一种IPA干燥设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种IPA干燥设备，具体涉及IPA干燥技术领域，所述内机体顶部还设置氮气填充装置，所述干燥机构包括固定于内机体内壁上的放置槽板、安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的连接管，所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合，所述放置槽板中部下陷设置，多个所述隔离板的底部开设有引流孔，所述连接管内部向下延伸有回收管；所述内机体外部设置有外机体，所述外机体顶端套设于内机体的顶部。本实用新型专利技术能够大幅度的提升硅片在进行IPA清洗过程之中的清洗速率和清洗效果，利用倾斜的放置槽板和引流孔，对清洗过程产生的污液可进行回收，减少清洗残留对下一轮清洗干燥造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种IPA干燥设备
本技术涉及IPA干燥
，更具体地说，本实用涉及一种IPA干燥设备。
技术介绍
光硅片是集成电路产业最重要的基础材料，电路被加工在抛光硅片的表面。随着集成电路的特征线宽越来越小，抛光硅片的抛光表面允许残留的颗粒的数量和直径越来越小。抛光硅片在抛光后一般经过一次清洗和最终清洗等两次清洗来使表面颗粒和表面金属指标达到用户的要求。抛光硅片的最终清洗一般要经过经过装片、酸洗(HF)、快速高纯水冲洗(QDR)、一号液清洗(SC1)、高纯水溢流(OF)、二号液清洗(SC2)、快速高纯水冲洗(QDR)、高纯水溢流和浸泡(F/R)、甩干或异丙醇干燥、取片等步骤完成最终清洗过程。甩干是使抛光硅片在离心力的作用下去除表面吸附水而干燥的方法。异丙醇(异丙醇)干燥是使抛光硅片表面在异丙醇蒸汽和氮气的作用下干燥的方法。但是现有的IPA清洗干燥机构大多为通过简单的IPA蒸汽清洗过滤，在清洗过程中，清洗效率低,且在长时间的工作过程中，内部的残留多，容易影响硅片的清洗效果。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种IPA干燥设备，包括内机体、设置于内机体内腔底部的储液箱和贯穿于内机体侧壁上的蒸汽管，所述蒸汽管弯曲设置，所述蒸汽管下段延伸至内机体内部的储液箱顶部并与储液箱连通，所述蒸汽管上段延伸至内机体的内腔顶部，所述内机体内腔顶部设置有干燥机构，所述内机体顶部还设置氮气填充装置，所述干燥机构包括固定于内机体内壁上的放置槽板、安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的连接管，所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合，所述放置槽板中部下陷设置，多个所述隔离板的底部开设有引流孔，所述连接管内部向下延伸有回收管；所述内机体外部设置有外机体，所述外机体顶端套设于内机体的顶部，所述外机体内腔底部与内机体底部连接有多个支撑杆，所述内机体顶部设置有密封阀门。在一个优选地实施方式中，所述放置槽板中部开设有通孔，所述回收管顶端与通孔连接。在一个优选地实施方式中，所述内机体内腔底部固定有循环加热泵，所述循环加热泵远离储液箱的一侧设置有回收箱，所述循环加热泵与储液箱之间连接有加热管，所述加热管内部填充有导热油。在一个优选地实施方式中，所述连接管外壁与内机体内壁之间连接有多个固定杆，所述回收箱上安装有贯穿内机体和外机体的排放管，所述储液箱上安装有贯穿内机体和外机体的进液管。在一个优选地实施方式中，所述蒸汽管上段设置于放置槽板的正上方，所述蒸汽管上段上安装有多个旋转喷头。在一个优选地实施方式中，所述加热管为闭合管路且两端与循环加热泵的输入端和输出端连接，所述加热管位于储液箱的一段呈弯曲设置。本技术的技术效果和优点：1、本实用能够大幅度的提升硅片在进行IPA清洗过程之中的清洗速率和清洗效果，利用倾斜的放置槽板和引流孔，对清洗过程产生的污液可进行回收，减少清洗残留对下一轮清洗干燥造成影响；2、本实用内部结构设计合理，干燥机构支撑紧固，结构稳定，内外机体双层的设计，使结构内部的气体不易产生泄漏，还具有隔温和保温的效果，降低外机体表面的温度。附图说明图1为本技术的示意图。图2为本技术的图1中A处细节结构示意图。