一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸发镀膜技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，包括底板、压环和设于底板的用于压紧压环的压紧组件；底板的载物面沿径向开设有滑槽，滑槽底部开设有多个销孔，多个销孔沿径向排列；压紧组件包括压板、弹性压紧件和弹簧销，压板卡设于滑槽且压板可沿滑槽的延伸方向滑动；弹簧销设于压板靠近滑槽槽底的一板面，且弹簧销卡设于销孔，以固定压板；在本实用新型专利技术中，在底板的径向上设置有多个销孔，通过将压紧组件上的弹簧销固定在不同的销孔中，调节弹性压紧件与底板中心的间距，再配合相应尺寸的压环，可对不同尺寸的物件进行镀膜，提高了夹具的适用范围，在使用时，只需要更换压环即可，使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具
本技术涉及蒸发镀膜
，具体而言，涉及一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具。
技术介绍
半导体刻蚀技术是一种商业化的技术，在刻蚀过程中，腔室内充满等离子气体，腔室内壁以及零部件表面必然会与等离子气体接触，导致零部件杯腐蚀，并对所产品造成污染。为降低产品被污染的几率，目前，多是通过对腔室的内壁、零部件的表面进行镀膜处理，提高腔室以及零部件表面的耐腐蚀性。SiO2基底是一种半导体刻蚀过程中所用的零部件，为提高SiO2基底的耐腐蚀性，通过蒸发镀膜的方式，在SiO2基底镀上一层Y2O3膜。在覆膜过程中，需通过夹具将SiO2基底固定，但现有的固定夹具的结构单一，仅能适用于一种尺寸的基底，通用性较弱，对不同尺寸或者异形基底进行镀膜时，需要更换不同的夹具，操作较为繁琐。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，提高夹具的通用性，可用于固定不同尺寸的基底，使用方便。本技术提供了一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，包括底板、压环和设于所述底板的用于压紧所述压环的压紧组件；所述底板的载物面沿径向开设有滑槽，所述滑槽底部开设有多个销孔，多个所述销孔沿径向排列；所述压紧组件包括压板、弹性压紧件和弹簧销，所述压板卡设于所述滑槽且所述压板可沿所述滑槽的延伸方向滑动；所述弹簧销设于所述压板靠近滑槽槽底的一板面，且所述弹簧销卡设于所述销孔，以固定所述压板；所述压紧组件设于所述压板靠近所述底板中心的一端，所述弹性压紧件包括压块、连接轴和限位块，所述连接轴的一端与所述压块的一板面固定连接，所述连接轴的另一端与所述限位块连接；所述压板沿所述底板的轴向开设有通孔，所述连接轴贯穿所述通孔，且可沿所述通孔的轴向滑动，所述通孔内壁开设有环形槽，所述连接轴套设有弹簧，所述弹簧靠近所述压块的一端与所述连接轴固定连接，所述弹簧的另一端抵接于所述环形槽的槽壁；所述压环的上端面抵接于所述压块，所述压环的下端面抵接于所述底板。进一步的，所述压紧组件至少为四个，四个所述压紧组件成环形阵列分布于所述底板的载物面。进一步的，所述压环为圆环状或者矩形环状。进一步的，所述弹簧销为多个，多个所述弹簧销沿所述底板径向排列，且相邻的弹簧销的间距等于相邻所述销孔的间距。进一步的，所述滑槽的宽度为a，所述压块宽度b，其中b＞a。进一步的，所述压花的材质为SiO2，采用SiO2的压环，其材质与SiO2基底相同，在加热过程和冷却过程中，压环与基底的热膨胀系数相同，不易造成压环的松动，使得基底固定的更加牢固。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：在本技术中，通过压环与压紧组件的配合，将待镀膜的物件固定在底板上，压环直接与待镀膜物件接触，压紧组件再将压环压紧，通过压环，可在一定程度分散压块的压力，避免待镀膜物件上的压力过于集中；并且，在本技术中，在底板的径向上设置有多个销孔，通过将压紧组件上的弹簧销固定在不同的销孔中，调节弹性压紧件与底板中心的间距，再配合相应尺寸的压环，可对不同尺寸的物件进行镀膜，提高了夹具的适用范围，在使用时，只需要更换压环即可，使用方便。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对本技术中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术的夹具在固定较小基底时的主视示意图；图2为本技术的夹具在固定较大基底时的主视示意图；图3为图1中A－A方向的剖视示意图；图4为图2中B－B方向的剖视示意图；图5为图4中C－C方向的剖视示意图；图6为图4中D－D方向的剖视示意图；图7为图3中E部分的放大示意图。图标：1－底板，11－滑槽，12－销孔，2－压环，3－压紧组件，31－压板，32－弹性压紧件，321－压块，322－连接轴，323－限位块，324－弹簧，33－弹簧销。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行描述。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。