一种用于半导体塑封的液压抽芯系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，包括液压控制系统、抽芯系统和控制反馈系统。本发明专利技术有效解决现有塑封产品上一直有外露的型芯孔大小面积散热片的问题，必须后续进行点胶的问题；通过采用本发明专利技术极大提高产品封装效率和封装效果。本发明专利技术具备压力输出稳定，动作响应及时，实施反馈交互等优点。实施反馈交互等优点。实施反馈交互等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体塑封的液压抽芯系统


[0001]本专利技术涉及半导体塑封领域，尤其涉及一种用于半导体后工序封装的液压抽芯系统。

技术介绍

[0002]封装设备针对常规型模具塑封，其产品上一直有外露的型芯孔大小面积的的散热片。因此后道需要进行点胶工艺，否则会影响产品电性能，高端客户是不接受此类产品的。设计该机构为满足高端客户需求及目前市场大量潜在的抽芯产品发展趋势，设计开发抽芯机构系统可以极大地提高产品封装效率，性能和可靠性等。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种能够有有效提高产品分体封装效率的液压抽芯系统。
[0004]本专利技术采用的技术方案是：一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，包括液压控制系统、抽芯系统和控制反馈系统；液压控制系统
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包括油压站和液压控制阀组，油压站由伺服电机驱动，通过液压油管输出液压油至液压控制阀组；抽芯系统
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包括上模抽芯机构和下模抽芯机构，由液压控制阀组控制分别完成上模抽芯和下模抽芯；控制反馈系统
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包括上位机、光纤传感器、温控监测装置和液压压力反馈装置，上位机用以显示和控制，光纤传感器用以检测上、下模抽芯机构动作是否到位，温控监测装置和液压压力反馈装置用以检测液压油的状态。
[0005]作为本专利技术的进一步改进，所述上模抽芯机构和下模抽芯机构其结构一致，包括导轨基座和抽芯模架，所述导轨基座上固接有液压油缸和导轨，所述导轨配有导轨滑块，所述导轨滑块固接推板，所述推板一端固接滑块，其另一端固接斜楔；所述抽芯模架设有抽芯推块，所述斜楔和抽芯推块相适配。
[0006]作为本专利技术的进一步改进，所述导轨基座和液压油缸之间设有隔热板。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，液压油缸的活塞杆和推板之间设有隔热片二，所述活塞杆上设有隔热片一。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述液压油缸配有防尘盖板，所述防尘盖板固接推板。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述伺服电机、温控监测装置和液压压力反馈装置均位于油压机内。
[0010]作为本专利技术的更进一步改进，所述上位机具有设定模块、监控模块和手动操作模块；设定模块用于设定伺服电机压力和速度设定；监控模块用于压力监控、上下模启动和持续时间监控、上下模抽芯机构到位监控；手动操作模块用于伺服电机手动操作、上下模启动手动操作和上下模抽芯机构手动操作。
[0011]本专利技术采用的有益效果是：本专利技术有效解决现有塑封产品上一直有外露的型芯孔大小面积散热片的问题，必须后续进行点胶的问题；通过采用本专利技术极大提高产品封装效
率和封装效果。本专利技术具备压力输出稳定，动作响应及时，实施反馈交互等优点。
附图说明
[0012]图1为本专利技术示意图。
[0013]图2为本专利技术的油压机示意图。
[0014]图3为本专利技术的抽芯系统示意图。
[0015]图4为本专利技术的抽芯机构示意图。
[0016]图5为本专利技术的抽芯机构的导轨基座装配示意图。
[0017]图6为本专利技术的抽芯机构的工作示意图。
[0018]图7为本专利技术的光纤传感器工作示意图。
[0019]图中所示：1 油压站，2 液压油管，3 液压控制阀组，4 上模抽芯机构，5 下模抽芯机构，6 上模抽芯模架，7 下模抽芯模架，8 上位机，9 伺服电机，10 液压压力反馈装置，11 温控监测装置，12 液压油缸，13 导轨基座，14 隔热板，15 导轨，16 导轨滑块，17 推板，18 隔热片一，19 隔热片二，20 斜楔，21 防尘盖板，23 推块，24 光纤传感器。
具体实施方式
[0020]下面结合图1至图7，对本专利技术做进一步的说明。
[0021]如图所示，一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，包括液压控制系统、抽芯系统和控制反馈系统；液压控制系统
