一种便于调节的双工位直投式光刻机制造技术

本发明专利技术公开了一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座，底座的顶端固定开设有凹槽，凹槽内设置有工作台，且工作台的顶端设置有传送台；传送台由输送带、主动轮和从动轮构成，且主动轮与从动轮通过输送带传送连接；传送台的顶部设置有第一固定架和第二固定架，且第一固定架设置在第二固定架的一侧；第一固定架一侧的顶端设置有对位相机，第二固定架一侧的顶端设置有镜筒。该种便于调节的双工位直投式光刻机的底座内设置有液压缸，液压缸的伸缩端与工作台的底端固定连接，可通过液压缸实现工作台的升降，对工作台的高度进行调节，当需要对第一固定架和第二固定架上的对位相机和镜筒进行调节时可通过液压缸降低工作台的高度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的双工位直投式光刻机


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体为一种便于调节的双工位直投式光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。现有双工位直投式光刻机，把CCD对位和曝光分开来做，利用输送带形式，形成流水线作业。但是现有的双工位直投式光刻机的工作台高度通常都是固定设置，不便于对用于对位的对位相机及曝光的镜筒进行调整或者更换。因此我们对此做出改进，提出一种便于调节的双工位直投式光刻机。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座，所述底座的顶端固定开设有凹槽，所述凹槽内固定设置有工作台，且工作台的顶端固定设置有传送台；所述传送台由输送带、主动轮和从动轮构成，且主动轮与从动轮通过输送带传送连接；所述传送台的顶部固定设置有第一固定架和第二固定架，且第一固定架固定设置在第二固定架的一侧；所述第一固定架一侧的顶端固定设置有对位相机，所述第二固定架一侧的顶端固定设置有镜筒；所述工作台的正面固定设置有操作口，且工作台的两侧固定设置有开口。
[0004]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述底座的内部固定设置有两个液压缸，且两个液压缸的伸缩端贯穿凹槽与工作台的底端固定连接。
[0005]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第一固定架和第二固定架的底端固定设置有安装块，且安装块的表面水平开设有第一螺纹孔。
[0006]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述工作台的顶端且位于传送台的两侧均固定开设有方形槽，所述方形槽的宽度大于安装块的宽度。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述工作台的正面和背面均水平开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内螺纹设置有螺纹柱且第二螺纹孔与第一螺纹孔的尺寸相同。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述主动轮的一侧固定设置有驱动电机，且主动轮与驱动电机的输出端传动连接。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述底座的内部固定设置有储物仓，所述储物仓的正面固定设置有仓门。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述底座的正面且位于仓门的一侧固定设置有控制开关，所述驱动电机和液压缸均与控制开关电性连接。
[0011]本专利技术的有益效果是：该种便于调节的双工位直投式光刻机的底座内固定设置有液压缸，液压缸的伸缩端与工作台的底端固定连接，可通过液压缸实现工作台的升降，对工作台的高度进行调节，当需要对第一固定架和第二固定架上的对位相机和镜筒进行调节时
可通过液压缸降低工作台的高度。
附图说明
[0012]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机的立体图；图2是本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机的平面图一；图3是本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机的平面图二。
[0013]图中：1、底座；2、凹槽；3、工作台；4、传送台；5、输送带；6、主动轮；7、从动轮；8、第一固定架；9、第二固定架；10、对位相机；11、镜筒；12、操作口；13、开口；14、液压缸；15、安装块；16、第一螺纹孔；17、方形槽；18、第二螺纹孔；19、螺纹柱；20、驱动电机；21、储物仓；22、仓门；23、控制开关。
