【技术实现步骤摘要】
一种石英产品自动检测装置
本专利技术涉及检测装置，尤其是涉及一种石英产品自动检测装置。
技术介绍
随着IC行业的高速发展，半导体设备制造行业随之日渐成熟，石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，需求也与日俱增；因石英玻璃具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低和电绝缘等一系列特性，故其加工工艺要求十分严苛，尤其产品检测工艺绝大多数为传统的人工操作，产品检测准确率和效率普遍偏低，且对作业人员的技能水平要求较高；半导体设备中的石英产品结构复杂多变，多孔石英板检测更是给检测人员带来了极大的检测困难，多孔石英板因为精度要求高，打孔数量多，在对孔径及孔位进行检测时，检测效率低，从而造成检测难度高且检测结果不稳定。例如，在中国专利文献上公开的“一种用于多种类大直径密集孔板的检查装置”，其公告号CN207077410U，包括支撑架以及连接框架，支撑架的上端面水平安装有两个固定座，每个固定座内安装有一个转动轴承，两个转动轴承内套装有转动轴，转动轴的前端设置有与连接框架连接的法兰接口，转动轴的后端和支撑架之间设置有分度定位装置，连接框架的...
【技术保护点】
1.一种石英产品自动检测装置，其特征是，包括，/n检测机构（3），所述检测机构（3）包括用于拍摄和传输石英产品图像的检测头（31）、用于移动检测头（31）的移动组件（32）和用于分析检测头（31）传输的图像的分析装置；/n安装治具（2），所述安装治具（2）用于固定石英产品；/n滑移机构（4），所述滑移机构（4）用于移动安装治具（2），安装治具（2）固定在滑移机构（4）上；/n控制系统，所述控制系统用于控制检测机构（3）启闭和滑移机构（4）移动；/n床身承载平台（1），所述床身承载平台（1）支撑架（102）与基台（101），在基台（101）上设置有用于安装移动组组件的检测底座...
【技术特征摘要】
1.一种石英产品自动检测装置，其特征是，包括，
检测机构（3），所述检测机构（3）包括用于拍摄和传输石英产品图像的检测头（31）、用于移动检测头（31）的移动组件（32）和用于分析检测头（31）传输的图像的分析装置；
安装治具（2），所述安装治具（2）用于固定石英产品；
滑移机构（4），所述滑移机构（4）用于移动安装治具（2），安装治具（2）固定在滑移机构（4）上；
控制系统，所述控制系统用于控制检测机构（3）启闭和滑移机构（4）移动；
床身承载平台（1），所述床身承载平台（1）支撑架（102）与基台（101），在基台（101）上设置有用于安装移动组组件的检测底座（5），滑移机构（4）固定在基台（101）上。
2.根据权利要求1所述的一种石英产品自动检测装置，其特征是，所述检测机构（3）成对设置，成对的检测机构（3）分别设置在基台（101）的上下两侧，所述安装治具（2）上设置有用于实现上下检测的镂空腔，在所述基台（101）对应设置有镂空结构。
3.根据权利要求1所述的一种石英产品自动检测装置，其特征是，所述检测头（31）包括检测传感器（311），所述检测传感器（311）固定在移动组件（32）上，所述移动组件（32）包括分别用于控制检测头（31）X轴、Y轴和Z轴方向上的位置的X轴调节组件（321）、Y轴调节组件（324）和Z轴调节组件（327），所述X轴调节组件（321）一端与检测传感器（311）连接，另一端固定在Y轴传感器上；Y轴调节组件（324）设置在X轴调节组件（321）和Z轴调节组件（327）之间；Z轴调节组件（327）固定在检测底座（5）上。
4.根据权利要求3所述的一种石英产品自动检测装置，其特征是，所述检测头（31）...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅杰，李勇斌，何求，吴然红，杨军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。