一种探针卡用高效预热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种探针卡用高效预热装置，包括底座、预热装置保护外壳、转盘安装底座和吹风扇保护外壳，所述预热装置保护外壳的内部依次设有隔温层与保温层，所述预热装置保护外壳内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝，所述预热装置保护外壳内部的顶部固定安装有温度传感器，所述转盘安装底座的内部通过转动轴杆转动安装有转盘，所述预热装置保护外壳的底部通过电动机外壳固定安装有电动机，所述预热装置保护外壳的两侧皆通过吹风扇保护外壳固定安装有吹风扇，所述预热装置保护外壳正面的顶部固定安装有控制面板。本发明专利技术通过吹风扇与电阻加热丝与隔温层与保温层，使得装置可以快速升温进行预热，提高了装置整体的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡用高效预热装置
本专利技术涉及探针卡预热
，具体为一种探针卡用高效预热装置。
技术介绍
探针卡(ProbeCard)是负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，在对晶圆进行功能测试时，探针卡上的探针与晶圆的焊垫接触，对晶圆输出测试信号或者接收晶圆输出的信号，探针卡对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程,现需要一种探针卡用高效预热装置，但是现有的探针卡用预热装置在很多问题或缺陷：1.现有的探针卡预热装置无法在短时间内快速升温，需要一定的升温时间会造成加工时间延长，无法满足快速升温的作业需求；2.且现有的探针卡预热装置在升温加热的过程中无法保证装置内可以是平均温度，温度的升高突然升高会造成探针卡的损坏导致探针卡的质量出现问题，降低了装置的使用性。3.聚氨酯发泡材料因稳定性好、耐化学性、回弹性和力学性能好而被广泛应用于建筑、汽车、航空工业等领域，但聚氨酯分子链结构中部分特征基团的热降解温度在150℃以下，使得聚氨酯的长期使用温度一般在80℃左右，这极大程度限制了聚氨酯材料在保温需求方面的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种探针卡用高效预热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的探针卡预热装置工作效率低的问题，将改性聚氨酯材料应用于预热装置结构中，以达到快速升温、温度均匀稳定的使用效果。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种探针卡用高效预热装置，包括底座、预热装置保护外壳、转盘安装底座和吹风扇保护外壳，所述底座的顶部固定安装有预热装置保护外壳，所述预热装置保护外壳的内部依次设有隔温层与保温层，所述预热装置保护外壳内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝，所述电阻加热丝的一侧固定安装有挡板，所述预热装置保护外壳内部的顶部固定安装有温度传感器，所述预热装置保护外壳内部的底部固定安装有转盘安装底座，所述转盘安装底座的内部通过转动轴杆转动安装有转盘，且转盘的底部设有滚轮，所述预热装置保护外壳的底部通过电动机外壳固定安装有电动机，且电动机通过联轴器与转动轴杆转动连接，所述预热装置保护外壳的两侧皆通过吹风扇保护外壳固定安装有吹风扇，所述预热装置保护外壳正面的顶部固定安装有控制面板，且控制面板上依次设有定时器与温度控制器。优选的，所述底座与预热装置保护外壳之间通过支撑架固定安装，且底座的底部设有配合使用的橡胶保护垫。优选的，所述预热装置保护外壳的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件，所述卡扣组件是由轴杆与横杆与卡块组成。优选的，所述挡板与吹风扇保护外壳上皆设有配合使用的通气孔，所述转盘安装底座与转盘上皆设有与滚轮配合使用的滑槽，且转盘放置有配合使用的承物架。优选的，所述控制面板通过导线分别与电动机、电阻加热丝、温度传感器与吹风扇电性连接。优选的，所述吹风扇保护外壳与电动机外壳上皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。优选的，所述隔温层的材质为改性聚氨酯。与现有技术相比，本专利技术设计的创新点效果是：该探针卡用预热装置合理，具有以下优点：(1)通过吹风扇与电阻加热丝与隔温层与保温层之间的配合使用，使得装置在使用过程可以快速的将电阻加热丝生产出的热能布满装置的内部同时避免热量溢出装置外，避免了装置预热的时间过长导致探针卡与晶圆之间的测试时间过久而影响了整体工作进度的情况发生，提高了装置的实用性；(2)通过温度传感器与温度控制器与转动轴杆与转盘与滚轮与电动机之间的配合使用，使得探针卡在预热过程中可以保证探针卡在装置内预热的温度达到平均温度，避免了装置内温度过高或过低影响了探针卡的预热效果从而导致与晶圆测试的准确性，扩大了装置的使用范围；(3)通过定时器，便于工作人员对预热的时间进行定时控制，无需工作人员在装置前看守，节省了工作人员的时间，避免了装置在预热过程中预热的时间过久而导致探针卡出现变形等质量问题而无法使用的情况发生，提高了装置整体的有益效果。附图说明图1为本专利技术的正视剖面结构示意图；图2为本专利技术的正视结构示意图；图3为本专利技术的局部正视剖面结构示意图；图4为本专利技术的局部正视剖面结构示意图。