管子保持结构制造技术

技术编号:19958327 阅读:16 留言:0更新日期:2019-01-03 10:04
本发明专利技术提供一种管子保持结构,能够抑制产生粉尘并减轻振动。该管子保持结构(1)具备:由挠性材料形成的多根的管子(10);以及将这些管子(10)在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体(20)。多根的管子(10)具有:将多根的主管子(10A)以沿X轴方向并排状态接合而形成的主管子组(11);以及将多根的副管子(10B、10C、10D)以沿X轴方向并排而形成的副管子组(12、13、14)。副管子组(12、13、14)层叠在主管子组(11)的两侧并与该主管子组(11)一体接合。保持体(20)与主管子组(11)的X轴方向上的两侧部相接合。

【技术实现步骤摘要】
管子保持结构
本专利技术涉及一种管子保持结构,该管子保持结构具备:由挠性材料形成的多根的管子;以及将这些管子在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体。
技术介绍
以前,作为该领域的技术,应用在电子部件安装装置、半导体制造装置以及机械加工装置等的、具有多关节的线缆支架已是众所周知。例如下述专利文献1中公开了以下一种结构:将动力供给用线缆、信号供给用线缆和管子等部件容纳在呈U字状弯曲的线缆支架的内部,在此状态下追随与该线缆支架连接的可动部的动作而进行直线往复移动。专利文献1:日本特开2008-243839号公报
技术实现思路
但是,在上述结构中,线缆支架和线缆或管子、线缆和管子、线缆彼此之间、管子彼此之间由于能够相对移动,有伴随往复移动而发生摩擦而产生粉尘的问题。另外,近年来,随着装置的多样化和高速化的进展,管子和线缆的数量逐步增加,所以线缆支架所承受的负荷也增加,这使位于线缆支架弯曲部的相邻的多关节部件彼此之间的碰撞变大。由此,也存在有通过线缆支架传递到可动部的振动变大的问题。本专利技术鉴于上述问题而完成的,其目的在于提供一种管子保持结构,能够抑制产生粉尘并减轻振动。为达到上述目的,本专利技术所涉及的管子保持结构,具备:由挠性材料形成的多根的管子;以及将这些管子在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式进行保持的保持体,其特征在于:多根的所述管子具有:将多根的主管子以沿单一方向并排状态接合而形成的主管子组;以及将多根的副管子以沿所述单一方向并排而形成的副管子组,所述副管子组与所述主管子组层叠并与该主管子组一体接合,在所述主管子组长度方向上的多个位置,所述保持体与所述主管子组的所述单一方向上的两侧部相接合。在本专利技术所涉及的管子保持结构之中,主管子组和副管子组层叠并一体接合,所以,包含主管子和副管子在内的管子彼此之间不会相对移动,能够抑制管子彼此摩擦而产生粉尘。而且,保持体与主管子组的单一方向上的两侧部相接合,所以,保持体和管子没有摩擦,能够防止由于保持体和管子摩擦而产生粉尘。更进一步,由于一体接合的主管子组和副管子组弯曲时产生弯曲反弹力,通过该弯曲反弹力,能够减轻承受在保持体弯曲部上的负荷。由此,能够缓和发生在弯曲部上的碰撞,能够减轻振动。在本专利技术所涉及的管子保持结构中,优选所述主管子的弯曲刚性比所述副管子大。在本专利技术所涉及的管子保持结构中,优选所述副管子组为多个,并层叠在所述主管子组的一侧或两侧。另外,在本专利技术所涉及的管子保持结构中,优选当多个所述副管子组层叠在所述主管子组的一侧或两侧时,所述副管子的弯曲刚性从所述主管子组侧向外侧而变小。另外,在本专利技术所涉及的管子保持结构中,优选所述主管子组由相同材料且相同尺寸的主管子形成。更进一步,在本专利技术所涉及的管子保持结构中,优选所述保持体具有:沿所述主管子组的长度方向延伸,并设置在所述主管子组的所述单一方向上的两侧的一对能够弯曲的支撑部件;在所述支撑部件的延伸方向上以预定间隔设置,并架设在该一对支撑部件之间的多个横臂部件;以及设置在每个所述横臂部件并将所述主管子组的所述单一方向上的两侧部把持的一对把持部件。根据本专利技术,能够抑制产生粉尘并减轻振动。附图说明图1是表示实施方式所涉及的管子保持结构的立体图。图2是表示实施方式所涉及的管子保持结构的侧视图。图3是沿图2A-A线的剖视图。图4是表示实施例和对比例的模型的图。图5是表示实施例和对比例的结果(Back→Front)的图。图6是表示实施例和对比例的结果(Front→Back)的图。标号说明1:管子保持结构;10A:主管子;10B、10C、10D:副管子;11:主管子组;12、13、14:副管子组;20:保持体;21L、21R:支撑部件;22:横臂部件;23L、23R:把持部件;24:块状部件;24a:外侧伸长部;24b:内侧压缩部;24c:中间部;24d:连接棒;26a:把持部;26b:横臂连接部;26c:条带连接部。具体实施方式以下,参照附图对本专利技术的实施方式所涉及的管子保持结构进行说明。图1是表示实施方式所涉及的管子保持结构的立体图,图2是表示实施方式所涉及的管子保持结构的侧视图,图3是沿图2A-A线的剖视图。