可调式晶圆花篮制造技术

本实用新型专利技术实施例提供一种可调式晶圆花篮，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，第一齿型结构和第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，第一连接板固定于第一齿型结构，第二连接板固定于第二齿型结构，且第一连接板上设有第一定位部，第二连接板设有与第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得第一齿型结构和第二齿型结构之间通过第一定位部和第二定位部间距可调连接。本实用新型专利技术实施例可通过调节第一连接板的第一定位部和第二连接板的第二定位部的位置关系来调节第一齿型结构和第二齿型结构之间的距离，实现晶圆花篮尺寸可调，以满足各种尺寸的晶圆加工生产需要，兼容性好，操作方便。

【技术实现步骤摘要】
可调式晶圆花篮
本技术涉及集成电路
，尤其涉及一种可调式晶圆花篮。
技术介绍
半导体硅片生产企业生产的半导体硅片主流尺寸都是以4寸、6寸、8寸、12寸等固定尺寸为主。但是随着行业横向发展，很多企业为了提供更全面的产品种类，也为了具有兼容性更强的生产能力，从而出现了很多非标准规格的硅片尺寸比如4.3寸、5.2寸、6.125寸等非标规格的硅片，而这些规格的硅片经常会有尺寸变化。这些尺寸上的变化给现有的硅片厂家在选用硅片晶圆承载花篮时带来了很大麻烦。如图1所示，目前市场上主流的晶圆承载花篮大部分都是根据标准尺寸硅片设计的，不能满足非标尺寸硅片的使用要求，兼容性差。假如每生产一款非标尺寸硅片都去相应的开发出配套规格的承载花篮，考虑到需求数量不多和模具投入较大等问题会造成生产成本大幅提高的麻烦。
技术实现思路
本技术实施例提供一种可调式晶圆花篮，用以解决现有技术中标准的晶圆花篮兼容性差，无法满足非标尺寸的硅片生产要求的缺陷，实现晶圆花篮尺寸可调，满足多种尺寸规格的晶圆生产要求。本技术实施例提供一种可调式晶圆花篮，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，所述第一连接板固定于所述第一齿型结构，所述第二连接板固定于所述第二齿型结构，且所述第一连接板上设有第一定位部，所述第二连接板设有与所述第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得所述第一齿型结构和所述第二齿型结构之间通过所述第一定位部和所述第二定位部间距可调连接。其中，所述第一定位部包括多个水平设置的第一螺纹孔，所述第二定位部包括与所述第一螺纹孔匹配的第二螺纹孔，以供螺栓能够依次拧入所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔。其中，所述第一连接板和所述第二连接板均包括第一侧板、第二侧板和底板，所述第一侧板和第二侧板分别连接于底板的两端并构成U型结构，所述第一连接板的底板和所述第二连接板的底板分别固定于所述第一齿型结构和所述第二齿型结构的外侧面，所述第一定位部固定于所述第一连接板的第一侧板和第二侧板，所述第二定位部固定于所述第二连接板的第一侧板和第二侧板。其中，所述第一连接板的底板设有第三螺纹孔，所述第一齿型结构的外侧面设有第四螺栓孔，以供螺栓能够依次拧入所述第三螺纹孔和所述第四螺栓孔；所述第二连接板的底板设有第五螺纹孔，所述第二齿型结构的外侧面设有第六螺栓孔，以供螺栓能够依次拧入所述第五螺纹孔和所述第六螺栓孔。其中，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构均包括多个齿槽。其中，所述齿槽为聚四氟乙烯齿槽、聚偏氟乙烯齿槽和可熔性聚四氟乙烯齿槽其中的一种。其中，所述第一连接板和所述第二连接板为不锈钢连接板或铝合金连接板。本技术实施例提供的一种可调式晶圆花篮，可通过调节第一连接板的第一定位部和第二连接板的第二定位部的位置关系来调节第一齿型结构和第二齿型结构之间的距离，实现晶圆花篮尺寸可调，以满足各种尺寸的晶圆加工生产需要，兼容性好，操作方便。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有技术中的晶圆承载花篮的结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种可调式晶圆花篮的结构示意图；图3是本技术实施例提供的一种可调式晶圆花篮的主视图。附图标记：1：第一齿型结构；2：第二齿型结构；3：第一连接板；4：第二连接板；5：晶圆；6：第一螺纹孔；7：第二螺纹孔；8：第一侧板；9：第二侧板；10：底板。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面结合图2和图3描述本技术实施例的一种可调式晶圆花篮，包括：第一齿型结构1、第二齿型结构2、第一连接板3和第二连接板4，第一齿型结构1和第二齿型结构2相对设置，用于放置晶圆5，第一连接板3固定于第一齿型结构1，第二连接板4固定于第二齿型结构2，且第一连接板3上设有多个第一定位部，第二连接板4设有与第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得第一齿型结构1和第二齿型结构2之间通过定位部间距可调连接。