本发明专利技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。其中，所述蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力F3；向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性，避免密封腔室暴露于大气中。腔室暴露于大气中。腔室暴露于大气中。
【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备
[0001]本专利技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。
技术介绍
[0002]蒸镀设备通常包括手套箱和密封腔室，手套箱内为高压氮气环境用于蒸镀完成后续的操作，密封腔室的两侧分别设置有腔门，其中，密封腔室的一侧的腔门位于手套箱内，其另一侧的腔门外露于大气中，且手套箱内的高压氮气的气压大于密封腔室外侧的大气压。
[0003]传统的密封腔室大都为机械开关门，需要操作者手动开门，而当操作者佩戴手套箱的手套作业时，开关门较为困难。根据市场调研和实测结果，采用机械式的腔门锁死结构实际上存在着大气侧水氧进入腔体和手套箱侧造成手套箱内水氧飙升的问题，且随着内开腔时间的延长而不断加重，造成对手套箱环境及后续操作可靠性的影响。现有产品及技术不能满足用户需求，因此，亟待需要一种蒸镀设备自动开关门控制方法以解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的第一个目的在于提供一种蒸镀设备自动开关门控制方法，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0005]本专利技术的第二个目的在于提供一种开门装置，用于密封腔室的开闭，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0006]本专利技术的第三个目的在于提供一种蒸镀设备，通过应用上述开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0007]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0008]第一方面，提供了一种蒸镀设备自动开关门控制方法，蒸镀设备包括手套箱、密封腔室、设置于所述密封腔室一侧开口处的第一电控门和设置于所述密封腔室另一侧开口处的第二电控门；
[0009]所述第一电控门处于大气中，且大气作用在所述第一电控门上的压力为F1；所述第二电控门处于所述手套箱中，所述手套箱内为惰性气体，所述手套箱内的惰性气体作用在所述第二电控门上的压力为F2；且所述手套箱内的惰性气体压强大于大气压强；
[0010]初始状态下，所述第一电控门和所述第二电控门均处于关闭状态，所述密封腔室内为真空环境，当需要打开所述第二电控门时，所述蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：
[0011]向所述第一电控门施加一个压向所述密封腔室方向的压力F3；
[0012]向所述密封腔室内充入惰性气体，其中，所述密封腔室内的惰性气体作用在所述第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当所述密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制所述第二电控门开门。
[0013]作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：当在手套箱侧破真空后，停止对所述密封腔室内充气。
[0014]作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，在步骤S3中，先使所述第二电控门沿垂直于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，然后使所述第二电控门沿平行于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动，以打开所述第二电控门。
[0015]作为所述蒸镀设备自动开关门控制方法的可选方案，所述手套箱内的惰性气体与所述密封腔室内充入的惰性气体相同。
[0016]第二方面，提供了一种开门装置，用于密封腔室的开闭，所述密封腔室的两侧分别设置有开口，所述开门装置包括：
[0017]第一电控门，设置于所述密封腔室一侧的开口处，且所述第一电控门被配置为处于大气中；
[0018]第二电控门，设置于所述密封腔室另一侧的开口处，且所述第二电控门被配置为处于手套箱中；
[0019]两个电动驱动机构，两个所述电动驱动机构分别用于驱动所述第一电控门和所述第二电控门的开闭，并能够向所述第一电控门和所述第二电控门施加压力；
[0020]控制模块，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时能够实现如上所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，以控制所述电动驱动机构的启闭。
[0021]作为所述开门装置的可选方案，所述电动驱动机构包括：
[0022]支撑板，所述第一电控门或所述第二电控门可活动地设置在所述支撑板上；
[0023]第一电控驱动组件，用于驱动所述第一电控门或第二电控门沿垂直于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动；
[0024]第二电控驱动组件，用于驱动所述支撑板带动所述第一电控门或所述第二电控门沿平行于所述密封腔室的开口所在平面的方向移动。
[0025]作为所述开门装置的可选方案，所述第二电控驱动组件包括电机、丝杠和丝杠螺母，所述电机和所述丝杠均设置在所述密封腔室的门框上，所述丝杠平行于所述密封腔室的开口所在平面，所述丝杠螺母与所述丝杠螺纹配合，且所述丝杠螺母与所述支撑板固定连接，所述电机能够驱动所述丝杠转动，以使所述支撑板沿所述丝杠移动。
[0026]作为所述开门装置的可选方案，所述第一电控驱动组件包括直线驱动器，所述直线驱动器固定在所述支撑板上，且所述直线驱动器的输出端与所述第一电控门或所述第二电控门固定连接；所述直线驱动器的数量为多个，多个所述直线驱动器呈矩阵式布置在所述支撑板上。
[0027]作为所述开门装置的可选方案，所述第一电控驱动组件还包括驱动连杆，所述驱动连杆的两端分别与所述直线驱动器的输出端和所述第一电控门或第二电控门固定连接。
[0028]第三方面，提供了一种蒸镀设备，包括如上所述的开门装置，所述蒸镀设备还包括密封腔室和手套箱。
[0029]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0030]本专利技术提供的蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力F3，向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性；且能够避免第一电控门在密封腔室内的惰性气体的作用下被动打开，防止密封腔室暴露于大气中。
[0031]本专利技术提供的开门装置，用于密封腔室的开闭，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
[0032]本专利技术提供的蒸镀设备，通过应用上述开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性，且能够避免作业过程中密封腔室暴露于大气中。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，蒸镀设备包括手套箱(200)、密封腔室(100)、设置于所述密封腔室(100)一侧开口处的第一电控门(1)和设置于所述密封腔室(100)另一侧开口处的第二电控门(2)；所述第一电控门(1)处于大气中，且大气作用在所述第一电控门(1)上的压力为F1；所述第二电控门(2)处于所述手套箱(200)中，所述手套箱(200)内为惰性气体，所述手套箱(200)内的惰性气体作用在所述第二电控门(2)上的压力为F2；且所述手套箱(200)内的惰性气体压强大于大气压强；初始状态下，所述第一电控门(1)和所述第二电控门(2)均处于关闭状态，所述密封腔室(100)内为真空环境，当需要打开所述第二电控门(2)时，所述蒸镀设备自动开关门控制方法包括如下步骤：向所述第一电控门(1)施加一个压向所述密封腔室(100)方向的压力F3；向所述密封腔室(100)内充入惰性气体，其中，所述密封腔室(100)内的惰性气体作用在所述第一电控门(1)上的压力F4小于F3和F1之和；当所述密封腔室(100)内的惰性气体作用在第二电控门(2)上的压力F5近似等于F2后，控制所述第二电控门(2)开门。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，所述蒸镀设备自动开关门控制方法还包括：当在手套箱(200)侧破真空后，停止对所述密封腔室(100)内充气。3.根据权利要求2所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，在步骤S3中，先使所述第二电控门(2)沿垂直于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动，然后使所述第二电控门(2)沿平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动，以打开所述第二电控门(2)。4.根据权利要求1所述的蒸镀设备自动开关门控制方法，其特征在于，所述手套箱(200)内的惰性气体与所述密封腔室(100)内充入的惰性气体相同。5.一种开门装置，其特征在于，用于密封腔室(100)的开闭，所述密封腔室(100)的两侧分别设置有开口，所述开门装置包括：第一电控门(1)，设置于所述密封腔室(100)一侧的开口处，且所述第一电控门(1)被配置为处于大气中；第二电控门(2)，设置于所述密封腔室(100)另一侧的开口处，且所述第二电控门(2)被配置为...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖良生，梁舰，陈晓，陈敏，武启飞，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：
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