伺服放大器制造技术

本发明专利技术的伺服放大器，输入被安装在电动机的旋转轴上的电动机位置检测器的检测信号、和被安装在与电动机的旋转轴连接的负载装置上的外部位置检测器的检测信号，并根据来自上级控制器的位置指令对电动机进行驱动控制。在该伺服放大器中包括：第一信号选择器，作为当前位置信息，从电动机位置检测器和外部位置检测器分别输入具有９０度相位差的ＡＢ相信号；以及第二信号选择器，从电动机位置检测器和外部位置检测器分别输入作为基准位置信息的Ｚ相信号，将第一信号选择器和第二信号选择器选择的检测信号输出到上级控制器。

Servo amplifier

The servo amplifier of the invention, the motor position detector input is mounted on a rotating shaft of a motor on the detection signal, and is installed on the rotary shaft and the motor load connected with external position detector device on the detection signal, and according to the instruction from the superior position controller of motor drive control. Included in the servo amplifier: the first signal selector, as the current position information from the motor position detector and external position detector are input with a phase difference of 90 degrees AB, and second believe; signal selector from the motor position detector and position detector are input as a reference position information of the Z signal, the output signal detection the first signal and second signal selector selector to the controller.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以脉沖将来自电动机的位置检测器和负载侧的外部位置检测 器的位置检测信息输出到上级控制器的伺服放大器。
技术介绍
在以半导体制造装置为代表的FA领域的装置中，被安装在伺服电动机 的旋转轴上的编码器的位置检测信号、和被安装在负载侧的外部位置检测器 的位置检测信号被用于定位控制。例如，如在日本专利申请特开平7-225615 号公报中公开的那样，提出了以全封闭(full closed)位置控制的高速化、上 级控制器的简化为目的的全封闭循环(foil closed loop )位置控制装置。通常，对伺服放大器发送指令的上级控制器为了取得电动机或者负载装 置的当前位置信息，对从伺服放大器输出的具有90度相位差的两种信号(一 般称为AB相信号)的脉冲数进行计数。而且， 一般准备一个位置以上的成为位置的基准的基准信号(一般称为 Z相信号)，该Z相也作为基准位置信号与AB相信号一起被从伺服放大器输 出到上级控制器侧。该ABZ相信号基于从安装在电动机和负载装置上的位置 检测器输入到伺服放大器的位置信息，在伺服放大器内部被生成。另一方面，提出了共用2相脉冲式编码器信号的接收电路和接口，并可 以应对串行通信编码器和全封闭控制，能够实现低价格、小型化、高性能化 的伺服放大器。该伺服放大器由接口取入2相脉冲式编码器(包含磁极传感 器用的串行通信)的信号并将其输入到微型计算机，该接口能够连接来自串 行通信编码器的串行信号和来自外部线性刻度尺(linear scale )的2相脉沖信 号。于是，该微型计算机具有通过软件切换使用了 2相脉沖式编码器的模式、 和使用了串行通信编码器和外部线性刻度尺信号的模式的功能。于是，在以 后者的模式将串行信号和线性刻度尺的2相脉冲信号输入到接口时，能够进 行全封闭控制。该技术例如在日本专利申请特开2000-333484号公报中被公 开。这里，作为该方式的课题，是表示位置信息的ABZ相的各信号以一组 (one set)的方式对每个位置检测器输入到伺服放大器，以一组的方式输出 到上级控制器这一点。该伺服放大器通过选择由位置检测器或者外部位置检测器检测到的一个 ABZ相信号而输出到上级控制器，可以应对全封闭控制或者半封闭控制。例 如，在选择全封闭控制，并且在外部位置检测器中作为基准位置的Z相仅有 一个位置时，在实施装置的基准位置调整时，需要使负载移动至Z相的位置。 在该移动量大时，在基准位置调整中需要较多时间。因此，在变更外部位置 检测器中的Z相的位置时，成为特殊标准而导致成本上升。另一方面，在不要求严格的位置精度的装置中，希望不变更外部位置检 测器的原来的Z相位置，而采用简单的基准位置调整方法。然而，两个位置 检测器的检测信号由于ABZ相是一组，所以存在不能单独利用的大问题。