吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

根据本发明专利技术，在对准时，被吸附于静电吸盘的基板不与掩模接触，以便在对准以后，基板和掩模这两者被充分吸附于静电吸盘。本发明专利技术的吸附装置包含有：吸附第一被吸附体和第二被吸附体且具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对第一电极和第二电极分别给予规定的电位的电位给予部；以及控制电位给予的电位控制部，电位控制部，在被吸附的第一被吸附体和没有被吸附的第二被吸附体的相对位置调整时，对第一电极和第二电极分别给予第一电位和第二电位，在相对位置调整之后，在隔着第一被吸附体吸附第二被吸附体时，进行控制，以使第一电位和第二电位中的至少一个电位变化，对第一电极和第二电极分别给予第三电位和第四电位，第三电位与第四电位之和的绝对值比第一电位与第二电位之和的绝对值大。和的绝对值大。和的绝对值大。

【技术实现步骤摘要】
吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法。

技术介绍

[0002]最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置(有机EL显示器)登上了历史舞台。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视野角度、薄型化等特性比液晶显示器优异，在以监视器、电视机、智能手机等为代表的各种便携式终端等中正在快速地代替现有的液晶显示器。另外，其应用领域也扩展到汽车用显示器等。
[0003]构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)具有在两个相向的电极(阳极电极、阴极电极)之间形成引起发光的有机物层的基本结构。例如，对于有机发光元件的有机物层和金属电极层，通过在成膜装置中使从收容有成膜材料的成膜源排出的成膜材料经由掩模堆积到基板上来进行制造，所述掩模形成有基于象素图形的图形。
[0004]在上吸式蒸镀方式(向上沉积)的成膜装置中，成膜源被设置于成膜装置的真空容器的下部，基板被配置于真空容器的上部，成膜材料被蒸镀到基板的下表面。在这种上吸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸附装置，用于吸附第一被吸附体和隔着所述第一被吸附体吸附第二被吸附体，其特征在于，包括：至少具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对所述第一电极和所述第二电极分别给予相对于接地电位而言的规定的电位的电位给予部；以及用于控制由所述电位给予部进行的电位的给予的电位控制部，所述电位控制部，在进行被吸附于所述静电吸盘的所述第一被吸附体与没有被吸附于所述静电吸盘的所述第二被吸附体的相对位置的调整时，对所述第一电极和所述第二电极分别给予第一电位和第二电位，另外，在所述相对位置的调整之后，在隔着所述第一被吸附体使所述第二被吸附体吸附于所述静电吸盘时，控制所述电位给予部，以便使所述第一电位和所述第二电位中的至少一个变化，对所述第一电极和所述第二电极分别给予第三电位和第四电位，所述第三电位与所述第四电位之和的绝对值大于所述第一电位与所述第二电位之和的绝对值。2.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第三电位与所述第四电位的电位差和所述第一电位与所述第二电位的电位差相同。3.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第三电位与所述第四电位的电位差比所述第一电位与所述第二电位的电位差大。4.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一电位与所述第二电位，绝对值的大小相同，极性相反。5.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第三电位与所述第四电位中的一个是0V。6.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极交替地配置。7.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述第一被吸附体是绝缘性的基板，所述第二被吸附体是金属性的掩模。8.一种吸附装置，用于吸附第一被吸附体和隔着所述第一被吸附体吸附第二被吸附体，其特征在于，包括：至少具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对所述第一电极和所述第二电极分别给予相对于接地电位而言的规定的电位的电位给予部；以及用于控制由所述电位给予部进行的电位的给予的电位控制部，所述电位控制部，在进行被吸附于所述静电吸盘的所述第一被吸附体与没有被吸附于所述静电吸盘的所述第二被吸附体的相对位置的调整之后，控制所述电位给予部，以便通过使分别给予所述第一电极和所述第二电极的电位中的至少一个变化，而使得作用于所述第二被吸附体的引力变化。9.如权利要求8所述的吸附装置，其特征在于，在被吸附于所述静电吸盘的所述第一被吸附体与没有被吸附于所述静电吸盘的所述第二被吸附体的相对位置的调整之后，所述电位控制部控制所述电位给予部，以便通过在保持所述静电吸盘与支承所述第二被吸附体的
支承机构之间的分隔距离不变的状态下，使分别给予所述第一电极和所述第二电极的电位中的至少一个变化，而使得作用于所述第二被吸附体的引力变化。10.如权利要求8所述的吸附装置，其特征在于，所述电位控制部控制所述电位给予部，以便不使给予所述第一电极的电位与给予所述第二电极的电位之间的电位差变化，而使给予所述第一电极的电位与给予所述第二电极的电位之和的绝对值变大。11.如权利要求8所述的吸附...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏仓一史，石井博，川畑泰代，诸桥悟，富井广树，细谷映之，
申请(专利权)人：阿奥依株式会社，
类型：发明
国别省市：