下载一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置的技术资料

文档序号:27771251

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本发明公开一种同步采集双离焦衍射图样的快速收敛叠层成像装置,包括依次布设的光源、聚焦透镜、样品和分光棱镜,光源发出的光经聚焦透镜后形成聚焦光束,与样品作用后,经分光棱镜分成透射、反射两部分,在透射、反射光路距离聚焦光束焦点不同的位置上分别放...
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