晶圆花篮制造技术

本实用新型专利技术实施例提供一种晶圆花篮，包括：第一端面结构、第二端面结构和侧面结构，第一端面结构和第二端面结构的轮廓相同，侧面结构位于第一端面结构和第二端面结构的两侧，并连接于第一端面结构和第二端面结构之间。本实用新型专利技术实施例提供的一种晶圆花篮，采用了第一端面结构和第二端面结构为相同轮廓设计，即正、反面为相同形状，使得生产设备对晶圆花篮的正反面都可以进行识别定位，从而对晶圆进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。针对需要双面制程的晶圆，采用本实用新型专利技术实施例的晶圆花篮，可无需将晶圆取下，可将晶圆花篮整体翻转实现晶圆的双面制程，避免了晶圆在翻转过程中损坏，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆花篮
本技术涉及集成电路
，尤其涉及一种晶圆花篮。
技术介绍
随着集成电路行业不断技术革新及不同工艺的要求，现阶段晶圆(硅片)在生产过程中需要对上下双表面都进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。传统的晶圆承载花篮结构(以下简称：单H型晶圆花篮)通常为一侧H型，一侧平板或U型，另外两侧为齿形结构，即如图1所示。这种单H型的设计中，H型结构用于与不同生产设备配合定位，另一侧的平板或U型结构主要作用是为了提高花篮整体结构的强度。针对一些需要双面制程的晶圆产品，需要对晶圆的上、下两面都实施生产制程工序，传统的单H型晶圆花篮在利用H型结构面作为定位面生产完晶圆的一面后，需要将晶圆从花篮中取出，将晶圆翻转到另一面朝上后，再放入到晶圆花篮中进行第二次生产工序，在完成晶圆翻转过程中容易造成晶圆表面划伤问题，影响了碎片率，翻转晶圆的工序也降低了生产效率。而对于单H型晶圆花篮，由于一般的生产设备只能识别H型结构，无法识别平板或U型结构，因此，只能采用将晶圆取出并翻转的方式来实现双面制程，而无法通过翻转单H型晶圆花篮的方式来实现晶圆的双面制程。
技术实现思路
本技术实施例提供一种晶圆花篮，用以解决现有技术中只能通过将晶圆从晶圆花篮取出并翻转来完成双面制程的缺陷，不需要取出晶圆，仅通过翻转晶圆花篮来实现晶圆的双面制程。本技术实施例提供一种晶圆花篮，包括：第一端面结构、第二端面结构和侧面结构，所述第一端面结构和所述第二端面结构的轮廓相同，所述侧面结构位于所述第一端面结构和所述第二端面结构的两侧，并连接于所述第一端面结构和所述第二端面结构之间。其中，所述第一端面结构和所述第二端面结构均为H型结构。其中，所述侧面结构包括多个齿槽。其中，相对所述侧面结构之间的齿槽相距距离为27厘米或40厘米。其中，所述H型结构包括第一立柱、第二立柱和横梁，所述横梁水平设置，所述第一立柱和所述第二立柱分别立设于所述横梁的两端，且所述横梁的两端连接于所述第一立柱和所述第二立柱沿长度方向上的中心位置。其中，还包括加强筋，所述加强筋水平固定于所述横梁的表面，且所述加强筋的两端支撑于所述第一立柱和所述第二立柱之间。其中，所述第一端面结构、所述第二端面结构和所述侧面结构为聚醚醚酮结构、聚醚酰亚胺结构和聚对苯二甲酸四次甲基酯结构其中的一种。本技术实施例提供的一种晶圆花篮，采用了第一端面结构和第二端面结构为相同轮廓设计，即正、反面为相同形状，使得生产设备对晶圆花篮的正反面都可以进行识别定位，从而对晶圆进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。针对需要双面制程的晶圆，采用本技术实施例的晶圆花篮，可无需将晶圆取下，可将晶圆花篮整体翻转实现晶圆的双面制程，避免了晶圆在翻转过程中损坏，提高了生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有技术中单H型晶圆花篮的结构示意图；图2是本技术实施例的晶圆花篮的结构示意图；图3是本技术实施例的晶圆花篮的前视图；图4是本技术实施例的晶圆花篮的后视图；图5是本技术实施例的晶圆花篮的左视图；图6是本技术实施例的晶圆花篮的俯视图。附图标记：1：第一端面结构；11：第一立柱；12：第二立柱；13：横梁；131：加强筋；2：第二端面结构；3：侧面结构；31：齿槽；4：晶圆。