一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备制造技术

本发明专利技术公开了一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，包括炉体柜，所述炉体柜内设有工艺炉管，且工艺炉管的数量为六组，五组所述工艺炉管垂直安装，且一组工艺炉管不对称安装，每组所述工艺炉管上设置有炉门启闭装置，且炉门启闭装置上安装有炉门主体和开合机构，所述炉门主体与开合机构相连接，所述炉体柜内部左侧安装有进舟装置；该多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，通过采用非对称的工艺炉管，将原有的从高度方向增加炉管方式改变成从宽度方向增加炉管方式，充分利用设备的空间，在不增加设备占用面积和高度的情况下增加了功能，有效的提高了客户厂房的利用率，同时也降低了维护成本和难度，而且提高了设备整体结构的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备
本专利技术涉及电池片加工
，具体为一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备。
技术介绍
PECVD设备是指等离子体增强化学的气相沉积法，这种方法有很多优点，比如成膜质量好等，而针对高效电池片正面和背面需要镀多层膜的需求时需要使用到PECVD设备，现有技术的不对称PECVD设备都是采用从高度方向增加炉管方式，使得硅片因为应力产生隐裂的比例，同时需要工作人员进行出舟和搬运，可能导致在运输过程中震动造成的表面划痕等轻微损伤，增加了人为损坏风险，给使用带来不便，为此，我们提出一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备。
技术实现思路
针对
技术介绍
的不足，本专利技术提供了一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，解决了上述
技术介绍
提出的问题。本专利技术提供如下技术方案：一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，包括炉体柜，所述炉体柜内设有工艺炉管，且工艺炉管的数量为六组，五组所述工艺炉管垂直安装，且一组工艺炉管不对称安装，每组所述工艺炉管上设置有炉门启闭装置，且炉门启闭装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，包括炉体柜(1)，其特征在于：所述炉体柜(1)内设有工艺炉管(2)，且工艺炉管(2)的数量为六组，五组所述工艺炉管(2)垂直安装，且一组工艺炉管(2)不对称安装，每组所述工艺炉管(2)上设置有炉门启闭装置(5)，且炉门启闭装置(5)上安装有炉门主体和开合机构，所述炉门主体与开合机构相连接，所述炉体柜(1)内部左侧安装有进舟装置(3)，所述进舟装置(3)上设置有水平移动导轨组件(4)、垂直移动组件以及驱动机构，且水平移动导轨组件(4)位于进舟装置(3)的底端，所述炉体柜(1)的右侧安装有真空压力系统(8)，且真空压力系统(8)上设置有真空泵和压力系...

【技术特征摘要】
1.一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，包括炉体柜(1)，其特征在于：所述炉体柜(1)内设有工艺炉管(2)，且工艺炉管(2)的数量为六组，五组所述工艺炉管(2)垂直安装，且一组工艺炉管(2)不对称安装，每组所述工艺炉管(2)上设置有炉门启闭装置(5)，且炉门启闭装置(5)上安装有炉门主体和开合机构，所述炉门主体与开合机构相连接，所述炉体柜(1)内部左侧安装有进舟装置(3)，所述进舟装置(3)上设置有水平移动导轨组件(4)、垂直移动组件以及驱动机构，且水平移动导轨组件(4)位于进舟装置(3)的底端，所述炉体柜(1)的右侧安装有真空压力系统(8)，且真空压力系统(8)上设置有真空泵和压力系统，所述真空压力系统(8)的一侧安装有一号射频系统(6)，且一号射频系统(6)的下方设置有二号射频系统(7)，所述炉体柜(1)内中间部分安装有气路系统与TMA系统。


2.根据权利要求1所述的一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，其特征在于：五组所述工艺炉管(2)通过垂直导向组件垂直安装，且垂直导向组件为丝杆升降机。


3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶俊，王雪楠，姚丽英，刘永法，
申请(专利权)人：无锡琨圣智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32