一种感光性树脂组合物及光刻胶制造技术

技术编号:27875477 阅读:35 留言:0更新日期:2021-03-31 00:47
本发明专利技术提供了一种感光性树脂组合物及光刻胶。该感光性树脂组合物包括树脂,树脂包括至少两种感光性树脂,两种感光性树脂各自独立地具有结构式I所示结构,且其中一种感光性树脂为高分子量感光性树脂且其重均分子量为6300~7800,另一种感光性树脂低分子量感光性树脂且其重均分子量为5000~5500,结构式I为:

【技术实现步骤摘要】
一种感光性树脂组合物及光刻胶
本专利技术涉及感光材料
,具体而言,涉及一种感光性树脂组合物及光刻胶。
技术介绍
彩色液晶显示器等的彩色滤光片在如红、绿、蓝等彩色层之间的边界上需要挡光层(light-blockinglayer),以提高显示对比度(displaycontrast)或生色团效果(chromophoreeffect),并且该挡光层主要由光敏树脂组合物形成。可以将此类挡光层材料用作在由液晶层插入的两个TFT和C/F基板之间支撑的黑色矩阵光阻材料中。使用光刻法制成黑色矩阵光阻材料的一般过程为:清洗透明玻璃基板,然后在玻璃基板上涂布光刻胶,进行真空干燥(VCD),去除边缘光阻,对涂膜玻璃进行预烘烤,用曝光机对涂膜玻璃进行曝光,使涂膜固化在玻璃表面,使用显影液对涂膜进行显影去除未曝光固化部分,将涂膜玻璃放在烘箱中烘烤,设定烘烤温度为230℃,烘烤时间为30min,得到坚膜矩阵图案。特别是曝光过程中,需求高敏感度的光致引发剂并具有均匀的特征尺寸(CD)线宽,才能保证图案的规整性。由于一般光刻胶在scan曝光过程中会出现RGB相互之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物,包括树脂,所述树脂包括至少两种感光性树脂,其特征在于,所述两种感光性树脂各自独立地具有结构式I所示结构,且其中一种所述感光性树脂为高分子量感光性树脂且其重均分子量为6300~7800,另一种所述感光性树脂低分子量感光性树脂且其重均分子量为5000~5500,所述结构式I为:/n

【技术特征摘要】
1.一种感光性树脂组合物,包括树脂,所述树脂包括至少两种感光性树脂,其特征在于,所述两种感光性树脂各自独立地具有结构式I所示结构,且其中一种所述感光性树脂为高分子量感光性树脂且其重均分子量为6300~7800,另一种所述感光性树脂低分子量感光性树脂且其重均分子量为5000~5500,所述结构式I为:



其中,R1为C1~C10的直链烷基、C1~C10的支链烷基、C1~C10的烷氧基和C6~C20的芳基组成的组中的任意一种;m1、m2各自独立地为0、1~4中的任意一个整数,n1、n2各自独立地为0、1~3中的任意一个整数;R2为H、C1~C10的直链烷基和C1~C10的支链烷基组成中的组中的任意一种;R3为C1~C8的直链亚烷基和C1~C8的支链亚烷基组成中的组中的任意一种;R4为氢或甲基;M、B各自独立地代表取代基团,且两种所述感光性树脂的结构式I中的M基团不同,n为1~20中的任意一个整数。


2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述高分子量感光性树脂与所述低分子量感光性树脂的比例为3~7:7~3,优选为1:1。


3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述M选自如下基团中的任意一种:*表示酸酐的连接位置。


4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其特征在于,所述B选自如下基团中的任意一种:


*表示酸酐的连接位置。


5.根据权利要求1所述的感光...

【专利技术属性】
技术研发人员:钱晓春施大峰葛庆余马培培
申请(专利权)人:常州强力电子新材料股份有限公司常州强力先端电子材料有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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