一种倒角机研削台治具的清洗方法技术

本发明专利技术涉及清洗领域。一种倒角机研削台治具的清洗方法，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC‑1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃‑55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25‑30分钟；步骤三，采用45℃‑55℃的纯水超声波清洗；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。

【技术实现步骤摘要】
一种倒角机研削台治具的清洗方法
本专利技术涉及机械领域，具体涉及一种倒角机研削台治具的清洗方法。
技术介绍
为防止由于倒角机内研削台的长期污染，对加工产品的后续品质造成一定的影响，往往对定期对研磨台治具通过酒精或者抹布刷洗，然而，原有通过酒精及抹布的刷洗的方式，无法彻底去除研削台治具的表面及内部的污染。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种倒角机研削台治具的清洗方法，以解决现有酒精刷洗不彻底的问题。本专利技术的技术方案是：一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃-55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟；步骤三，采用45℃-55℃的纯水超声波清洗；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。TSC-1清洗剂是市售的表面活性剂。进一步优选地，所述步骤三中，纯水超声波清洗反复清洗2次。进一步优选地，所述超声波清洗机开设有一排水孔以及进水孔，所述进水孔通过两进一出电磁阀分别连接一药液槽以及纯水槽；所述药液槽内存储有所述药液；r>所述纯水槽存储有所述纯水；步骤二结束后，所述排水孔排出所述药液，所述进水孔导入纯水。进一步优选地，所述研削台治具是陶瓷研磨盘或者不锈钢研磨盘。本专利的清洗方法适用于陶瓷研磨盘以及不锈钢研磨盘的清洗。进一步优选地，步骤六中，所述同心圆的精度在±100μm以内。便于保证清洗后的研削台治具的研磨效果。进一步优选地，所述同心圆精度的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后，通过千分表测量研磨台治具的外圆。进一步优选地，所述步骤六中，所述研削台治具的芯振面振在±5μm。便于保证清洗后的研削台治具的研磨效果。进一步优选地，所述研削台治具的芯振面振的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后，通过千分表测量研磨台治具的上端面。进一步优选地，所述步骤六中，所述研削台治具的芯振面振在±5μm。采用上述清洗方法对研削台治具进行清洗并测试同心圆精度以及芯振面振的结果如下表：清洗前研削台治具进行清洗并测试同心圆精度以及芯振面振的结果如下表：经过上表，可知，采用本专利的清洗方法，能实现研削台治具表面以及内部孔洞的清洗效果的同时，有效的避免了对研削台治具表面的磨损，仍能保证芯振面振以及同心圆的精度，保证研磨的平整度。进一步优选地，所述超声波清洗机包括一清洗池，所述清洗池上摆放有一镂空的支撑架，所述支撑架上安装有过滤网罩，过滤网罩的顶部的外边缘设有向外延伸且搭接在支撑架的顶部上方的过滤网罩上法兰；所述过滤网罩还包括至少两层内外设置的过滤层，位于外层的过滤层的网孔小于位于内层的过滤网的网孔，所有的过滤网的顶部与所述过滤网罩上法兰相连，且所述过滤网罩上法兰上开设有透水孔，所述透水孔位于相邻的两个过滤层之间；还包括一用于摆放研削台治具的支撑网，所述支撑网的顶部设有向外延伸搭接在所述过滤网罩的顶部的外围的支撑网上法兰，且所述过滤网罩的顶部高于支撑网用于支撑研削台治具的支撑面。便于实现杂质存储在过滤网罩内。还包括一水循环系统，所述水循环系统包括一导流管路，所述导流管路上安装有水泵，导流管路的进液端呈环状套设在所述支撑架外围的环状通路，所述导流管路的另一端连接喷淋管，所述喷淋管的喷淋口正对与所述支撑网的上方。便于实现进液端将支撑架外围的液体吸收导流，经喷淋口喷淋至支撑网上的物品。实现循环导流。附图说明图1为本专利技术的流程示意图；图2为本专利技术支撑架上摆放有过滤网罩情况下的一种剖视图；图3为本专利技术过滤网罩与支撑网俯视状态下的一种结构示意图；图4为清洗前研削台治具的示意图；图5为采用本专利技术清洗方法后的研削台的示意图。图中，1为支撑架，2为过滤网罩，3为支撑网，21为过滤网罩上法兰，31为支撑网上法兰。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。