二维材料化学沉积冷却系统技术方案

本发明专利技术涉及一种二维材料化学沉积冷却系统，它包括制冷机、加热模块固定板、冷却盘孔、加热模块、热传感器、第一三通、第二三通、冷却介质输出主管、冷却介质输入主管、冷却盘管、冷却介质输入支管与冷却介质输出支管。本发明专利技术能对加热模块固定板进行有效冷却，避免了由于加热模块固定板温度过高而导致机械结构发生变形，保证了二维材料化学沉积过程的正常运行。

【技术实现步骤摘要】
二维材料化学沉积冷却系统
本专利技术涉及二维材料化学沉积
，具体地说是一种二维材料化学沉积冷却系统。
技术介绍
由于CVD炉体在气相沉积过程中温度太高，会引起垂直布置的加热模块固定板温度过高而导致机械结构发生变形，导致个机械部件不能正常运行，最终会影响CVD系统生长。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单且能对加热模块固定板进行有效冷却的二维材料化学沉积冷却系统。按照本专利技术提供的技术方案，所述二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机、加热模块固定板、冷却盘孔、加热模块、热传感器、第一三通、第二三通、冷却介质输出主管、冷却介质输入主管、冷却盘管、冷却介质输入支管与冷却介质输出支管；所述加热模块固定板呈竖直设置，在加热模块固定板的外侧设有制冷机，制冷机内设有冷却介质，在加热模块固定板的正面固定有加热模块，在加热模块固定板上安装有热传感器，热传感器与制冷机相连，在加热模块固定板的背面设有冷却盘管，在加热模块固定板内设有冷却盘孔；所述制冷机的出口与冷却介质输出主管的进口相接，冷却介质输出主管的出口与第一三通的进口相接，第一三通的第一出口与冷却盘管的进口相接，冷却盘管的出口与第二三通的第一进口相接；第一三通的第二出口与冷却介质输入支管的进口相接，冷却介质输入支管的出口与冷却盘孔的进口相接，冷却盘孔的出口与冷却介质输出支管的进口相接，冷却介质输出支管的出口与第二三通的第二进口相接；第二三通的出口与冷却介质输入主管的进口相接，冷却介质输入主管的出口与制冷机的进口相接。作为优选，在所述加热模块固定板的正面固定有两个或者两个以上的加热模块。作为优选，所述冷却介质为气态冷却介质或者液态冷却介质。作为优选，所述冷却盘孔的进口设置在上方、其出口设置在下方。作为优选，所述冷却盘管的进口设置在上方、其出口设置在下方。本专利技术能对加热模块固定板进行有效冷却，避免了由于加热模块固定板温度过高而导致机械结构发生变形，保证了二维材料化学沉积过程的正常运行。本专利技术成本低、结构简单、制作简单、便于加工、降温快、安装与拆卸模块化且寿命长久。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本专利技术作进一步说明。一种二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机1、加热模块固定板2、冷却盘孔21、加热模块3、热传感器4、第一三通5、第二三通6、冷却介质输出主管71、冷却介质输入主管72、冷却盘管73、冷却介质输入支管74与冷却介质输出支管75；所述加热模块固定板2呈竖直设置，在加热模块固定板2的外侧设有制冷机1，制冷机1内设有冷却介质，在加热模块固定板2的正面固定有加热模块3，在加热模块固定板2上安装有热传感器4，热传感器4与制冷机1相连，在加热模块固定板2的背面设有冷却盘管73，在加热模块固定板2内设有冷却盘孔21；所述制冷机1的出口与冷却介质输出主管71的进口相接，冷却介质输出主管71的出口与第一三通5的进口相接，第一三通5的第一出口与冷却盘管73的进口相接，冷却盘管73的出口与第二三通6的第一进口相接；第一三通5的第二出口与冷却介质输入支管74的进口相接，冷却介质输入支管74的出口与冷却盘孔21的进口相接，冷却盘孔21的出口与冷却介质输出支管75的进口相接，冷却介质输出支管75的出口与第二三通6的第二进口相接；第二三通6的出口与冷却介质输入主管72的进口相接，冷却介质输入主管72的出口与制冷机1的进口相接。