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面结合图2-图6描述本技术实施例的一种晶圆花篮，包括：第一端面结构1、第二端面结构2和侧面结构3，第一端面结构1和第二端面结构2的轮廓相同(即形状和尺寸大小均相同)，侧面结构3位于第一端面结构1和第二端面结构2的两侧，并连接于第一端面结构1和第二端面结构2之间。其中，第一端面结构1和第二端面结构2均为H型结构。目前，晶圆4的生产设备一般均可以识别H型结构的晶圆花篮，因此本实施例中的第一端面结构1和第二端面结构2的轮廓设计成H型结构(形状相同)，且保证两端面结构的大小尺寸相同，即正、反面双H型的对称机构，使得生产设备可以对该晶圆花篮的正、反面识别定位，从而对晶圆4进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。侧面结构3用于放置和限位晶圆4，使得晶圆4稳定放置于晶圆花篮中。对于需要双面制程的晶圆4，可将晶圆4放入到本实施例的晶圆花篮中，利用生产设备进行生产制程工序，当晶圆4的正面完成生产工序后，无需将晶圆4从晶圆花篮中取出，而是将晶圆花篮整体进行翻转，由于第一端面结构1和第二端面结构2均为H型结构，使得生产设备能够对应识别，可继续完成晶圆4的反面生产工序，实现晶圆4无需取下，就可以完成双面制程的生产工序，避免了晶圆的损坏几率。本技术实施例提供的一种晶圆花篮，采用了第一端面结构1和第二端面结构2为相同轮廓设计，即正、反面为相同形状，使得生产设备对晶圆花篮的正反面都可以进行识别定位，从而对晶圆4进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。针对需要双面制程的晶圆4，采用本技术实施例的晶圆花篮，可无需将晶圆4取下，可将晶圆花篮整体翻转实现晶圆4的双面制程，避免了晶圆4在翻转过程中损坏，提高了生产效率。在其中一个实施例中，侧面结构3的数量为两个，且相对设置，用于放置晶圆4。进一步地，侧面结构3包括多个齿槽31。具体地，将晶圆4放置在两个侧面结构3之间，放入到相应的齿槽31中卡好，本实施例采用侧面结构3的齿槽31限位晶圆4，保证晶圆4在制程过程中不会发生移动。更进一步地，依据晶圆4的大小，采用模具注塑的加工方式，可相应制作出侧面结构3间距不同的晶圆花篮，例如：相对侧面结构3之间的齿槽31相距距离为27厘米(约为8寸)或40厘米(约为12寸)。在其中一个实施例中，如图3和图4所示，H型结构包括第一立柱11、第二立柱12和横梁13，横梁13水平设置，第一立柱11和第二立柱12分别立设于横梁13的两端，且横梁13的两端连接于第一立柱11和第二立柱12沿长度方向上的中心位置。具体地，本实施例中的第一立柱11和第二立柱12分别支撑两侧的侧面结构3，横梁13用于连接和支撑第一立柱11和第二立柱12，保证第一端面结构1和第二端面结构2的结构稳定性。另外，根据实际需要，可适当增加横梁13的宽度，进一步避免晶圆花篮变形，增强其结构稳定性。在其中一个实施例中，该晶圆花篮还包括加强筋131，加强筋131水平固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆花篮，其特征在于，包括：第一端面结构、第二端面结构和侧面结构，所述第一端面结构和所述第二端面结构的轮廓相同，所述侧面结构位于所述第一端面结构和所述第二端面结构的两侧，并连接于所述第一端面结构和所述第二端面结构之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆花篮，其特征在于，包括：第一端面结构、第二端面结构和侧面结构，所述第一端面结构和所述第二端面结构的轮廓相同，所述侧面结构位于所述第一端面结构和所述第二端面结构的两侧，并连接于所述第一端面结构和所述第二端面结构之间。


2.根据权利要求1所述的晶圆花篮，其特征在于，所述第一端面结构和所述第二端面结构均为H型结构。


3.根据权利要求1所述的晶圆花篮，其特征在于，所述侧面结构包括多个齿槽。


4.根据权利要求3所述的晶圆花篮，其特征在于，相对所述侧面结构之间的齿槽相距距离为27厘米或40厘米。


5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小永，刘哲伟，张宝庆，马南，要博卿，王慧杰，朱道峰，
申请(专利权)人：北京市塑料研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11