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包括油压站1和液压控制阀组3，油压站1由伺服电机9驱动，通过液压油管2输出液压油至液压控制阀组3；抽芯系统
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包括上模抽芯机构4和下模抽芯机构5，由液压控制阀组3控制分别完成上模抽芯和下模抽芯；控制反馈系统
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包括上位机8、光纤传感器24、温控监测装置11和液压压力反馈装置10，上位机用以显示和控制，光纤传感器24用以检测上、下模抽芯机构动作是否到位，温控监测装置和液压压力反馈装置用以检测液压油的状态。
[0022]为进一步提高本专利技术的抽芯效率，保证抽芯工作的质量，进而确保塑封的效果，所述上模抽芯机构和下模抽芯机构其结构一致，包括导轨基座13和抽芯模架，所述导轨基座13上固接有液压油缸12和导轨15，所述导轨15配有导轨滑块16，所述导轨滑块16固接推板17，所述推板17一端固接滑块16，其另一端固接斜楔20；所述抽芯模架22设有抽芯推块23，所述斜楔20和抽芯推块23相适配。
[0023]进一步地，为有效阻隔模具工作温度对液压油缸周边环境温度的影响，导轨基座13和液压油缸12之间设有隔热板14。
[0024]进一步地，同样为有效阻隔模具工作温度对油缸周边环境温度的影响，液压油缸的活塞杆和推板17之间设有隔热片二19，所述活塞杆上设有隔热片一18。
[0025]进一步地，为杜绝生产过程中所产生的废料对工作的影响，所述液压油缸12配有防尘盖板21，所述防尘盖板21固接推板17。
[0026]更进一步地，为提高本专利技术的工作质量，确保各子系统的配合工作，上位机8具有设定模块、监控模块和手动操作模块；设定模块用于设定伺服电机压力和速度设定；监控模
块用于压力监控、上下模启动和持续时间监控、上下模抽芯机构到位监控；手动操作模块用于伺服电机手动操作、上下模启动手动操作和上下模抽芯机构手动操作。
[0027]实施例1，一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，包括液压控制系统、抽芯系统和控制反馈系统。从效率和工作质量角度考虑，抽芯系统至少有3套，呈直线排布，由液压控制系统统一控制。液压控制过程是由油压站1中的伺服电机工作通过液压油管2输出液压油至各液压控制阀组3，在液压控制阀组3的开闭和作用下可分别带动上模抽芯机构4和下模抽芯机构5实现抽芯动作。期间通过设置的光纤传感器24和液压站1上安装的压力表及温控检测装置实行实时监测，并在上位机8界面上直观反馈。
[0028]图二为油压站示意图，油压站1的伺服电机9给出设定压力及速度，配合温控监测装置11、压力表10的反馈及时进行调整。液压油由液压油管2输出至各个液压控制阀组。
[0029]图三至图七为抽芯系统的示意图，由上模抽芯机构和下模抽芯机构构成，上、下模的抽芯机构上下对称，其结构相同。抽芯机构中液压油缸12选用日本TAIYO品牌（160S
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1SD32N10）油缸，具有体积小，耐高温的特点。液压油缸12与导轨基座13之间用隔热板14通过螺钉连接，能够有效阻隔模具工作温度对油缸周边环境温度的影响。导轨15和导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，其特征是包括液压控制系统、抽芯系统和控制反馈系统；液压控制系统
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包括油压站（1）和液压控制阀组（3），油压站（1）由伺服电机（9）驱动，通过液压油管（2）输出液压油至液压控制阀组（3）；抽芯系统
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包括上模抽芯机构（4）和下模抽芯机构（5），由液压控制阀组（3）控制分别完成上模抽芯和下模抽芯；控制反馈系统
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包括上位机（8）、光纤传感器（24）、温控监测装置（11）和液压压力反馈装置（10），上位机用以显示和控制，光纤传感器（24）用以检测上、下模抽芯机构动作是否到位，温控监测装置和液压压力反馈装置用以检测液压油的状态。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体塑封的液压抽芯系统，其特征是所述上模抽芯机构和下模抽芯机构其结构一致，包括导轨基座（13）和抽芯模架，所述导轨基座（13）上固接有液压油缸（12）和导轨（15），所述导轨（15）配有导轨滑块（16），所述导轨滑块（16）固接推板（17），所述推板（17）一端固接滑块（16），其另一端固接斜楔（20）；所述抽芯模...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕云松，丁丽成，汪瑞，宋春雷，周小飞，汪宗华，
申请(专利权)人：铜陵富仕三佳机器有限公司，
类型：发明
国别省市：