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根据本发明，在对准时，被吸附于静电吸盘的基板不与掩模接触，以便在对准以后，基板和掩模这两者被充分吸附于静电吸盘。本发明的吸附装置包含有：吸附第一被吸附体和第二被吸附体且具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对第一电极和第二电极分别给予规定的电位...
该专利属于阿奥依株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿奥依株式会社授权不得商用。

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