本实施方式的管子保持结构1,例如是使用在显示器面板曝光装置之中,是将供给曝光装置的动作所需要的动力和信号等的线缆类、供给冷却水和气体等的管子类汇总保持的结构。如图1所示,管子保持结构1弯曲呈U字状,是由互相平行且沿Y轴延伸的一对直线部1A、1C和设置在直线部1A、1C之间的弯曲部1B构成。直线部1C的前端安装在固定台2,成为管子保持结构1的固定端。另一方面,直线部1A的前端安装在移动台3,成为管子保持结构1的移动端。另外,虽未图示,管子保持结构1的移动端通过移动台3而与曝光装置的可动部相连接。该管子保持结构1主要具备:由挠性树脂材料形成的多根的管子10;以及将这些管子10在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式进行保持的保持体20。如图3所示,多根的管子10由多种类的管子构成,是将这些管子10按照每一种类沿单一方向(也就是X轴方向)并排设置,且沿与上述单一方向垂直的方向(也就是Z轴方向)层叠而形成的多段式连接管。更进一步地具体来说,多根的管子10具有:设置在多段式连接管大致中间位置的主管子组11;以及层叠在该主管子组11两侧的三个副管子组12、13、14。主管子组11也就是所谓的多连管,是将多根的主管子10A沿X轴方向并排的状态且相邻主管子10A彼此接合而形成的。作为主管子10A彼此之间的接合方式,例如有熔接或粘接等。副管子组12、13、14之中,副管子组12设置在主管子组11的一侧(图3中的上侧),副管子组13、14设置在主管子组11的另一侧(图3中的下侧)。副管子组12是通过将多根副管子10B以预定间隔相离开的状态沿X轴方向并排而形成的。各个副管子10B的外径比主管子10A要大,并相对于主管子10A以错开的方式设置,并通过熔接或粘接等方式而在Z轴方向上与相邻的主管子10A相接合。副管子组13是通过将多根副管子10C以预定间隔相离开的状态沿X轴方向并排而形成的。各个副管子10C的外径比主管子10A要小,并相对于主管子10A以错开的方式设置,并通过熔接或粘接等方式而在Z轴方向上与相邻的主管子10A相接合。另一方面,副管子组14是通过将多根副管子10D以预定间隔相离开的状态沿X轴方向并排而形成的。各个副管子10D相对于与其相邻的副管子10C以错开的方式设置,并通过熔接或粘接等方式而在Z轴方向上与相邻的副管子10C相接合。也就是,副管子组14没有与主管子组11直接接合,而是通过副管子组13与主管子组11接合。对于主管子组11及副管子组12、13、14,虽然可以每一组使用相同种类的管子,也可以使用不同种类的管子,但是基于下述理由优选使用相同种类并且相同材料、相同尺寸的管子。也就是,通过使用相同种类的管子,能够将弯曲时的弯曲负荷并行均等地保持,而且便于生产制造。另外,后面将进行详细的叙述,该多段式连接管之中,只有主管子组11与保持体20相接合,并且,在该管子保持结构1中没有设置从下方支持多段式连接管的部件,所以主管子组11是承受负荷最大的部分。由此,为维持主管子组11的高强度,所以优选主管子组11由相同材料且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管子保持结构,具备:由挠性材料形成的多根的管子;以及将这些管子在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式进行保持的保持体,其特征在于:多根的所述管子具有:将多根的主管子以沿单一方向并排状态接合而形成的主管子组;以及将多根的副管子以沿所述单一方向并排而形成的副管子组,所述副管子组与所述主管子组层叠并与该主管子组一体接合,在所述主管子组长度方向上的多个位置,所述保持体与所述主管子组的所述单一方向上的两侧部相接合。

【技术特征摘要】
2017.06.26 JP 2017-1246231.一种管子保持结构,具备:由挠性材料形成的多根的管子;以及将这些管子在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式进行保持的保持体,其特征在于:多根的所述管子具有:将多根的主管子以沿单一方向并排状态接合而形成的主管子组;以及将多根的副管子以沿所述单一方向并排而形成的副管子组,所述副管子组与所述主管子组层叠并与该主管子组一体接合,在所述主管子组长度方向上的多个位置,所述保持体与所述主管子组的所述单一方向上的两侧部相接合。2.根据权利要求1所述的管子保持结构,其特征在于:所述主管子的弯曲刚性比所述副管子大。3.根据权利要求1或2所述的管子保持结构,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:细谷映之菊地滋山田哲也冈嵜祐太
申请(专利权)人:阿奥依株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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