一种用于真空设备封口的真空检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种不仅结构简单，而且使用灵活性好，同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台、氦气单元、氦质谱检测仪和真空泵，所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触。优点：一是真空检测装置不仅结构简单，而且检测准确性好，同时使用灵活性高；二是真空检测装置不仅适用性好，而且使用成本低，同时维养方便。养方便。养方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空设备封口的真空检测装置


[0001]本技术涉及一种不仅结构简单，而且使用灵活性好，同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置，属于真空检测设备制造领域。

技术介绍

[0002]CN 208795444 U、名称“一种大型容器氢氦质谱检漏系统”包括固定放置地面上具有真空泵组的抽注机构，所述抽注机构一侧集成设置有具有电箱和控制器的电控柜，所述抽注机构的外部设置有可移动的、具有散热风扇的冷水机和检漏装置，所述抽注机构上具有氢气供入单元、氦罩供气单元、抽真空单元和喷氦供气单元；所述检漏装置内具有氢质谱检漏仪、氦质谱检漏仪，所述氢质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第四电磁阀、第一止回阀与吸枪相连，所述氦质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第五电磁阀、第二止回阀与吸枪相连。所述抽注机构包括底部具有脚杯的底座，所述底座上设置有放置真空泵组的支架和电控柜，所述底座上方固定设置有包裹真空泵组的立体支架，所述立体支架的侧面设有可打开/关闭的开关门A，所述立体支架的上端面设置有封盖板，所述封盖板上设有散热风扇。所述氢气供入单元包括设置在底座上的正压氢检接口和固定在立体支架上的氢气瓶，所述正压氢检接口与氢气瓶之间设置有第一管道，所述第一管道上设置有与控制器相连的第一电磁阀、第一调压阀、第一压力传感器。所述氦罩供气单元包括设置在底座上的氦罩接口和固定在立体支架上的氦气瓶，所述氦罩接口与氦气瓶之间设置有第二管道，所述第二管道上设置有与控制器相连的第二电磁阀、第二调压阀、第二压力传感器。所述喷氦供气单元包括设置在底座上的喷氦接口和固定在立体支架上的氦气瓶，所述喷氦接口与氦气瓶之间设置有第三管道，所述第三管道上设置有与控制器相连的第三电磁阀、第三调压阀、第三压力传感器。所述抽真空单元包括设置在底座上的容器主抽接口，所述容器主抽接口与主真空管的一端相连，所述主真空 管上设置有真空阀组，所述真空阀组的出口与真空泵组相连。所述真空泵组包括一个旋片泵、一个罗茨泵和一个油旋片泵，所述支架为上下双层支架，所述旋片泵、罗茨泵并排放置在上层支架上，所述油旋片泵放置在下层支架上，所述封盖板上设置有与油旋片 泵相连的油雾过滤器。所述真空阀组包括 第一真空阀、第二真空阀、第三真空阀；所述第一真空阀设置在所述主真空管的另一端，其出口与旋片泵通过真空管连接；所述主真空管上设置有第一分支管道，所述第一分支管道的另一端设置有第二真空阀，所述第二真空阀的出口与所述罗茨泵通过真空管连接，所述罗茨泵与其下方的油旋片泵通过真空管连接；所述主真空管上还设置有第二分支管道，所述第二分支管道上设置有具有消音器的第三真空阀。其不足之处在于：一是该种大型容器氢氦质谱检漏系统不仅结构复杂，而且生产成本高，同时使用灵活性较差；二是该种大型容器氢氦质谱检漏系统中的检测平台与系统是呈整体的，检测平台无法进行位置调整（相对系统中的其他部件进行位置调整），其使用适用性相对较差。

