一种便于调节的双工位直投式光刻机制造技术

本发明专利技术公开了一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座，底座的顶端固定开设有凹槽，凹槽内设置有工作台，且工作台的顶端设置有传送台；传送台由输送带、主动轮和从动轮构成，且主动轮与从动轮通过输送带传送连接；传送台的顶部设置有第一固定架和第二固定架，且第一固定架设置在第二固定架的一侧；第一固定架一侧的顶端设置有对位相机，第二固定架一侧的顶端设置有镜筒。该种便于调节的双工位直投式光刻机的底座内设置有液压缸，液压缸的伸缩端与工作台的底端固定连接，可通过液压缸实现工作台的升降，对工作台的高度进行调节，当需要对第一固定架和第二固定架上的对位相机和镜筒进行调节时可通过液压缸降低工作台的高度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的双工位直投式光刻机


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体为一种便于调节的双工位直投式光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。现有双工位直投式光刻机，把CCD对位和曝光分开来做，利用输送带形式，形成流水线作业。但是现有的双工位直投式光刻机的工作台高度通常都是固定设置，不便于对用于对位的对位相机及曝光的镜筒进行调整或者更换。因此我们对此做出改进，提出一种便于调节的双工位直投式光刻机。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座，所述底座的顶端固定开设有凹槽，所述凹槽内固定设置有工作台，且工作台的顶端固定设置有传送台；所述传送台由输送带、主动轮和从动轮构成，且主动轮与从动轮通过输送带传送连接；所述传送台的顶部固定设置有第一固定架和第二固定架，且第一固定架固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶端固定开设有凹槽（2），所述凹槽（2）内固定设置有工作台（3），且工作台（3）的顶端固定设置有传送台（4）；所述传送台（4）由输送带（5）、主动轮（6）和从动轮（7）构成，且主动轮（6）与从动轮（7）通过输送带（5）传送连接；所述传送台（4）的顶部固定设置有第一固定架（8）和第二固定架（9），且第一固定架（8）固定设置在第二固定架（9）的一侧；所述第一固定架（8）一侧的顶端固定设置有对位相机（10），所述第二固定架（9）一侧的顶端固定设置有镜筒（11）；所述工作台（3）的正面固定设置有操作口（12），且工作台（3）的两侧固定设置有开口（13）。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述底座（1）的内部固定设置有两个液压缸（14），且两个液压缸（14）的伸缩端贯穿凹槽（2）与工作台（3）的底端固定连接。3.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述第一固定架（8）和第二固定架（9）的底端固定设置有安装块（15），且安装块（15）的表面水平开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，符友银，李俊毅，
申请(专利权)人：北京新毅东科技有限公司，
类型：发明
国别省市：