，进一步精馏除去杂质，用气相色谱分析检测，当塔顶排除气体中各类沸点高于六氟化钨气体沸点的杂质浓度降低到要求指标时，停止通入高纯氦本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体(1)，其特征在于：所述吸附塔本体(1)的底部和顶部的侧壁上分别固定连接有进气口(101)和出气口(102)，所述吸附塔本体(1)的两侧分别设有进料口(103)和出料口(104)，所述进料口(103)和出料口(104)上分别设有第一挡块(4)和第二挡块(5)，所述进料口(103)下方对应的吸附塔本体(1)的侧壁上固定连接有支板(3)，所述支板(3)的端部上固定连接有立板(301)，所述立板(301)上滑动插接有推杆(302)，所述推杆(302)的端部与第一挡块(4)固定连接，所述支板(3)上滑动连接有钢丝网支撑框(6)，所述钢丝网支撑框(6)滑接穿...

【技术特征摘要】
1.一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体(1)，其特征在于：所述吸附塔本体(1)的底部和顶部的侧壁上分别固定连接有进气口(101)和出气口(102)，所述吸附塔本体(1)的两侧分别设有进料口(103)和出料口(104)，所述进料口(103)和出料口(104)上分别设有第一挡块(4)和第二挡块(5)，所述进料口(103)下方对应的吸附塔本体(1)的侧壁上固定连接有支板(3)，所述支板(3)的端部上固定连接有立板(301)，所述立板(301)上滑动插接有推杆(302)，所述推杆(302)的端部与第一挡块(4)固定连接，所述支板(3)上滑动连接有钢丝网支撑框(6)，所述钢丝网支撑框(6)滑接穿入吸附塔本体(1)的内部，所述钢丝网支撑框(6)的内部设有细网纱布袋(7)，所述细网纱布袋(7)的端部设有袋口(701)，所述袋口(701)贯穿至钢丝网支撑框(6)的侧壁上。


2.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述进料口(103)和出料口(104)均与钢丝网支撑框(6)滑动连接，所述第一挡块(4)和第二挡块(5)的环形侧壁上均设有螺纹槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔翼祚，
申请(专利权)人：厚成新材料南通有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32