实施例1：如附图1－7所示一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，包括底板1、压环2和设于所述底板1的用于压紧所述压环2的压紧组件3；所述底板1的载物面沿径向开设有滑槽11，所述滑槽11底部开设有多个销孔12，多个所述销孔12沿径向排列；所述压紧组件3包括压板31、弹性压紧件32和弹簧销33，所述压板31卡设于所述滑槽11且所述压板31可沿所述滑槽11的延伸方向滑动，在本实施例中，滑槽11T型槽，压板31底面与滑槽11相匹配；所述弹簧销33设于所述压板31靠近滑槽11槽底的一板面，且所述弹簧销33卡设于所述销孔12，以固定所述压板31，在本实施例中，弹簧销33的结构为现有技术，如折叠雨伞中用到的弹簧销33；在使用时，通过按压弹簧销33，使得弹簧销33从销孔12中弹出，再滑动压板31，使得弹簧销33对准另一销孔12，实现压板31位置的调节。如附图5和7所示，所述压紧组件3设于所述压板31靠近所述底板1中心的一端，所述弹性压紧件32包括压块321、连接轴322和限位块323，所述连接轴322的一端与所述压块321的一板面固定连接，所述连接轴322的另一端与所述限位块323连接，压板31靠近底板1；所述压板31沿所述底板1的轴向开设有通孔，所述连接轴322贯穿所述通孔，且可沿所述通孔的轴向滑动，通过连接轴322的上下滑动，带动压板31上下运动，所述通孔内壁开设有环形槽，所述连接轴322套设有弹簧324，所述弹簧324靠近所述压块321的一端与所述连接轴322固定连接，所述弹簧324的另一端抵接于所述环形槽的槽壁；所述压环2的上端面抵接于所述压块321，所述压环2的下端面抵接于所述底板1。在使用时，将待镀膜的SiO2基底放置在底板1上，使得SiO2基底的中心与底板1的中心大致重合，再选择相应尺寸的压环2，放置在SiO2基底上，调节压板31的位置，并同时向上提起限位块323，使得压块321向上运动，弹簧324被进一步压缩，当压板31的位置调节好后，压块321刚好位于压环2的正上方，松开限位块323，在弹簧324的作用下，为压块321提供向下的压力将压环2和基底压紧。在取基底时，将压板31向反方向调节，使得压块321离开压环2即可。在本实施例中，压紧组件3为四个，四个所述压紧组件3成环形阵列分布于所述底板1的载物面，相应的，在底板1上也设置有四条滑槽11，在滑槽11上设有相应的销孔12。在本实施例中，所述压环2为圆环状，相应的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，包括底板(1)、压环(2)和设于所述底板(1)的用于压紧所述压环(2)的压紧组件(3)；/n所述底板(1)的载物面沿径向开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)底部开设有多个销孔(12)，多个所述销孔(12)沿径向排列；/n所述压紧组件(3)包括压板(31)、弹性压紧件(32)和弹簧销(33)，所述压板(31)卡设于所述滑槽(11)且所述压板(31)可沿所述滑槽(11)的延伸方向滑动；所述弹簧销(33)设于所述压板(31)靠近滑槽(11)槽底的一板面，且所述弹簧销(33)卡设于所述销孔(12)，以固定所述压板(31)；/n所述压紧组件(3)设于所述压板(31)靠近所述底板(1)中心的一端，所述弹性压紧件(32)包括压块(321)、连接轴(322)和限位块(323)，所述连接轴(322)的一端与所述压块(321)的一板面固定连接，所述连接轴(322)的另一端与所述限位块(323)连接；所述压板(31)沿所述底板(1)的轴向开设有通孔，所述连接轴(322)贯穿所述通孔，且可沿所述通孔的轴向滑动，所述通孔内壁开设有环形槽，所述连接轴(322)套设有弹簧(324)，所述弹簧(324)靠近所述压块(321)的一端与所述连接轴(322)固定连接，所述弹簧(324)的另一端抵接于所述环形槽的槽壁；所述压环(2)的上端面抵接于所述压块(321)，所述压环(2)的下端面抵接于所述底板(1)。/n...

【技术特征摘要】
20200120 CN 20202013341421.一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具，其特征在于，包括底板(1)、压环(2)和设于所述底板(1)的用于压紧所述压环(2)的压紧组件(3)；
所述底板(1)的载物面沿径向开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)底部开设有多个销孔(12)，多个所述销孔(12)沿径向排列；
所述压紧组件(3)包括压板(31)、弹性压紧件(32)和弹簧销(33)，所述压板(31)卡设于所述滑槽(11)且所述压板(31)可沿所述滑槽(11)的延伸方向滑动；所述弹簧销(33)设于所述压板(31)靠近滑槽(11)槽底的一板面，且所述弹簧销(33)卡设于所述销孔(12)，以固定所述压板(31)；
所述压紧组件(3)设于所述压板(31)靠近所述底板(1)中心的一端，所述弹性压紧件(32)包括压块(321)、连接轴(322)和限位块(323)，所述连接轴(322)的一端与所述压块(321)的一板面固定连接，所述连接轴(322)的另一端与所述限位块(323)连接；所述压板(31)沿所述底板(1)的轴向开设有通孔，所述连接轴(322)...

【专利技术属性】
技术研发人员：白秋云，
申请(专利权)人：成都超纯应用材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51