具体地，本实施例中的第一齿型结构1和第二齿型结构2用于放置晶圆5，而第一连接板3和第二连接板4分别固定在第一齿型结构1和第二齿型结构2上，第一连接板3和第二连接板4之间通过第一定位部和第二定位部可拆卸连接，并可根据晶圆尺寸需要，调节第一齿型结构1和第二齿型结构2之间的间距。在使用时，首先将晶圆5放入到第一齿型结构1和第二齿型结构2中，根据晶圆尺寸调节第一齿型结构1和第二齿型结构2之间的间距，调节好后，将第一连接板3和第二连接板4的定位部对应固定连接，使得晶圆花篮的尺寸固定，以适应对应的晶圆尺寸。当需要对其他尺寸晶圆5进行加工生产时，将第一连接板3和第二连接板4的定位部拆下，再放入对应晶圆5，匹配连接对应的定位部，以适应对应的晶圆尺寸。本技术实施例提供的一种可调式晶圆花篮，可通过调节第一连接板3的第一定位部和第二连接板4的第二定位部的位置关系来调节第一齿型结构1和第二齿型结构2之间的距离，实现晶圆花篮尺寸可调，以满足各种尺寸的晶圆5加工生产需要，兼容性好，操作方便。在其中一个实施例中，第一定位部包括多个水平设置的第一螺纹孔6，第二定位部包括与第一螺纹孔6匹配的第二螺纹孔7，以供螺栓能够依次拧入第一螺纹孔6和第二螺纹孔7。具体地，本实施例中采用螺纹连接的方式实现第一定位部和第二定位部的可拆卸连接，根据晶圆5的实际尺寸，可将第二螺纹孔7移至对应的第一螺纹孔6的位置，再通过螺栓将两者固定在一起。需要对其他尺寸晶圆5进行加工时，可将螺栓取下，对应调整第一定位部和第二定位部之间的位置关系后，再通过螺栓固定好。如图3所示，第一螺纹孔6为四组，第二螺纹孔7为一组，第二螺纹孔7与相应的第一螺纹孔6通过螺栓连接，这样可满足四种晶圆尺寸的加工生产需要。在其中一个实施例中，第一连接板3和第二连接板4均包括第一侧板8、第二侧板9和底板10，第一侧板8和第二侧板9分别连接于底板10的两端并构成U型结构，第一连接板3的底板10和第二连接板4的底板10分别固定于第一齿型结构1和第二齿型结构2的外侧面，第一定位部固定于第一连接板3的第一侧板8和第二侧板9，第二定位部固定于第二连接板4的第一侧板8和第二侧板9。具体地，本实施例中的第一连接板3和第二连接板4均为U型结构，第一侧板8和第二侧板9为对称安装于底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调式晶圆花篮，其特征在于，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，所述第一连接板固定于所述第一齿型结构，所述第二连接板固定于所述第二齿型结构，且所述第一连接板上设有第一定位部，所述第二连接板设有与所述第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得所述第一齿型结构和所述第二齿型结构之间通过所述第一定位部和所述第二定位部间距可调连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调式晶圆花篮，其特征在于，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，所述第一齿型结构和所述第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，所述第一连接板固定于所述第一齿型结构，所述第二连接板固定于所述第二齿型结构，且所述第一连接板上设有第一定位部，所述第二连接板设有与所述第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得所述第一齿型结构和所述第二齿型结构之间通过所述第一定位部和所述第二定位部间距可调连接。


2.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一定位部包括多个水平设置的第一螺纹孔，所述第二定位部包括与所述第一螺纹孔匹配的第二螺纹孔，以供螺栓能够依次拧入所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔。


3.根据权利要求1所述的可调式晶圆花篮，其特征在于，所述第一连接板和所述第二连接板均包括第一侧板、第二侧板和底板，所述第一侧板和第二侧板分别连接于底板的两端并构成U型结构，所述第一连接板的底板和所述第二连接板的底板分别固定于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小永，周祖武，马南，李海楠，
申请(专利权)人：北京市塑料研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11