一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法技术

本发明专利技术公开了一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法，属于误差补偿的超精密加工领域。本发明专利技术包括：将固定有工件的压电致动微位移器固定于工作台上；椭圆振动辅助飞切装置和位移传感器固定于床身上，位移传感器通过测量固定在工作台上的高精度标准块可测得工作台移动误差；通过位移传感器测量另一压电致动微位移器变位量的方法，改善压电致动非线性响应问题的基础上，优化反馈控制系统；随着工作台的移动，椭圆振动辅助飞切装置在工件上加工线性微结构的同时，位移传感器将测得的工作台移动误差实时反馈给压电致动微位移器，驱动工件做出相应位移补偿量，改善加工误差，实现普通机床对平行线性微结构的超精密加工。现普通机床对平行线性微结构的超精密加工。现普通机床对平行线性微结构的超精密加工。

【技术实现步骤摘要】
一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法


[0001]本专利技术属于微结构制造
，涉及一种误差补偿的超精密加工方法。

技术介绍

[0002]微结构功能表面使物体表面具有了一些特定的物理、化学等功能，在成像、探测、太阳能等高科技领域有着广泛应用前景。对于超精密微结构，如多相交线阵组成的线槽组织和微槽结构、棱柱体基体、棱锥体基体以及特殊反射面涂层、薄膜的微观结构等，因其结构几何形状的限制和刀具加工轨迹的限制，普遍采用了经济的金刚石飞切加工。但此类微结构的超精密加工，一般只能在超精密铣床上完成，加工成本较高，难以推广应用，同时占用了超精密机床资源。另外，在超精密加工的误差补偿领域，多是在精密或者超精密机床上安置热传感器和位移传感器监测热变形误差和几何误差，通过修改系统参数法、NC代码补偿法等，靠机床自身基准元部件移动相应误差量来实现微结构超精密加工的。但对于普通机床，当其所能控制自身基准元部件的最小移动量远大于需要补偿的误差量时，则无法通过此类误差补偿方式实现对微结构的超精密加工。

技术实现思路

[0003]针对以上问题，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：将固定有工件的压电致动微位移器固定于工作台上；椭圆振动辅助飞切装置和位移传感器固定于床身上，位移传感器通过测量固定在工作台上的高精度标准块可测得工作台移动误差；步骤二：通过位移传感器测量另一压电致动微位移器变位量的方法，改善压电致动非线性响应问题的基础上，优化反馈控制系统；步骤三：随着工作台的移动，椭圆振动辅助飞切装置在工件上加工线性微结构槽的同时，位移传感器将测得的工作台移动误差（即线性微结构槽的切深方向误差和直线度误差）实时反馈给压电致动微位移器，驱动工件做出相应位移补偿量，改善线性微结构槽的切深方向精度和直线度，按同样方法加工下一行，最终实现普通机床对平行线性微结构的超精密加工。2.根据权利要求1所述的一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法，其特征在于，步骤一中，反馈控制系统中装置的具体位置关系为：两个位移传感器藉由微位移台固定于夹具，夹具与椭圆振动辅助飞切装置固定于床身，工件固定于压电致动微位移器上，压电致动微位移器与高精度标准...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金辉，郭前建，韩金国，田业冰，
申请(专利权)人：山东理工大学，
类型：发明
国别省市：