具体实施例1，参见图1至图5，一种倒角机研削台治具的清洗方法，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃-55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟；超声波清洗机开设有一排水孔以及进水孔，进水孔通过两进一出电磁阀分别连接一药液槽以及纯水槽；药液槽内存储有药液；纯水槽存储有纯水；步骤二结束后，排水孔排出药液，进水孔导入纯水；步骤三，采用45℃-55℃的纯水超声波清洗，纯水超声波清洗反复清洗2次；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。步骤一，首先，拆卸研削台治具。注意避免碰撞造成损坏。参见图2以及图3，超声波清洗机包括一清洗池，清洗池上摆放有一镂空的支撑架1，支撑架1上安装有过滤网罩2，过滤网罩2的顶部的外边缘设有向外延伸且搭接在支撑架的顶部上方的过滤网罩上法兰21；过滤网罩2还包括至少两层内外设置的过滤层，位于外层的过滤层的网孔小于位于内层的过滤网的网孔，所有的过滤网的顶部与过滤网罩2上法兰相连，且过滤网罩上法兰21上开设有透水孔，透水孔位于相邻的两个过滤层之间；还包括一用于摆放研削台治具的支撑网，支撑网3的顶部设有向外延伸搭接在过滤网罩的顶部的外围的支撑网上法兰31，且过滤网罩2的顶部高于支撑网3用于支撑研削台治具的支撑面。便于实现杂质存储在过滤网罩内。还包括一水循环系统，水循环系统包括一导流管路，导流管路上安装有水泵，导流管路的进液端呈环状套设在支撑架外围的环状通路，导流管路的另一端连接喷淋管，喷淋管的喷淋口正对与支撑网的上方。便于实现清洗池内中支撑网的中央向外导流后，向上喷淋。便于实现杂质的回收。便于实现进液端将支撑架外围的液体吸收导流，经喷淋口喷淋至支撑网上的物品。实现循环导流。研削台治具是陶瓷研磨盘或者不锈钢研磨盘。本专利的清洗方法适用于陶瓷研磨盘以及不锈钢研磨盘的清洗。步骤六中，同心圆的精度在±100μm以内。便于保证清洗后的研削台治具的研磨效果。同心圆精度的测量方法为研磨台治具安装在倒角机上后，通过千分表测量研磨台治具的外圆。步骤六中，研削台治具的芯振面振在±5μm。便于保证清洗后的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂；/n步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃-55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟；/n步骤三，采用45℃-55℃的纯水超声波清洗；/n步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；/n步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；/n步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。/n

【技术特征摘要】
1.一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC-1清洗剂；
步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃-55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25-30分钟；
步骤三，采用45℃-55℃的纯水超声波清洗；
步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；
步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；
步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。


2.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于：所述步骤三中，纯水超声波清洗反复清洗2次。


3.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于：所述超声波清洗机开设有一排水孔以及进水孔，所述进水孔通过两进一出电磁阀分别连接一药液槽以及纯水槽；
所述药液槽内存储有所述药液；
所述纯水槽存储有所述纯水；
步骤二结束后，所述排水孔排出所述药液，所述进水孔导入纯水。


4.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于：所述研削台治具是陶瓷研磨盘或者不锈钢研磨盘。


5.根据权利要求1所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于：步骤六中，所述同心圆的精度在±100μm以内。


6.根据权利要求5所述的一种倒角机研削台治具的清洗方法，其特征在于：所述同心圆精度的测量方法为研磨台治具安装在倒角机...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵福见，贺贤汉，王琪琳，徐红林，李永丽，
申请(专利权)人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31