一种激光干涉仪光路准直支撑装置，包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构；激光干涉仪支撑机构包括相连接的三脚架和云台，云台包括激光干涉仪支撑平台和云台配结器，在激光干涉仪支撑平台上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及驱动水平前后移动的移动组件；线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台、微调滑块和连接杆，干涉支撑平台与激光干涉仪支撑平台连接，在干涉镜支撑平台上安装有微调滑块，微调滑块上固定连接有连接杆。本实用新型专利技术不浪费空间，并能进行稳定的调整，将激光干涉仪发射器发出的激光与所测机床运动轴的移动方向调整平行。与所测机床运动轴的移动方向调整平行。与所测机床运动轴的移动方向调整平行。
【技术实现步骤摘要】
一种激光干涉仪光路准直支撑装置
[0001]本技术涉及计量领域，具体说的是一种激光干涉仪光路准直支撑装置。
技术介绍
[0002]目前，使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度测量是国际上通用的方法。在对数控机床线性位置精度测量之前，光路准直是很重要的一项工作。
[0003]使用激光干涉仪对数控机床线性位置精度的测量一般包括三根运动轴，即两根互相垂直的水平运动轴和一根垂直运动轴。
[0004]目前，使用激光干涉仪对数控机床水平方向线性位置精度测量的常用布局有两种：第一种布局是将激光干涉仪架设在机床外支架上，线性反射镜固定在机床工作台上，线性干涉镜位于激光干涉仪和线性反射镜之间并固定在机床主轴上。该布局存在的问题是对于不同的数控机床，工作台移动测量过程中，经常出现线性干涉镜和线性反射镜发生碰撞的现象，不能够完整测量机床整个测量轴线的位置精度，测量数据不全面。第二种布局是激光干涉仪与线性反射镜的固定位置和第一种布局保持一致，区别是将线性干涉镜固定在机床外稳定的支撑物上。由于线性干涉镜固定在机床外面，工作台移动过程中，不会发生线性反射镜和线性干涉镜碰撞的问题，能够完整的测量机床在轴线行程的位置精度。工作中，常用的支撑物是生产车间的桌子或者铸铁块等，如果支撑物的高度达不到测量要求，还需要堆积其它小的支撑物。这种做法又存在以下5个方面的问题：第1，生产车间不一定有合适、稳定的支撑物，寻找支撑物需要花费较长时间，制约检测效率；第2，如果支撑物（桌子或铸铁块等）的高度不合适，需要小的支撑物堆积，支撑物的稳定性很难保证，测量结果也难以保证；第3，线性干涉镜是通过磁性表座固定在支撑物上的，该方法没有微调机构，光路准直时准确度较低；第4，测量过程中，要求支撑物具有稳定的属性，这就需要支撑物的体积和质量很大，移动支撑物不仅需要较大的人力和物力，而且存在较大的安全隐患；第5，有的车间机床周边的空间狭小，没有放置体积较大支撑物的空间。所以传统的布局方法具有测量范围小的缺点，传统的支撑方法具有稳定性差，准确度低，操作繁琐，危险系数高，占用空间大的缺点。
技术实现思路
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种激光干涉仪光路准直支撑装置，不浪费空间，并能进行稳定的调整，将激光干涉仪发射器发出的激光与所测机床运动轴的移动方向调整平行。
[0006]为实现上述技术目的，所采用的技术方案是：一种激光干涉仪光路准直支撑装置，包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构；
[0007]所述的激光干涉仪支撑机构包括三脚架和云台，三脚架与云台连接，云台包括激光干涉仪支撑平台和云台配结器，在激光干涉仪支撑平台上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及
驱动激光干涉仪支撑平台水平前后移动的移动组件；
[0008]所述的线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台、微调滑块和连接杆，干涉支撑平台与激光干涉仪支撑平台连接，在干涉镜支撑平台上安装有可以在干涉镜支撑平台水平移动的微调滑块，微调滑块上固定连接有与线性干涉镜安装端相配合的连接杆。
[0009]三脚架上设有用于调整三脚架整体高度的支撑脚伸长锁定装置。
[0010]微调滑块上设有微调孔以及对微调滑块进行定位的干涉镜平移滑块固定螺钉。
[0011]微调滑块与干涉镜支撑平台之间设有驱动微调滑块垂直于机床运动轴的移动方向移动的调节组件。
[0012]三脚架与云台之间置有驱动激光干涉仪支撑平台上下高度微调的调高组件。
