适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块制造技术

本发明专利技术涉及一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，包含有内侧面面向相反方向的第一、二探针座以及分别设于第一、二探针座的多个第一、二探针，各探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与第一或二探针座固接的固定部，以及一连接于固定部且自第一或二探针座的内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于外露部，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线而划分出多个探针单元，同一探针单元仅有第一或二探针且其点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；由此，所述探针模块可同时检测较多待测单元并避免探针干涉。

【技术实现步骤摘要】
适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块
本专利技术与探针卡的探针模块有关，特别是指一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元(multi-UUT)的探针模块。
技术介绍
请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unitundertest；简称UUT)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，各第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线L，且靠近假想分界轴线L的列，例如图1中一中间区块14所包含的，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线L，而距离假想分界轴线L较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，其较靠近基板13第一长边131的一端也较靠近假想分界轴线L，较远离基板13第一长边131的一端则也较远离假想分界轴线L，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线L越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线L的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线L的角度θ1、θ2最大。前述的待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示一对应最左边的第二导电接点12的探针17，实际上每一导电接点11、12均对应一探针，探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第二长边132外侧上方的探针座18延伸至导电接点12上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点12。然而，由于待测单元10具有倾斜角度不一致的倾斜导电接点，其检测所需的探针难以配置于探针座上，尤其对于多待测单元的检测，也就是同时检测至少二待测单元10，将会有探针17相互干涉的疑虑。甚至，为了提升检测效率，可能必须以同一探针卡同时检测四个、六个、八个或更多待测单元10，更容易产生探针17相互干涉的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的主要目的在于提供一种探针模块，其适用于类同上述的具有倾斜导电接点的多待测单元的检测而可避免探针相互干涉，且可同时检测较多待测单元而可产生较高的检测效率。为达到上述目的，本专利技术所提供的一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测至少一第一待测单元及至少一第二待测单元，各所述第一待测单元及第二待测单元具有排成至少一行的多个导电接点；其特征在于所述探针模块包含有：一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面实质上面向相反方向；多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针全部以其点触段点触所述至少一第一待测单元的导电接点，各所述第二探针全部以其点触段点触所述至少一第二待测单元的导电接点。上述本专利技术的技术方案中，所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及实质上垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧，所述间隔空间的宽度大于一所述第一、二待测单元的宽度。各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的探针以其点触段点触同一行导电接点。位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。用于同时通过各所述第一探针检测排成至少一列的多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测排成至少另一列的多个所述第二待测单元；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层且同一探针单元的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。用于同时通过各所述第一探针检测多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测多个所述第二待测单元，且各所述第一待测单元及第二待测单元共同排成一列；当所述探针模块检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测至少一第一待测单元及至少一第二待测单元，各所述第一待测单元及第二待测单元具有排成至少一行的多个导电接点；其特征在于所述探针模块包含有：/n一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面面向相反方向；/n多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；/n其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针全部以其点触段点触所述至少一第一待测单元的导电接点，各所述第二探针全部以其点触段点触所述至少一第二待测单元的导电接点。/n...

【技术特征摘要】
20190916 TW 1081332231.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测至少一第一待测单元及至少一第二待测单元，各所述第一待测单元及第二待测单元具有排成至少一行的多个导电接点；其特征在于所述探针模块包含有：
一第一探针座及一第二探针座，分别具有一内侧面，所述第一探针座的内侧面与所述第二探针座的内侧面面向相反方向；
多个探针，包含设置于所述第一探针座的多个第一探针以及设置于所述第二探针座的多个第二探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，各所述第一探针的悬臂段具有一与所述第一探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第一探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述第二探针的悬臂段具有一与所述第二探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述第二探针座的内侧面延伸而出的外露部，各所述探针的点触段连接于所述外露部；
其中，所述探针模块能定义出至少一假想探针单元分界线，各所述探针由所述至少一假想探针单元分界线划分成多个探针单元，同一探针单元仅包含有第一探针或者仅包含有第二探针，且同一探针单元的探针的点触段末端全部位于一所述假想探针单元分界线的同一侧；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针全部以其点触段点触所述至少一第一待测单元的导电接点，各所述第二探针全部以其点触段点触所述至少一第二待测单元的导电接点。


