树脂包覆装置和树脂的包覆方法制造方法及图纸

提供树脂包覆装置和树脂的包覆方法，使用固态树脂来包覆树脂。树脂包覆装置包含：收纳部；盖部；盖部驱动部，其使盖部以能够相对于收纳部开闭的方式驱动；树脂提供部，其向被加工物提供固态树脂；真空泵，其使由收纳部和盖部密闭的加工空间为真空；以及大气开放阀，其向加工空间提供大气，对包覆于被加工物的树脂进行冷却。收纳部包含保持工作台和使保持工作台沿上下方向驱动的保持工作台驱动部。盖部包含上工作台，该上工作台通过与保持工作台对置并相对于保持工作台相对地接近而使被加工物上的树脂扩展并进行包覆，盖部覆盖收纳部的开口，形成密闭的加工空间。形成密闭的加工空间。形成密闭的加工空间。

【技术实现步骤摘要】
树脂包覆装置和树脂的包覆方法


[0001]本专利技术涉及树脂包覆装置和树脂的包覆方法。

技术介绍

[0002]在对半导体晶片、树脂封装基板、陶瓷基板、玻璃基板等各种板状的被加工物进行磨削而使其薄化或者利用切削刀具或激光束进行分割时，被加工物被卡盘工作台保持。为了防止在被加工物的加工时被保持的面与卡盘工作台接触而损伤或污染，或者为了能够在对被加工物进行分割之后一并进行搬送，公知有在被保持的面上包覆液状的树脂的技术(参照专利文献1)。
[0003]专利文献1：日本特开2009-148866号公报
[0004]但是，液状的树脂不容易处理且体积较大，因此存在搬运和保管会花费工时的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供使用固态的树脂来包覆树脂的树脂包覆装置和树脂的包覆方法。
[0006]根据本专利技术的一个方式，提供树脂包覆装置，其在被加工物的一个面上包覆树脂，其中，该树脂包覆装置具有：具有开口的收纳部，其包含对被加工物进行吸引保持的保持工作台和使该保持工作台沿上下方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种树脂包覆装置，其在被加工物的一个面上包覆树脂，其中，该树脂包覆装置具有：具有开口的收纳部，其包含对被加工物进行吸引保持的保持工作台和使该保持工作台沿上下方向驱动的保持工作台驱动部；盖部，其覆盖该收纳部的该开口，形成密闭的加工空间；盖部驱动部，其连结该收纳部和该盖部，并且使该盖部以能够相对于该收纳部开闭的方式驱动；树脂提供部，其向该保持工作台所保持的被加工物提供固态的树脂；真空泵，其使由该收纳部和该盖部密闭的该加工空间为真空；以及大气开放阀，其向该加工空间提供大气，并且对包覆于被加工物的树脂进行冷却，该盖部包含上工作台，该上工作台通过与该保持工作台对置并相对于该保持工作台相对地接近而使提供到被加工物上的树脂扩展并包覆在被加工物上，该保持工作台和该上工作台的一方或双方具有使树脂熔化的加热构件。2.根据权利要求1所述的树脂包覆装置，其中，该盖部驱动部具有：轨道限制部，其限制相对于该收纳部相对地移动的该盖部的轨道；以及驱动控制部，其通过对该轨道限制部施加驱动力，使该盖部相对于该收纳部相对地移动，该轨道限制部具有：固定臂，其固定于该收纳部侧；移动臂，其固定于该盖部侧，与该盖部一起移动；以及支点部，其将该固定臂和该移动臂以能够相对地旋转的方式相互连结，该驱动控制部具有沿一个轴向伸缩而施加驱动力的缸体，该缸体的一个端部以能够旋转的方式与该收纳部侧连结，另一个端部以能够旋转的方式与该移动臂连结，通过使该缸体进行伸缩，在该支点部变更在该固定臂与该移动臂之间形成的角度，使该盖部相对于该收纳部相对地移动。3.根据权利要求1或2所述的树脂包覆装置，其中，该树脂包覆装置还具有将被加工物从保持工作台搬出的搬送臂，该搬送臂包含：吸附垫，其对被加工物进行吸附；以及垫驱动部，其对该吸附垫进行驱动，该保持工作台包含：保持面，其对被加工物进行保持；吸引槽，其形成于该保持面；以及连通路，其使该吸引槽和吸引源连通，在该保持面上，顶起销和使该顶起销上下移动的销驱动部形成有三处以上，该顶起销被驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：柿沼良典，右山芳国，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：