流体通路的关闭方法和用于该方法的无水击阀装置及无水击关闭装置制造方法及图纸

一种流体压力大致恒定的流体通路的关闭方法，在利用加装在管路内压力大致恒定的流体通路上的致动器动作式的阀来关闭流体通路的方法中，其特征在于，首先，使对前述致动器的驱动用输入增加或减少到规定的设定值，使阀体向关闭阀的方向移动，在将对致动器的驱动用输入短时间地保持在前述设定值之后，通过使该驱动用输入进一步增加或减少，使阀变成全部关闭状态，从而不会引起水击现象地将流体通路关闭。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Method for closing a fluid path, a waterless valve device for use in the process, and a waterless knock off device

Method for closing fluid passage a substantially constant fluid pressure, actuator type action in a fluid path by adding the internal pressure in the pipeline approximately constant on the valve to close the fluid pathway, which is characterized in that, firstly, the drive of the actuator to increase or decrease to a prescribed set of input values, the the movement of the valve to close the valve in the direction of the actuator driven by input short time to remain after the set value, by making the input driven by further increase or decrease, make the valve into the closed state, so as not to cause water hammer to close a fluid passage.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在流体通路紧急关闭时可以完全防止发生水击作用的防止水击作用发生系统的改进，涉及不管流体压力的大小，都能够不产生水击、迅速且可靠地关闭流体通路的流体通路关闭方法，和用于该方法的无水击阀装置，以及无水击关闭装置。
技术介绍
当急剧地关闭水等液体流通的通路时，会引起在关闭部位的上游侧的通路内的压力振动式地上升的所谓水击现象，是一种众所周知的现象。此外，当发生该水击现象时，由于上游侧通路内的压力上升，会造成与其连接的设备、装置等的破损等各种不当之处。因此，对于防止水击现象的发生的措施，过去开发了各种技术。但是，任何一种技术基本上都是(1)将流体通路的关闭时间设定较长，或者(2)通过打开旁通通路将通路内产生的振动压力释放到外部，吸收到另外设置的储压器内，在前一种方法中，关闭流体通路需要花费时间，不能满足紧急关闭的要求，在后一种方法中，存在着附加费用升高的问题。进而，有关上述水击问题，在过去，主要是使用比较大的流量的流体的产业领域的问题，但近年来，在使用小流量的流体的领域，例如在半导体制造中的硅的湿法氧化膜处理领域以及药品的制造领域等中，从设备的保养和提高产品的质量等角度出发，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：大见忠弘，池田信一，西野功二，永濑正明，土肥亮介，西村龙太郎，
申请(专利权)人：株式会社富士金，大见忠弘，
类型：发明
国别省市：