在所述加热模块固定板2的正面固定有两个或者两个以上的加热模块3。所述冷却介质为气态冷却介质或者液态冷却介质。所述冷却盘孔21的进口设置在上方、其出口设置在下方。所述冷却盘管73的进口设置在上方、其出口设置在下方。本专利技术工作时，当热传感器4检测到加热模块固定板2的温度超过设定值时，制冷机1启动，将冷却介质输出并流经冷却介质输出主管71与第一三通5后进入冷却盘管73与冷却盘孔21内，对加热模块固定板2进行冷却，冷却介质流经冷却盘管73与冷却盘孔21后温度升高，通过第二三通6与冷却介质输入主管72输入制冷机1，通过制冷机1进行降温后再输出。本专利技术在工作时，最好在加热模块固定板2的后方设置风扇，风扇不仅能将加热模块固定板2周围的热气吹走，还能避免冷却介质输出主管71、冷却介质输入主管72、冷却盘管73、冷却介质输入支管74与冷却介质输出支管75产生凝结水珠。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机（1）、加热模块固定板（2）、冷却盘孔（21）、加热模块（3）、热传感器（4）、第一三通（5）、第二三通（6）、冷却介质输出主管（71）、冷却介质输入主管（72）、冷却盘管（73）、冷却介质输入支管（74）与冷却介质输出支管（75）；/n其特征是：所述加热模块固定板（2）呈竖直设置，在加热模块固定板（2）的外侧设有制冷机（1），制冷机（1）内设有冷却介质，在加热模块固定板（2）的正面固定有加热模块（3），在加热模块固定板（2）上安装有热传感器（4），热传感器（4）与制冷机（1）相连，在加热模块固定板（2）的背面设有冷却盘管（73），在加热模块固定板（2）内设有冷却盘孔（21）；/n所述制冷机（1）的出口与冷却介质输出主管（71）的进口相接，冷却介质输出主管（71）的出口与第一三通（5）的进口相接，第一三通（5）的第一出口与冷却盘管（73）的进口相接，冷却盘管（73）的出口与第二三通（6）的第一进口相接；/n第一三通（5）的第二出口与冷却介质输入支管（74）的进口相接，冷却介质输入支管（74）的出口与冷却盘孔（21）的进口相接，冷却盘孔（21）的出口与冷却介质输出支管（75）的进口相接，冷却介质输出支管（75）的出口与第二三通（6）的第二进口相接；/n第二三通（6）的出口与冷却介质输入主管（72）的进口相接，冷却介质输入主管（72）的出口与制冷机（1）的进口相接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种二维材料化学沉积冷却系统，包括制冷机（1）、加热模块固定板（2）、冷却盘孔（21）、加热模块（3）、热传感器（4）、第一三通（5）、第二三通（6）、冷却介质输出主管（71）、冷却介质输入主管（72）、冷却盘管（73）、冷却介质输入支管（74）与冷却介质输出支管（75）；
其特征是：所述加热模块固定板（2）呈竖直设置，在加热模块固定板（2）的外侧设有制冷机（1），制冷机（1）内设有冷却介质，在加热模块固定板（2）的正面固定有加热模块（3），在加热模块固定板（2）上安装有热传感器（4），热传感器（4）与制冷机（1）相连，在加热模块固定板（2）的背面设有冷却盘管（73），在加热模块固定板（2）内设有冷却盘孔（21）；
所述制冷机（1）的出口与冷却介质输出主管（71）的进口相接，冷却介质输出主管（71）的出口与第一三通（5）的进口相接，第一三通（5）的第一出口与冷却盘管（73）的进口相接，冷却盘管（73）的出口与第二三通（6）的第一进口相接；
第一三通（5）的第二出口与冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：于葛亮，康斯坦丁·诺沃舍洛夫，杨金东，孙正乾，唐阳，王杨华，
申请(专利权)人：无锡费曼科技有限公司，无锡墨诺半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32