图中：1、底座；101、支撑架；102、电动机外壳；103、电动机；2、预热装置保护外壳；201、隔温层；202、保温层；203、电阻加热丝；204、挡板；205、温度传感器；206、控制面板；207、定时器；208、温度控制器；209、卡扣组件；3、转盘安装底座；301、转动轴杆；302、转盘；303、滚轮；304、承物架；4、吹风扇保护外壳；401、吹风扇；402、通气孔。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-4，本专利技术提供了一种探针卡用高效预热装置：一种探针卡用高效预热装置，包括底座1、预热装置保护外壳2、转盘安装底座3和吹风扇保护外壳4，底座1的顶部固定安装有预热装置保护外壳2，底座1与预热装置保护外壳2之间通过支撑架101固定安装，且底座1的底部设有配合使用的橡胶保护垫；预热装置保护外壳2的内部依次设有隔温层201与保温层202，预热装置保护外壳2内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝203，电阻加热丝203的一侧固定安装有挡板204，通过吹风扇401与电阻加热丝203与隔温层201与保温层202之间的配合使用，使得装置在使用过程可以快速的将电阻加热丝203生产出的热能布满装置的内部同时避免热量溢出装置外，避免了装置预热的时间过长导致探针卡与晶圆之间的测试时间过久而影响了整体工作进度的情况发生，预热装置保护外壳2内部的顶部固定安装有温度传感器205，预热装置保护外壳2的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上固定安装有卡扣组件209，卡扣组件209是由轴杆与横杆与卡块组成，电阻加热丝203与温度传感器205的型号分别是OCR与BRW系列；预热装置保护外壳2内部的底部固定安装有转盘安装底座3，转盘安装底座3的内部通过转动轴杆301转动安装有转盘302，且转盘302的底部设有滚轮303，转盘安装底座3与转盘302上皆设有与滚轮303配合使用的滑槽，且转盘302放置有配合使用的承物架304，预热装置保护外壳2的底部通过电动机外壳102固定安装有电动机103，且电动机103通过联轴器与转动轴杆301转动连接，通过温度传感器205与温度控制器208与转动轴杆301与转盘302与滚轮303与电动机103之间的配合使用，使得探针卡在预热过程中可以保证探针卡在装置内预热的温度达到平均温度，避免了装置内温度过高或过低影响了探针卡的预热效果从而导致与晶圆测试的准确性，电动机103的型号是YRJ系列；预热装置保护外壳2的两侧皆通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡用高效预热装置，包括底座(1)、预热装置保护外壳(2)、转盘安装底座(3)和吹风扇保护外壳(4)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有预热装置保护外壳(2)，所述预热装置保护外壳(2)的内部依次设有隔温层(201)与保温层(202)，所述预热装置保护外壳(2)内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝(203)，所述电阻加热丝(203)的一侧固定安装有挡板(204)，所述预热装置保护外壳(2)内部的顶部固定安装有温度传感器(205)，所述预热装置保护外壳(2)内部的底部固定安装有转盘安装底座(3)，所述转盘安装底座(3)的内部通过转动轴杆(301)转动安装有转盘(302)，且转盘(302)的底部设有滚轮(303)，所述预热装置保护外壳(2)的底部通过电动机外壳(102)固定安装有电动机(103)，且电动机(103)通过联轴器与转动轴杆(301)转动连接，所述预热装置保护外壳(2)的两侧皆通过吹风扇保护外壳(4)固定安装有吹风扇(401)，所述预热装置保护外壳(2)正面的顶部固定安装有控制面板(206)，且控制面板(206)上依次设有定时器(207)与温度控制器(208)。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针卡用高效预热装置，包括底座(1)、预热装置保护外壳(2)、转盘安装底座(3)和吹风扇保护外壳(4)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有预热装置保护外壳(2)，所述预热装置保护外壳(2)的内部依次设有隔温层(201)与保温层(202)，所述预热装置保护外壳(2)内部的两侧皆固定安装有电阻加热丝(203)，所述电阻加热丝(203)的一侧固定安装有挡板(204)，所述预热装置保护外壳(2)内部的顶部固定安装有温度传感器(205)，所述预热装置保护外壳(2)内部的底部固定安装有转盘安装底座(3)，所述转盘安装底座(3)的内部通过转动轴杆(301)转动安装有转盘(302)，且转盘(302)的底部设有滚轮(303)，所述预热装置保护外壳(2)的底部通过电动机外壳(102)固定安装有电动机(103)，且电动机(103)通过联轴器与转动轴杆(301)转动连接，所述预热装置保护外壳(2)的两侧皆通过吹风扇保护外壳(4)固定安装有吹风扇(401)，所述预热装置保护外壳(2)正面的顶部固定安装有控制面板(206)，且控制面板(206)上依次设有定时器(207)与温度控制器(208)。


2.根据权利要求1所述的一种探针卡用高效预热装置，其特征在于：所述底座(1)与预热装置保护外壳(2)之间通过支撑架(101)固定安装，且底座(1)的底部设有配合使用的橡胶保护垫。


3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯鸣华，
申请(专利权)人：旺矽科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32