一种大小可调节的PVD镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜工装技术领域，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具,包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。

【技术实现步骤摘要】
一种大小可调节的PVD镀膜夹具
本技术涉及镀膜工装
，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具。
技术介绍
半导体刻蚀时，通常会用到基底，在基底上需镀覆一层膜，以提高基底的耐腐蚀性。在对基底进行PVD镀膜时，需用夹具将基底固定。但基底的尺寸不同，所需要的夹具也会不同，在镀膜时，需选择与基底配套的夹具来固定基底，导致夹具的适配灵活性差，造成一定的浪费，同时也在一定程度上增加了制造夹具的成本。专利CN109554681A公开了一种物理气相沉积用镀膜夹具，该夹具包括底座、支座和推进螺栓，通过推进螺栓，来调节夹持的大下，使得夹具的适用范围广，提高夹具的利用率。但该专利的夹具，一次只能夹持一个工件，不适用于多个基底同时夹持和同时镀膜。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种大小可调节的PVD镀膜夹具，通过螺杆的转动，调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间隔，以使得第一夹持臂和第二夹持臂可以夹持不同大小的基底。本技术提供了一种大小可调节的PVD镀膜夹具，包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距。进一步地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均包括连接块和臂本体,所述连接块的一端与所述螺杆螺纹连接,且所述连接块靠近所述螺杆的一端位于所述滑槽内，所述连接块的另一端与所述臂本体可拆卸连接。进一步地，所述臂本体的一侧凹设有用于容置基底边缘的容置槽。进一步地，所述臂本体与所述连接块通过螺栓连接。进一步地，所述夹具本体为多个，多个所述夹具本体沿所述螺杆的轴向间隔设置。进一步地，所述螺杆为多个，多个所述螺杆间隔设置。进一步地，所述支架包括相对设置的第一支架、第二支架，以及横架，所述横架的一端与所述第一支架连接，所述横架的另一端与所述第二支架连接；所述滑槽设于所述横架，且所述螺杆的一端与所述第一支架转动连接，所述螺杆的另一端与所述第二支架转动连接。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：在本技术中，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对本技术中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术提供的一种大小可调节的PVD镀膜夹具俯视示意图一；图2为本技术提供的一种大小可调节的PVD镀膜夹具俯视示意图二；图3为图1中A-A方向的剖视示意图；图标：1-夹具本体，11-第一夹持臂，111-连接块，112-臂本体，113-容置槽，12-第二夹持臂，2-螺杆，3-支架，31-第一支架，32-第二支架，33-横架，331-滑槽，8-基底。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行描述。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。实施例：如附图1-3所示本实施例提供了一种大小可调节的PVD镀膜夹具，包括夹具本体1、螺杆2和支架3，所述支架3设有滑槽331，所述螺杆2位于所述滑槽331内，且所述螺杆2与所述支架3转动连接；具体的，在本实施例中，所述支架3包括相对设置的第一支架31、第二支架32和横架33，所述第一支架31与所述第二支架32对称设置，所述横架33的一端与所述第一支架31连接，所述横架33的另一端与所述第二支架32连接；所述滑槽331设于所述横架33，且所述螺杆2的一端与所述第一支架31转动连接，所述螺杆2的另一端与所述第二支架32转动连接。所述夹具本体1包括用于夹持基底8的第一夹持臂11和第二夹持臂12；所述第一夹持臂11和所述第二夹持臂12均包括连接块111和臂本体112,所述连接块111的一端与所述螺杆2螺纹连接,且所述连接块111靠近所述螺杆2的一端位于所述滑槽331内，所述连接块111的另一端与所述臂本体112通过螺栓可拆卸连接。并且，在本实施例中，在螺杆2上设置有两段旋向相反的螺纹，第一夹持臂11的连接块111与一段螺杆2连接，第二夹持臂12的连接块111与另一段螺杆2连接，通过转动螺杆2，在滑槽331的限位作用下，第一夹持臂11和第二夹持臂12同时运动，相互靠近或相互远离，以调节第一夹持臂11和第二夹持臂12之间的间距。在本技术的其他实施例中，还可以是，第一夹持臂11的连接块111与支架3固定连接，第二夹持臂12的连接块111与螺杆2螺纹连接，通过转动螺杆2，第一夹持臂11跟随螺杆2运动，靠近或远离第二夹持臂12。在本实施例中，如附图1-2所示，第一夹持臂11和第二夹持臂12相对设置，所述臂本体112相对的一侧均凹设有用于容置基底8边缘的容置槽113。在使用时，旋转螺杆2，将第一夹持臂11和第二夹持臂12之间的位置调节至合适的大小，从远离螺杆2的一侧，将基底8的两侧的边缘分别卡入到容置槽113中，并转动螺杆2，使得第一夹持臂11和第二夹持臂12靠近，将基底8固定在第一夹持臂11和第二夹持臂12之间。为提高本技术的夹具的利用率，在本实施例中，如附图1-2所示，该所述夹具本体1为多个，多个所述夹具本体1沿所述螺杆2的轴向间隔设置。需说明的是，相邻两个夹具本体1之间的间隔可根据实际需求进行设置，以满足第一夹持臂11和第二夹持臂12之间的位置调节。并且，在支架3上，还可以设置多个螺杆2，多个所述螺杆2间隔设置，在同一螺杆2上设置多个夹具本体1。以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3)，所述支架(3)设有滑槽(331)，所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内，且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接；/n所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12)；所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接，以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。/n

【技术特征摘要】
1.一种大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3)，所述支架(3)设有滑槽(331)，所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内，且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接；
所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12)；所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接，以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。


2.根据权利要求1所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)均包括连接块(111)和臂本体(112),所述连接块(111)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,且所述连接块(111)靠近所述螺杆(2)的一端位于所述滑槽(331)内，所述连接块(111)的另一端与所述臂本体(112)可拆卸连接。


3.根据权利要求2所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述臂本体(112)的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：白秋云，
申请(专利权)人：成都超纯应用材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51