附图标记为：1内机体、2储液箱、3蒸汽管、4干燥机构、5放置槽板、6隔离板、7连接管、8引流孔、9回收管、10外机体、11密封阀门、12固定杆、13循环加热泵、14回收箱、15加热管、16旋转喷头、17排放管、18进液管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示的一种IPA干燥设备，包括内机体1，内机体1底部安装有储液箱2，储液箱2内部安装有弯曲的加热管15，弯曲的加热管15向储液箱2外部延伸并连接循环加热泵13，且加热管15内填充有导热油，循环加热泵13工作将导热油加热并驱动，导热油在加热管15内循环，对储液箱2内的IPA溶剂进行加热，IPA溶剂加热后产生IPA热蒸汽，利用导热油进行传导热和加热，加热速率高，相较于加热片和热管等其他的加热形式，对IPA的污染和影响更小；储液箱2顶部连接有弯曲的蒸汽管3，蒸汽管3下段弯曲贯穿出内机体1外部后，在内机体1的顶部一侧贯穿至内机体1的内腔顶部，且蒸汽管3上段的外壁上安装有多个旋转喷头16，加热后的IPA蒸汽经过弯曲的蒸汽管3传输后，从蒸汽管3上段的旋转喷头16喷出，能够将IPA蒸汽均匀的喷洒至内机体1的顶部；内机体顶部还设置氮气填充装置，内机体1的内腔顶部设置有干燥机构4，干燥机构4包括固定于内机体1内壁上的放置槽板5、安装于放置槽板5内的多个均匀设置的隔离板6和连接于放置槽板5中心处下方的连接管7，且内机体1顶部设置有密封阀门11，用户通过打开密封阀门11将产品置于放置槽板5内的多个隔离板6之间，当IPA热蒸汽从旋转喷头16喷出时，均匀的淋在多个隔离板6之间的产品表面，同时氮气填充装置向内机体1内腔顶部喷射氮气，产品表面在IPA蒸汽和氮气的作用下完成清理和干燥，对产品上的杂质进行清除；如图1-2所示，放置槽板5中部下陷设置，多个隔离板6的底部开设有引流孔8，连接管7内部向下延伸有回收管9，放置槽板5中部开设有通孔，回收管9顶端与通孔连接，蒸汽冷却后，携带至杂质的IPA污液会受重力作用先堆积于隔离板6的底部，顺着隔离板6底部的引流孔8，利用重力做作业，向放置槽板5的中部流动，并堆积在放置槽板5的中部，从放置槽板5上的通孔处汇入至回收管9内，放置槽板5外壁与内机体1内壁相吻合，吻合密封的连接方式，能够有效的防止IPA蒸汽泄漏至防止槽板的下方；内机体1外部设置有外机体10，外机体10顶端套设于内机体1的顶部，外机体10内腔底部与内机体1底部连接有多个支撑杆，采用内机体1和外机体10双层的结构，使得IPA在加热和蒸汽清洗干燥的过程中，内机体1内部的气体不易产生泄漏，还具有隔温和保温的效果，降低外机体10表面的温度；连接管7外壁与内机体1内壁之间连接有多个固定杆12，在回收管9外部套设以空格连接管7，利用连接管7和固定杆12与内机体1内壁进行连接，能够对连接管7和放置槽板5进行支撑，大幅度的提高干燥机构4的稳定性，回收箱14上安装有贯穿内机体1和外机体10的排放管17，通过回收管9回收的IPA污液汇集在回收箱14内，并从排放管17排放孩子外机体10的外部，储液箱2上安装有贯穿内机体1和外机体10的进液管18，通过进液管18向储液箱2内添加IPA溶剂。最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种IPA干燥设备，包括内机体、设置于内机体内腔底部的储液箱和贯穿于内机体侧壁上的蒸汽管，所述蒸汽管弯曲设置，所述蒸汽管下段延伸至内机体内部的储液箱顶部并与储液箱连通，所述蒸汽管上段延伸至内机体的内腔顶部，所述内机体内腔顶部设置有干燥机构，所述内机体顶部还设置氮气填充装置，其特征在于：所述干燥机构包括固定于内机体内壁上的放置槽板、安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的连接管，所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合，所述放置槽板中部下陷设置，多个所述隔离板的底部开设有引流孔，所述连接管内部向下延伸有回收管；/n所述内机体外部设置有外机体，所述外机体顶端套设于内机体的顶部，所述外机体内腔底部与内机体底部连接有多个支撑杆，所述内机体顶部设置有密封阀门。/n

【技术特征摘要】
1.一种IPA干燥设备，包括内机体、设置于内机体内腔底部的储液箱和贯穿于内机体侧壁上的蒸汽管，所述蒸汽管弯曲设置，所述蒸汽管下段延伸至内机体内部的储液箱顶部并与储液箱连通，所述蒸汽管上段延伸至内机体的内腔顶部，所述内机体内腔顶部设置有干燥机构，所述内机体顶部还设置氮气填充装置，其特征在于：所述干燥机构包括固定于内机体内壁上的放置槽板、安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的连接管，所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合，所述放置槽板中部下陷设置，多个所述隔离板的底部开设有引流孔，所述连接管内部向下延伸有回收管；
所述内机体外部设置有外机体，所述外机体顶端套设于内机体的顶部，所述外机体内腔底部与内机体底部连接有多个支撑杆，所述内机体顶部设置有密封阀门。


2.根据权利要求1所述的一种IPA干燥设备，其特征在于：所述放置槽板中部开设有通孔，所述回...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，李俊毅，杨涛，
申请(专利权)人：北京新毅东科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11