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本发明公开了一种多工艺组合的多管式不对称PECVD设备，包括炉体柜，所述炉体柜内设有工艺炉管，且工艺炉管的数量为六组，五组所述工艺炉管垂直安装，且一组工艺炉管不对称安装，每组所述工艺炉管上设置有炉门启闭装置，且炉门启闭装置上安装有炉门主体和...
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