2.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述多个探针单元包含一包含有全部第一探针的第一探针单元，以及一包含有全部第二探针的第二探针单元。


3.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线及一第二假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元，以及一仅包含有第一探针的第三探针单元，所述第一探针单元与所述第二探针单元分别位于所述第一假想探针单元分界线二侧，所述第二探针单元与所述第三探针单元分别位于所述第二假想探针单元分界线二侧。


4.如权利要求3所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线还包含一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元更包含一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第三探针单元与所述第四探针单元分别位于所述第三假想探针单元分界线二侧。


5.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，各所述第二探针的点触段末端全部位于所述假想探针单元分界线与所述第二探针座之间。


6.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：所述至少一假想探针单元分界线包含一第一假想探针单元分界线，以及垂直于所述第一假想探针单元分界线的一第二假想探针单元分界线及一第三假想探针单元分界线，所述多个探针单元包含一仅包含有第一探针的第一探针单元、一仅包含有第二探针的第二探针单元、一仅包含有第一探针的第三探针单元，以及一仅包含有第二探针的第四探针单元，所述第一探针单元及所述第三探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第一探针座之间，所述第二探针单元及所述第四探针单元位于所述第一假想探针单元分界线与所述第二探针座之间，所述第二假想探针单元分界线与所述第三假想探针单元分界线之间有一未设置任何探针的点触段末端的间隔空间，所述第一探针单元及所述第二探针单元与所述间隔空间位于所述第二假想探针单元分界线的不同侧，所述第三探针单元及所述第四探针单元与所述间隔空间位于所述第三假想探针单元分界线的不同侧，所述间隔空间的宽度大于一所述第一、二待测单元的宽度。


7.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一探针在所述第一探针座形成不同高度的多个针层，各所述第二探针在所述第二探针座形成不同高度的多个针层；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的探针以其点触段点触同一行导电接点。


8.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：位置越高的针层的第一探针的点触段末端与所述第一探针座的内侧面距离越远，位置越高的针层的第二探针的点触段末端与所述第二探针座的内侧面距离越远。


9.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时通过各所述第一探针检测排成至少一列的多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测排成至少另一列的多个所述第二待测单元；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层且同一探针单元的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层且同一探针单元的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。


10.如权利要求7所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时通过各所述第一探针检测多个所述第一待测单元以及通过各所述第二探针检测多个所述第二待测单元，且各所述第一待测单元及第二待测单元共同排成一列；当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，同一针层的第一探针点触同一第一待测单元的同一行导电接点，同一针层的第二探针点触同一第二待测单元的同一行导电接点。


11.如权利要求9或10所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：当所述探针模块检测各所述第一待测单元及第二待测单元时，各所述第一探针仅点触各所述第一待测单元的距离所述第一探针座最远的一行导电接点，各所述第二探针仅点触各所述第二待测单元的距离所述第二探针座最近的一行导电接点。


12.如权利要求9所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：用于同时检测八待测单元时，其中包含四所述第一待测单元以及四所述第二待测单元，所述八待测单元中最靠近所述第二探针座的第一待测单元与所述八待测单元中最靠近所述第一探针座的第二待测单元相邻。


13.如权利要求1或12所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述第一待测单元及第二待测单元具有朝向相反方向的一第一主边缘及一第二主边缘，以及连接所述第一主边缘及所述第二主边缘且朝向相反方向的一第一侧边缘及一第二侧边缘，一所述第一待测单元的第二主边缘与第二侧边缘的一相交点与一所述第二待测单元的第一主边缘与第一侧边缘的一相交点相邻。


14.如权利要求1或12所述的适用于具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张嘉泰，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71