光敏性树脂组合物制造技术

按照本发明专利技术，能够提供在显影除去部残渣的残留少，且可制造平坦性优异的象素的光敏性树脂组合物。该组合物是含具有由（甲基）丙烯酸导入的结构单元的粘合剂树脂和（甲基）丙烯酸的光敏性树脂组合物，其特征在于，光敏性树脂组合物的固体成分中的（甲基）丙烯酸的含量是０．０１０～０．１６质量％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光敏性树脂组合物。
技术介绍
彩色液晶显示装置或摄像元件等中的彩色滤光片(カラ一フィルタ)，通常，是通过在玻璃或硅片等衬底上，形成红、绿和蓝三原色象素制造的。另外，为了使这些象素间进行遮光，通常设置黑色矩阵(ブラツクマトツクス)。而且，为了形成这些各色的象素，采用的方法是，在黑色矩阵形成图案的衬底上，通过旋涂将含有相当于各色的颜料的光敏性树脂组合物均匀地涂敷之后，进行加热干燥，并将该涂膜曝光、显影，还可以根据需要，进行加热固化的方法，再对彩色滤光片所必需的每种色反复进行这些操作，由此则可得到各种颜色的图像。作为用于这类用途中的光敏性树脂组合物，已知的有，例如，含颜料、甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物、放射线敏感性化合物、和有机羧酸的组合物(参照专利文献1)。然而，使用该组合物，在形成各色的象素或黑色矩阵时，存在的问题是，或在显影除去部残留残渣，或得到的象素的平坦性差。专利文献1特开平5-343631号公报专利技术的内容本专利技术的目的在于，提供一种光敏性树脂组合物，该组合物在显影除去部残渣的残留少且可制作平坦性优异的象素。本专利技术人等，为了寻找可解决上述问题的光敏性树脂组合物，进行了反复深入地研究结果发现，含具有由(甲基)丙烯酸导入的结构单元的粘合剂树脂和特定量的(甲基)丙烯酸单体的光敏性树脂组合物，可制作在显影除去部残渣的残留少且可制作平坦性优异的象素，于是完成了本专利技术。即，本专利技术是提供一种光敏性树脂组合物，该组合物是含具有由(甲基)丙烯酸导入的结构单元的粘合剂树脂和(甲基)丙烯酸的光敏性树脂组合物，其特征在于，光敏性树脂组合物的固体成分中的(甲基)丙烯酸的含量是0.010～0.16质量％。实施专利技术的最佳方案下面，对本专利技术进行详细地说明。本专利技术的光敏性树脂组合物，是含具有由(甲基)丙烯酸导入的结构单元的粘合剂树脂和(甲基)丙烯酸的组合物，该组合物的固体成分中的(甲基)丙烯酸的含量是0.010～0.16质量％的组合物。作为粘合剂树脂，可以举出，例如，具有由(甲基)丙烯酸导入的结构单元的(甲基)丙烯酸系聚合物。这里，所说的(甲基)丙烯酸，指的是丙烯酸或甲基丙烯酸。在(甲基)丙烯酸中，例如可以含有由不饱和羧酸等含羧基单体导入的结构单元，所说的不饱和羧酸是不饱和单羧酸、或不饱和二羧酸等不饱和多元羧酸等的分子中具有至少1个羧基的不饱和羧酸。这里，作为不饱和单羧酸，可以举出，例如，丁烯酸、α-氯代丙烯酸、肉桂酸等。作为不饱和二羧酸，可以举出，例如，马来酸、富马酸、衣康酸、柠康酸、中康酸等。不饱和多元羧酸，也可以是其酸酐，具体的可以举出，马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。另外，不饱和多元羧酸，可以是其单(2-甲基丙烯酰氧基烷基)酯，例如，可以举出琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯、苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯、苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯等。不饱和多元羧酸，也可以是其两末端二羧基聚合物的单(甲基)丙烯酸酯，例如，可以举出ω-羧基聚己内酯单丙烯酸酯、ω-羧基聚己内酯单甲基丙烯酸酯等。这些含羧基单体可以单独使用也可以2种以上混合使用。具有由(甲基)丙烯酸导入的结构单元的(甲基)丙烯酸系聚合物中，还可以含有由可共聚的其他单体导入的结构单元，作为该单体，例如，可以举出，苯乙烯、α-甲基苯乙烯、o-乙烯基甲苯、m-乙烯基甲苯、p-乙烯基甲苯、p-氯苯乙烯、o-甲氧基苯乙烯、m-甲氧基苯乙烯、p-甲氧基苯乙烯、o-乙烯基苄基甲基醚、m-乙烯基苄基甲基醚、p-乙烯基苄基甲基醚、o-乙烯基苄基缩水甘油基醚、m-乙烯基苄基缩水甘油基醚、p-乙烯基苄基缩水甘油基醚、茚等芳香族乙烯基化合物；丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸异丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸2-羟基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、甲基丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸2-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-羟基丁酯、丙烯酸3-羟基丁酯、甲基丙烯酸3-羟基丁酯、丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苄基酯、甲基丙烯酸苄基酯、丙烯酸环已酯、甲基丙烯酸环已酯、丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸苯基酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸2-甲氧基乙酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲基丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲氧基二甘醇丙烯酸酯、甲氧基二甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基丙二醇丙烯酸酯、甲氧基丙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇甲基丙烯酸酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、双环戊二烯基丙烯酸酯、双环戊二烯基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、丙三醇单丙烯酸酯、丙三醇单甲基丙烯酸酯等不饱和羧酸酯类；丙烯酸2-氨基乙酯、甲基丙烯酸2-氨基乙酯、丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、丙烯酸2-氨基丙酯、甲基丙烯酸2-氨基丙酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、丙烯酸3-氨基丙酯、甲基丙烯酸3-氨基丙酯、丙烯酸3-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类；丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类；乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、安息香酸乙烯酯等羧酸乙烯酯类；乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚类；丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯代丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物；丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯代丙烯酰胺、N-2-羟乙基丙烯酰胺、N-2-羟乙基甲基丙烯酰胺等不饱和酰胺类；马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等不饱和酰亚胺类；1，3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共轭二烯类；聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸正丁酯、聚甲基丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷的聚合物分子链末端具有单丙烯酰基或甲基丙烯酰基的大分子单体类等。这些单体可以单独使用或2种以上混合使用。上述的(甲基)丙烯酸系聚合物中含有由含羧基单体导入的结构单元时，其含量，优选10～50质量％，更优选15～40质量％，特别优选25～40质量％。其含量是10～50质量％时，对显影液的溶解性优异，并且显影时具有正确地形成图案的倾向，所以是优选的。作为上述的(甲基)丙烯酸系聚合物，可以举出，例如，(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)本文档来自技高网...

【技术保护点】
光敏性树脂组合物，该组合物是含具有由（甲基）丙烯酸导入的结构单元的粘合剂树脂和（甲基）丙烯酸的光敏性树脂组合物，其特征在于，光敏性树脂组合物的固体成分中的（甲基）丙烯酸的含量是０．０１０～０．１６质量％。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：市川幸司，
申请(专利权)人：住友化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]