一种晶圆磨削固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆磨削固定结构，包括推进板、转动盘和磨盘，所述推进板内部设置有凹槽，且凹槽内部色设置有推进杆，推进杆上端设置有推进把手，推进板上方设置有滑动板，且滑动板右侧设置有旋转把手，旋转把手下端设置有旋转杆，且旋转杆下端设置有磨盘，磨盘外侧设置有上壳体，上壳体下端设置有下壳体，且上壳体和下壳体之间设置有连接板，连接板上端设置有限位块，且限位块下端设置有滑动器，滑动器内部设置有滑动杆，且滑动杆上端设置有定位把手，结构设置合理，在左端设置推进板，并且在推荐板中部设置推进杆，用于辅助晶圆推进，并且在上壳体内设置可以旋转的磨盘，可以对晶圆进行360度的磨削。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆磨削固定结构
本技术涉及晶圆加工
，具体为一种晶圆磨削固定结构。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。在现有技术中，制造晶圆需要对其进行磨削，磨削时需要进行固定，而现有的晶圆磨削固定结构，只会配置固定夹结构，没有旋转装置，不能进行转动磨削。
技术实现思路
本技术解决的技术问题在于克服现有的晶圆磨削固定结构，只会配置固定夹结构，没有旋转装置，不能进行转动磨削的缺。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆磨削固定结构，包括推进板、转动盘和磨盘，所述推进板内部设置有凹槽，且凹槽内部色设置有推进杆，推进杆上端设置有推进把手，推进板上方设置有滑动板，且滑动板右侧设置有旋转把手，旋转把手下端设置有旋转杆，且旋转杆下端设置有磨盘，磨盘下端设置有固定橡胶，磨盘外侧设置有上壳体，且上壳体左端外侧色安装有防撞橡胶，上壳体下端设置有下壳体，且上壳体和下壳体之间设置有连接板，连接板上端设置有限位块，且限位块下端设置有滑动器，滑动器内部设置有滑动杆，且滑动杆上端设置有定位把手。优选的，所述连接板下端设置有固定块，且固定块上端设置有润滑液槽，润滑液槽内部契合转动柱，且转动柱上端设置有转动盘。优选的，所述转动盘为塑胶材质的圆形转盘，转动盘上端设置有橡胶块，且转动盘上端的橡胶块与磨盘下端的固定橡胶相契合。优选的，所述凹槽内部色设置有推进杆，推进杆下端设置有圆形连接卡点，并且圆形连接卡点镶嵌在凹槽内部，滑动板内部设置凹槽，滑动板为玻璃材质的方形板。优选的，所述滑动器内部设置有滑动杆，磨盘下端设置有滑动槽，滑动槽内部设置滑动块，且滑动块连接在滑动杆上。优选的，所述磨盘下端设置有固定橡胶，磨盘为不锈钢金属材质，并且磨盘外侧设置轴承，轴承外侧连接有上壳体，下壳体和推进板下端设置有底座。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种晶圆磨削固定结构，结构设置合理，在左端设置推进板，并且在推荐板中部设置推进杆，用于辅助晶圆推进，并且在上壳体内设置可以旋转的磨盘，可以对晶圆进行360度的磨削。附图说明图1为本技术结构侧视示意图；图2为本技术结构俯视示意图；图3为本技术结构连接板示意图；图4为本技术结构转动盘示意图。图中：1、推进板；2、滑动板；3、凹槽；4、推进杆；5、推进把手；6、旋转把手；7、旋转杆；8、磨盘；9、固定橡胶；10、上壳体；11、防撞橡胶；12、连接板；13、限位块；14、滑动杆；15、滑动器；16、定位把手；17、固定块；18、下壳体；19、转动盘；20、转动柱；21、润滑液槽；22、底座。