[0013]本技术有益效果是：本专利技术的云台由激光干涉仪支撑平台和干涉镜支撑平台组成，在同一云台上可以同时支撑激光干涉仪和干涉镜，该装置保证了干涉镜架设在数控机床外，能够测量任何机床的轴线行程；干涉镜支撑平台上具有干涉镜平移微调机构，通过该机构能够对干涉镜在水平方向上快速调整，使得支撑装置的光路准直准确性大大提高；该装置的云台通过云台配结器与三脚架连接，利用三脚架的可调性，可以轻松的将云台调整到与被检机床匹配的合适高度，操作便捷性大大提高；干涉镜固定在连接杆上，连接杆固定在干涉镜支撑平台上，没有中间堆积环节，使得测量装置的稳定性大大提高；整个支撑装置的体积和质量大大减小，便于携带，现场检测时，在很小的空间都可以使用。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图中：1、激光干涉仪支撑平台，2、水平泡，3、激光干涉仪固定凹孔，4、激光干涉仪支撑平台固定螺钉，5、激光干涉仪平移微调控制旋钮，6、激光干涉仪扭摆微调控制旋钮，7、干涉镜支撑平台，8、微调滑块，9、干涉镜平移微调控制旋钮，10、干涉镜平移滑块固定螺钉，11、干涉镜微调紧固旋钮，12、连接杆，13、云台配结器，14、高度锁紧环，15、高度调节曲柄，16、中心柱，17、支撑脚角度锁定装置，18、支撑脚伸长锁定装置，19、支撑脚。
具体实施方式
[0016]一种激光干涉仪光路准直支撑装置，包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构。
[0017]激光干涉仪支撑机构包括三脚架和云台，三脚架与云台连接，云台包括激光干涉仪支撑平台1和云台配结器13，在激光干涉仪支撑平台1上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，固定结构可采用相配合的安装孔或凸台与激光干涉仪相配合，根据激光干涉仪结构进行选择，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及驱动激光干涉仪支撑平台水平前后移动的移动组件；转动组件可采用光杆和套筒的形式实现，利用螺栓穿过套筒顶在光杆上进行扭摆定位，移动组件可采用相啮合的齿轮齿条，利用与齿轮相连接的激光干涉仪平移微调控制旋钮5实现转动调节，转动组件和移动组件的形式多样，图中省略该具体结构。
[0018]线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台7、微调滑块8和连接杆12，干涉支撑平台7与激光干涉仪支撑平台1连接，在干涉镜支撑平台7上安装有可以在干涉镜支撑平台水平移
动的微调滑块8，微调滑块上固定连接有与线性干涉镜安装端相配合的连接杆12。通过微调滑块8在干涉支撑平台7的微调后固定，带动连接杆上的线性干涉仪移动，直至线性干涉仪与激光干涉仪、线性反射镜位于同一直线上，并且通过改变线性干涉仪的位置，增加测量数据。
[0019]采用市售可抽拉调高的三脚架作为本技术的使用部件，三脚架上设有用于调整三脚架整体高度的支撑脚伸长锁定装置18，三脚架高度调节后，为防止三脚架位置回落，通过支撑脚伸长锁定装置18进行高度锁定。
[0020]微调滑块上设有微调孔以及对微调滑块进行定位的干涉镜平移滑块固定螺钉。微调孔的大小大于干涉镜平移滑块固定螺钉10大小，干涉镜支撑平台7上的安装孔与微调孔对齐，干涉镜支撑平台7的安装孔大小与干涉镜平移滑块固定螺钉10大小一致，螺钉的螺帽大于微调孔的大小，通过松开干涉镜平移滑块固定螺钉10，微调滑块8可进行微调，扭紧干涉镜平移滑块固定螺钉10，微调滑块8被固定在干涉镜支撑平台7上。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪光路准直支撑装置，其特征在于：包括激光干涉仪支撑机构和线性干涉仪支撑机构；所述的激光干涉仪支撑机构包括三脚架和云台，三脚架与云台连接，云台包括激光干涉仪支撑平台和云台配结器，在激光干涉仪支撑平台上设置有用于安装激光干涉仪的固定结构和水平泡，云台配结器内置有驱动激光干涉仪支撑平台水平扭摆的转动组件以及驱动激光干涉仪支撑平台水平前后移动的移动组件；所述的线性干涉支撑机构包括干涉镜支撑平台、微调滑块和连接杆，干涉支撑平台与激光干涉仪支撑平台连接，在干涉镜支撑平台上安装有可以在干涉镜支撑平台水平移动的微调滑块，微调滑块上固定连接有与线性干涉镜安装端相配...
【专利技术属性】
技术研发人员：张秋阳，赵西佳，贾艳艳，左毅，胡亚杰，顾运萍，李俊红，刘盟盟，李蕾，岳克锋，王留娟，郭梦琳，赵博，刘霞，
申请(专利权)人：第一拖拉机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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