本专利技术的伺服放大器用于解决上述问题，具有以下结构。本专利技术的伺服 放大器，输入被安装在电动机的旋转轴上的电动机位置检测器的检测信号、 和被安装在与电动机的旋转轴连接的负载装置上的外部位置检测器的检测信 号，并根据来自上级控制器的位置指令对电动机进行驱动控制，在该伺服放 大器中包括第一信号选择器，作为当前位置信息，从电动机位置检测器和 外部位置检测器分别输入具有90度相位差的AB相信号；以及第二信号选择 器，从电动机位置检测器和外部位置检测器分别输入作为基准位置信息的Z 相信号，将第一信号选择器和第二信号选择器选择的检测信号输出到上级控 制器。检测器和外部位置检测器的位置信息(AB相和Z相)的ABZ相信号输出到 上级控制器，可以应对全封闭控制和半封闭控制两者。附图说明图1是包含本专利技术的实施方式1的伺服放大器的电动机控制系统的整体 说明图。图2是同上图的伺服放大器的主要部分的说明图
技术实现思路
图3是本专利技术的实施方式2中的伺服放大器的主要部分的说明图。 具体实施例方式以下，参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。 (实施方式1 )图1是包含本专利技术的实施方式1的伺服放大器的电动机控制系统的整体 说明图，图2是本实施方式的伺服放大器的主要部分的说明图。在图1中，伺服放大器2通过通信指令线11和通信响应线15与上级控 制器1连接。上级控制器1经由通信指令线11对伺服放大器2输出指令脉沖。 而且，虽然通信指令线11和通信响应线15各有三根线，但是仅图示一根线。伺服电动机3通过来自由电动机线12 (用一根线来图示3相线)连接的 伺服放大器2的供给电力来驱动。在伺服电动机3的旋转轴上安装电动机位 置检测器(以下称为旋转编码器)4，该旋转编码器4的检测信号(位置信息) 经由编码器线13输入到伺服放大器2。伺服电动机3的旋转轴和负载装置5的驱动轴(以下称为滚珠螺杆)6 通过联接器9连接，通过伺服电动机3的旋转轴旋转，被安装在滚珠螺杆6 上的台子7移动。外部位置检测器(以下，称为线性刻度尺)8检测安装了 负载的台子7的当前位置信息。该线性刻度尺8的检测信号(位置信息)经 由刻度尺线14被输入到伺服放大器2。而且，编码器(encoder)线13和刻 度尺(scale)线14用一根线图示除了电源线的ABZ相的三根线。伺服放大器2在全封闭控制的情况下将线性刻度尺8的位置信息、在半 封闭控制的情况下将旋转编码器4的位置信息以脉沖方式经由通信响应线15 输出到上级控制器1。上级控制器1将与对于指令脉冲的偏差相应的指令脉 沖输出到伺服放大器2。重复上述过程并更新，从而将台子7移动至目的位 置。这里，将从旋转编码器4和线性刻度尺8发送到伺服放大器2的检测信 号作为检测脉沖，将从伺服放大器2发送到上级控制器1的位置信号作为再 现脉沖而进行区别，并对位置检测器的位置信号进行说明。旋转编码器4和线性刻度尺8将作为当前位置信息具有90度的相位差的 AB相信号以并行的检测脉沖、将作为基准位置信息的Z相信号以检测脉沖 分别输出到伺服放大器2。在伺服放大器2中单独设置用于输入旋转编码器4和线性刻度尺8的检测脉沖的端子，通过连接编码器线13和刻度尺线14， 将检测脉冲取入伺服放大器2。本专利技术的伺服放大器2的特征是，具有将AB相信号输入内部的第一信 号选择器10a和输入Z相信号的第二信号选择器10b，可以单独输出从伺服 放大器2输出到上级控制器1的AB相再现脉沖和Z相再现脉冲，兼用图2 来进行说明。图2将图1中的伺服放大器2表示为伺服放大器22，以下详细说明。在 图2中，伺服放大器22经由通信响应线15a (用一根线图示AB相信号)和 通信响应线15b (Z相)，将位置检测器的位置信息以再现脉冲输出到上级控 制器1。伺服放大器22在输出该位置检测器的再现脉冲的前级具有第一信号 选择器20a和第二信号选择器20b。在伺服放大器22的内部，旋转编码器4 和线性刻度尺8的检测脉冲(AB相信号和Z相信号)被分别输入第一信号 选择器20a和第二信号选择器20b。在第一信号选择器20a中，输入旋转编码器4的AB相信号13a(用一根 线图示两个信号)和线性刻度尺8的AB相信号14a(用一根线图示两个信号)。 在第二信号选择器20b中输入旋转编码器4的Z相信号13b和线性刻度尺8 的Z相信号14b。在第一信号选择器20a和第二信号选择器20b中，选择输 出哪一个信号。图2表示第一信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种伺服放大器，输入被安装在电动机的旋转轴上的电动机位置检测器的检测信号、和被安装在与所述电动机的旋转轴连接的负载装置上的外部位置检测器的检测信号，并根据来自上级控制器的位置指令对所述电动机进行驱动控制，其特征在于，　在该伺服放大器中包括：第一信号选择器，作为当前位置信息，从所述电动机位置检测器和所述外部位置检测器分别输入具有９０度相位差的ＡＢ相信号；以及第二信号选择器，从所述电动机位置检测器和所述外部位置检测器分别输入作为基准位置信息的Ｚ相信号，将所述第一信号选择器和所述第二信号选择器选择的检测信号输出到所述上级控制器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高嶋真也，西园胜，岸部太郎，大音久志，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]