一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，包括依次布设的光源、聚焦透镜、样品和分光棱镜，光源发出的光经聚焦透镜后形成聚焦光束，与样品作用后，经分光棱镜分成透射、反射两部分，在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放置有第一CCD和第二CCD，其中，第一CCD放置于聚焦点前方，第二CCD放置于聚焦点后方。本发明专利技术利用聚焦透镜、分光棱镜以及两个CCD即可实现同步采集多幅多个离焦量的图像，将采集到的图像信息代入到光强传输方程获得CCD面的复振幅信息，利用该信息构建合理的待测物初始猜测值，将其代入到叠层成像算法中，可极大缩短迭代时间。

【技术实现步骤摘要】
一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置
本专利技术涉及一种快速收敛叠层成像装置，尤其涉及一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置。
技术介绍
为获取物体的相位信息，同时扩展相干衍射成像技术的应用，2004年谢菲尔德大学Rodenburg团队提出了叠层成像方法(PIE)，该方法使用二维移动的照明探针对样品进行重叠扫描，利用相邻扫描的冗余量和交替投影迭代实现了样品大视场成像。相比于传统的相干衍射成像技术，该方法具有更快的收敛速度、更大的成像视场、更强的鲁棒性。为了进一步提高叠层成像收敛速度、缩短其迭代计算时间，国内外学者提出了三类方法。一类是增加约束条件，如2018年SunA等人在其发表的Multi-probeptychographiciterativeenginemethod文章中，采用针孔阵列实现了多探针照明，进一步加快了样本重建速度；一类是优化更新函数和选择合理的权重因子，如2016年ChaoZuo等人在其发表的Adaptivestep-sizestrategyfornoise-robustFourierptycho本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，包括依次布设的光源(1)、聚焦透镜(2)、样品(4)和分光棱镜(5)，光源(1)发出的光经聚焦透镜(2)后形成聚焦光束，与样品(4)作用后，经分光棱镜(5)分成透射、反射两部分，在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放置有第一CCD(6-1)和第二CCD(6-2)，其中，第一CCD(6-1)放置于聚焦点前方，第二CCD(6-2)放置于聚焦点后方。/n

【技术特征摘要】
1.一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，包括依次布设的光源(1)、聚焦透镜(2)、样品(4)和分光棱镜(5)，光源(1)发出的光经聚焦透镜(2)后形成聚焦光束，与样品(4)作用后，经分光棱镜(5)分成透射、反射两部分，在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放置有第一CCD(6-1)和第二CCD(6-2)，其中，第一CCD(6-1)放置于聚焦点前方，第二CCD(6-2)放置于聚焦点后方。


2.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第一CCD(6-1)到聚焦点的距离小于等于1mm。


3.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第二CCD(6-2)到聚焦点的距离小于等于100mm。


4.根据权利要求1所述的一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置，其特征在于，所述的第一CCD(6-1)及第二CCD(6-2)与分光棱镜(5)的距离差在(0,100mm)之间。


5.根据权利要求1或4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：窦健泰，武俊超，厉淑贞，胡友友，张明明，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32