技术实现思路

[0003]设计目的：为避免
技术介绍
中的不足，设计一种不仅结构简单，而且使用灵活性好，同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置。
[0004]设计方案：为实现上述设计目的。
[0005]1、所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触的设计，是本技术的技术特征之一。这样设计的目的在于：一是在待检测的真空装置放置在检测平台的上端面进行密封性检测时，由于检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，这时如果待检测的真空装置的封口其密封性符合设计要求，那么两者间的面面结合是氦气是无法通过的，从而保证了装置检测的准确性；二是检测平台是独立设置的，且检测平台的上端面是敞开式的，这样检测平台能够为不同尺寸的真空设备的封口进行真空检测，从而提高了检测装置的适用性。
[0006]2、所述检测平台的台板由不锈钢板制成的设计，是本技术的技术特征之二。这样设计的目的在于：所述检测平台的台板由不锈钢板制成，由于不锈钢板不易产生锈斑，从而大大提高了检测平台的使用寿命。
[0007]3、所述检测平台的下端面四角分别设有一个万向轮的设计，是本技术的技术特征之三。这样设计的目的在于：所述检测平台的下端面四角分别设有一个万向轮，万向轮的设置便于检测平台根据需要调整位置，从而提高了真空检测装置的使用效果。
[0008]4、所述氦气单元中的氦气罐的出气口处安装有延长管且延长管的出气口处安装有气嘴，所述氦气罐的出气口处设有阀门的设计，是本技术的技术特征之四。这样设计的目的在于：通过延长管和气嘴的组合设置，使用者能够快速的向封口与台板的结合处喷射氦气进行密封性检测，这样不仅能够提高检测的效率，而且能够减少氦气的使用。
[0009]5、所述移动车的上端设有氦气罐安装架，所述氦气罐安装架的内壁面上设有橡胶垫的设计，是本技术的技术特征之五。这样设计的目的在于：一是氦气罐通过氦气罐安装架设置在移动车上，这样氦气单元能够根据使用需要调整使用位置，从而大大提高了真空检测装置的使用效果；二是橡胶垫能够对氦气罐起到限位作用，避免氦气罐与氦气罐安装架发生磕碰。
[0010]技术方案：一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台、氦气单元、氦质谱检测仪和真空泵，所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触。
[0011]本技术与
技术介绍
相比，一是真空检测装置不仅结构简单，而且检测准确性好，同时使用灵活性高；二是真空检测装置不仅适用性好，而且使用成本低，同时维养方便。
附图说明
[0012]图1是一种用于真空设备封口的真空检测装置的结构示意图。
[0013]图2是氦气单元（增设移动车和延长管）的结构示意图。
具体实施方式
[0014]实施例1：参照附图1和图2。一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台1、氦气单元2、氦质谱检测仪3和真空泵4，所述检测平台1的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台1的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台1的上端面实现面面接触。所述真空泵4的抽气出口通过管道与氦质谱检测仪3中的进气口接通且真空泵4的抽气进口通过管道与真空设备中的一个进口接通，管道的一端通过密封连接件与真空设备中的一个进口接通，管道的端头与真空设备中的一个进口端通过密封连接件进行密封连接是现有技术，故在此不再进一步进行赘述，所述真空设备中的其余进口进行密封封口，实现真空设备的内腔与外界隔离。
[0015]所述检测平台1的台板11由不锈钢板制成。所述检测平台1的下端面四角分别设有一个万向轮12。所述万向轮12自带有刹车装置，自带有刹车装置的万向轮12为现有技术，在此不再赘述，便于检测平台1移位后的位置固定。
[0016]所述氦气单元3中的氦气罐31的出气口处安装有延长管32且延长管32的出气口处安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空设备封口的真空检测装置，包括检测平台（1）、氦气单元（2）、氦质谱检测仪（3）和真空泵（4），其特征是：所述检测平台（1）的上端面的光洁度达到8级或以上，在待检测的真空设备放置在检测平台（1）的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台（1）的上端面实现面面接触。2.根据权利要求1所述的一种用于真空设备封口的真空检测装置，其特征是：所述真空泵（4）的抽气出口通过管道与氦质谱检测仪（3）中的进气口接通且真空泵（4）的抽气进口通过管道与真空设备中的一个进口接通，所述真空设备中的其余进口进行密封封口。3.根据权利要求1所述的一种用于真空设备封口的真空检测装置，其特征是：所述检测平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国明，陈澄，王珍华，
申请(专利权)人：杭州大精真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：