具体实施方式
[0014]以下结合附图对本专利技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0015]实施例：如图1
‑
3所示，本专利技术一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座1，底座1的顶端固定开设有凹槽2，凹槽2内固定设置有工作台3，且工作台3的顶端固定设置有传送台4；传送台4由输送带5、主动轮6和从动轮7构成，且主动轮6与从动轮7通过输送带5传送连接，当主动轮6工作时将带动输送带5转动，输送带5转动时可带动从动轮7转动，进而实现输送带5的对于产品的输送；传送台4的顶部固定设置有第一固定架8和第二固定架9，且第一固定架8固定设置在第二固定架9的一侧；第一固定架8一侧的顶端固定设置有对位相机10，第二固定架9一侧的顶端固定设置有镜筒11，对位相机10可对产品进行对位操作，镜筒11可对产品进行扫描对位后调整焦距并进行曝光，且对位相机10和镜筒11均与外接控制器电性连接，并将相关数据输送至控制器；工作台3的正面固定设置有操作口12，且工作台3的两侧固定设置有开口13，操作口12可用于调整对位相机10和镜筒11的位置，开口13可与外接输送设备相连通，用于产品的输送。底座1的内部固定设置有两个液压缸14，且两个液压缸14的伸缩端贯穿凹槽2与工作台3的底端固定连接，可通过液压缸14的伸缩实现工作台3高度的调整，便于对对位相机10和镜筒11的调节。
[0016]其中，第一固定架8和第二固定架9的底端固定设置有安装块15，且安装块15的表面水平开设有第一螺纹孔16。工作台3的顶端且位于传送台4的两侧均固定开设有方形槽17，方形槽17的宽度大于安装块15的宽度且小于第一固定架8和第二固定架9的底面宽度。工作台3的正面和背面均水平开设有第二螺纹孔18，第二螺纹孔18内螺纹设置有螺纹柱19且第二螺纹孔18与第一螺纹孔16的尺寸相同，可通过螺纹柱19将第一固定架8和第二固定架9与工作台3固定设置，防止第一固定架8上的对位相机10和第二固定架9上的镜筒11在工作时发生松动，影响工作质量。
[0017]其中，主动轮6的一侧固定设置有驱动电机20，且主动轮6与驱动电机20的输出端传动连接，当驱动电机20工作时可带动主动轮6转动，主动轮6转动时可带动输送带5转动，输送带5转动带动从动轮7转动，进而实现整个传送台4的正常运转。底座1的内部固定设置
有储物仓21，储物仓21的正面固定设置有仓门22，储物仓21中可用于放置工作相关的物品。底座1的正面且位于仓门22的一侧固定设置有控制开关23，驱动电机20和液压缸14均与控制开关23电性连接，可通过控制开关23控制驱动电机20和液压缸14的正常运转。
[0018]工作原理：将第一固定架8和第二固定架9安装在固定位置，并使第一固定架8和第二固定架9底端的安装块15固定设置在方形槽17中，通过螺纹柱19将第一固定架8和第二固定架9与工作台3固定设置好；通过控制开关23启动驱动电机20，驱动电机20工作时将带动主动轮6转动，主动轮6转动时将带动输送带5转动，输送带5转动带动从动轮7转动进而实现传送台4的正常运转，将产品放置在输送带5上并通过输送带5输送至第一固定架8侧面的对位相机10的底部进行对位操作，对位操作完成后输送带5继续输送产品至第二固定架9侧面的镜筒11的底部进行曝光操作；当需要对第一固定架8侧面的对位相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的双工位直投式光刻机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶端固定开设有凹槽（2），所述凹槽（2）内固定设置有工作台（3），且工作台（3）的顶端固定设置有传送台（4）；所述传送台（4）由输送带（5）、主动轮（6）和从动轮（7）构成，且主动轮（6）与从动轮（7）通过输送带（5）传送连接；所述传送台（4）的顶部固定设置有第一固定架（8）和第二固定架（9），且第一固定架（8）固定设置在第二固定架（9）的一侧；所述第一固定架（8）一侧的顶端固定设置有对位相机（10），所述第二固定架（9）一侧的顶端固定设置有镜筒（11）；所述工作台（3）的正面固定设置有操作口（12），且工作台（3）的两侧固定设置有开口（13）。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述底座（1）的内部固定设置有两个液压缸（14），且两个液压缸（14）的伸缩端贯穿凹槽（2）与工作台（3）的底端固定连接。3.根据权利要求1所述的一种便于调节的双工位直投式光刻机，其特征在于，所述第一固定架（8）和第二固定架（9）的底端固定设置有安装块（15），且安装块（15）的表面水平开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，符友银，李俊毅，
申请(专利权)人：北京新毅东科技有限公司，
类型：发明
国别省市：