一种真空镀膜翻转工装制造技术

本实用新型专利技术涉及工装夹具技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。在本实用新型专利技术中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜翻转工装
本技术涉及工装夹具
，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装。
技术介绍
半导体刻蚀时，通常会用到基底，在基底上需镀覆一层膜，以提高基底的耐腐蚀性。在对基底进行镀膜时，通常会使用工装夹具将基底固定，再将固定好的基底放置到镀膜机的真空腔中进行镀膜。目前，用于固定基底的夹具功能较为单一，当需要对基底进行两面镀膜时，需将夹具和基底从真空腔中取出，将基底翻转后，再进行第二次镀膜，需进行两次的抽真空，操作繁琐。并且，对于不同尺寸的基底，需采用不同的夹具进行固定，夹具的适用的灵活程度低，需准备多中规格的夹具，增加了生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜翻转工装，通过翻转机构，将夹具翻转180°，便于对基底进行多面镀膜。本技术提供了一种真空镀膜翻转工装，包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。进一步地，所述夹具包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂对称设置；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距。进一步地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均包括连接块和臂本体,所述连接块的一端与所述螺杆螺纹连接,且所述连接块靠近所述螺杆的一端位于所述滑槽内，所述连接块的另一端与所述臂本体可拆卸连接；所述第一夹持臂的所述臂本体和所述第二夹持臂的臂本体相对的一侧均凹设有用于容置基底边缘的容置槽。进一步地，所述臂本体与所述连接块通过螺栓连接。进一步地，所述夹具本体为多个，多个所述夹具本体沿所述螺杆的轴向间隔设置。进一步地，所述调节板的一端贯穿真空镀膜机的顶壁，且所述调节板位于真空腔外的一端设置固定螺母，用于固定所述调节板的高度。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：在本技术中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对本技术中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术提供的一种真空镀膜翻转工装的俯视示意图一；图2为本技术提供的一种真空镀膜翻转工装的俯视示意图二；图3为图2中的夹具本体翻转后的俯视示意图；图4为图1中A-A方向的剖视示意图；图5为本技术的镀膜翻转工装安装在真空镀膜机中的剖视示意图。图标：1-夹具本体，11-第一夹持臂，111-连接块，112-臂本体，113-容置槽，12-第二夹持臂，2-螺杆，3-支架，31-第一支架，32-第二支架，33-横架，331-滑槽，34-第一转轴，35-第二转轴，36-第三转轴，37-第四转轴，4-支撑架，5-翻转机构，51-齿轮，52-调节板，53-固定螺母，6-真空腔，7-镀膜源，8-基底。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行描述。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。实施例：如附图1-5所示本实施例提供一种真空镀膜翻转工装，包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架4和用于翻转所述夹具的翻转机构5；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架4转动连接；具体的，在本实施例中，所述转轴包括第一转轴34和第二转轴35，第一转轴34和第二转轴35均与支撑架4转动连接，如附图5所示，第一转轴34位于在夹具的右端，第二转轴35位于在夹具的左端。如附图3和5所示，在本实施例中，所述翻转机构5包括齿轮51和调节板52，所述齿轮51与第一转轴34同轴连接，所述调节板52设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮51啮合，以带动所述齿轮51转动。并且，为方便在真空腔6为翻转夹具，该调节板52的一端穿过真空腔6的顶壁，并在该端设置有固定螺母53，用来固定调节板52的位置。固定螺母53的下端抵接在真空腔6的外壁，防止调节板52下落，以起到固定调节板52的作用。为方便安放基底8，在所述夹具靠近所述第一转轴34的一端设有第三转轴36，所述第三转轴36与所述第一转轴34通过联轴器实现可拆卸连接；同样的，所述夹具的另一端设有第四转轴37，所述第四转轴37与所述第二转轴35也通过联轴器实现可拆卸连接。在本技术的其他实施例中，第一转轴34和第三转轴36，第二转轴35和第四转轴37还可用通过其他的可拆卸连接方式连接。在实际使用时，支撑架4和翻转机构5设置在真空镀膜腔内，在安装基底8时，可将夹具与支撑分离，将夹具从真空腔6中拿出，待夹具上安装好基底8后，再将夹具安装在支撑架4上即可，方便安装，同时也提高真空镀膜机的工作效率。在镀膜的过程中，待一面镀膜结束后，向上或向下移动调节板52，调节板52带动齿轮51转动，进而带动夹具翻转。具体的，包括夹具本体1、螺杆2和支架3，所述支架3设有滑槽331，所述螺杆2位于所述滑槽331内，且所述螺杆2与所述支架3转动连接；具体的，在本实施例中，所述支架3包括相对设置的第一支架31、第二支架32和横架33，所述横架33的一端与所述第一支架31连接，所述横架33的另一端与所述第二支架32连接；所述滑槽331设于所述横架33，且所述螺杆2的一端与所述第一支架31转动连接，所述螺杆2的另一端与所述第二支架32转动连接。所述夹具本体1包括用于夹持基底8的第一夹持臂11和第二夹持臂12；所述第一夹持臂11和所述第二夹持臂12均包括连接块111和臂本体112,所述连接块111的一端与所述螺杆2螺纹连接,且所述连接块111靠近所述螺杆2的一端位于所述滑槽331内，所述连接块111的另一端与所述臂本体112通过螺栓可拆卸连接。并且，在本实施例中，在螺杆2上设置有两段旋向相反的螺纹，第一夹持臂11的连接块111与一段螺杆2连接，第二夹持臂12的连接块111与另一段螺杆2连接，通过转动螺杆2，在滑槽331的限位作用下，第一夹持臂11和第二夹持臂12同时运动，相互靠近或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜翻转工装，其特征在于，包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架(4)和用于翻转所述夹具的翻转机构(5)；/n所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架(4)转动连接；/n所述翻转机构(5)包括齿轮(51)和调节板(52)，所述齿轮(51)与一所述转轴同轴连接，所述调节板(52)设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮(51)啮合，以带动所述齿轮(51)转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜翻转工装，其特征在于，包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架(4)和用于翻转所述夹具的翻转机构(5)；
所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架(4)转动连接；
所述翻转机构(5)包括齿轮(51)和调节板(52)，所述齿轮(51)与一所述转轴同轴连接，所述调节板(52)设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮(51)啮合，以带动所述齿轮(51)转动。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜翻转工装，其特征在于，所述夹具包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3)，所述支架(3)设有滑槽(331)，所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内，且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接；
所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12)，所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)对称设置；所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接，以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。


3.根据权利要求2所述的真空镀膜翻转工装，其特征在于，所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)均包括连...

【专利技术属性】
技术研发人员：白秋云，
申请(专利权)人：成都超纯应用材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51