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1—4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆磨削固定结构，包括推进板1、转动盘19和磨盘8，推进板1内部设置有凹槽3，且凹槽3内部色设置有推进杆4，推进杆4上端设置有推进把手5，推进板1上方设置有滑动板2，且滑动板2右侧设置有旋转把手6，旋转把手6下端设置有旋转杆7，且旋转杆7下端设置有磨盘8，磨盘8下端设置有固定橡胶9，磨盘8外侧设置有上壳体10，且上壳体10左端外侧色安装有防撞橡胶11，上壳体10下端设置有下壳体18，且上壳体10和下壳体18之间设置有连接板12，连接板12上端设置有限位块13，且限位块13下端设置有滑动器15，滑动器15内部设置有滑动杆14，且滑动杆14上端设置有定位把手16，连接板12下端设置有固定块17，且固定块17上端设置有润滑液槽21，润滑液槽21内部契合转动柱20，且转动柱20上端设置有转动盘19，转动盘19为塑胶材质的圆形转盘，转动盘19上端设置有橡胶块，且转动盘19上端的橡胶块与磨盘8下端的固定橡胶9相契合，凹槽3内部色设置有推进杆4，推进杆4下端设置有圆形连接卡点，并且圆形连接卡点镶嵌在凹槽3内部，滑动板2内部设置凹槽3，滑动板2为玻璃材质的方形板，滑动器15内部设置有滑动杆14，磨盘8下端设置有滑动槽，滑动槽内部设置滑动块，且滑动块连接在滑动杆14上，磨盘8下端设置有固定橡胶9，磨盘8为不锈钢金属材质，并且磨盘8外侧设置轴承，轴承外侧连接有上壳体10，下壳体18和推进板1下端设置有底座22。工作原理：在使用该晶圆磨削固定结构时，把晶圆放置在推进板（1）上，利用推进杆（4）将晶圆推入到磨盘（8）和转动盘（19）之间，使用滑动器（15）调节上壳体（10）与下壳体（18）的距离，固定橡胶（9）用于固定晶体，晶体固定之后可以使用旋转把手（5）转动磨盘（8）使晶体磨削更均匀，这就是该晶圆磨削固定结构工作的整个过程。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆磨削固定结构，包括推进板（1）、转动盘（19）和磨盘（8），其特征在于：所述推进板（1）内部设置有凹槽（3），且凹槽（3）内部色设置有推进杆（4），推进杆（4）上端设置有推进把手（5），推进板（1）上方设置有滑动板（2），且滑动板（2）右侧设置有旋转把手（6），旋转把手（6）下端设置有旋转杆（7），且旋转杆（7）下端设置有磨盘（8），磨盘（8）下端设置有固定橡胶（9），磨盘（8）外侧设置有上壳体（10），且上壳体（10）左端外侧色安装有防撞橡胶（11），上壳体（10）下端设置有下壳体（18），且上壳体（10）和下壳体（18）之间设置有连接板（12），连接板（12）上端设置有限位块（13），且限位块（13）下端设置有滑动器（15），滑动器（15）内部设置有滑动杆（14），且滑动杆（14）上端设置有定位把手（16）。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆磨削固定结构，包括推进板（1）、转动盘（19）和磨盘（8），其特征在于：所述推进板（1）内部设置有凹槽（3），且凹槽（3）内部色设置有推进杆（4），推进杆（4）上端设置有推进把手（5），推进板（1）上方设置有滑动板（2），且滑动板（2）右侧设置有旋转把手（6），旋转把手（6）下端设置有旋转杆（7），且旋转杆（7）下端设置有磨盘（8），磨盘（8）下端设置有固定橡胶（9），磨盘（8）外侧设置有上壳体（10），且上壳体（10）左端外侧色安装有防撞橡胶（11），上壳体（10）下端设置有下壳体（18），且上壳体（10）和下壳体（18）之间设置有连接板（12），连接板（12）上端设置有限位块（13），且限位块（13）下端设置有滑动器（15），滑动器（15）内部设置有滑动杆（14），且滑动杆（14）上端设置有定位把手（16）。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆磨削固定结构，其特征在于：所述连接板（12）下端设置有固定块（17），且固定块（17）上端设置有润滑液槽（21），润滑液槽（21）内部契合转动柱（20），且转动柱（20）上端设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶为银，巩铁建，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41